Firma VeTek semiconductor jest wiodącym producentem materiałów powłokowych z węglika tantalu dla przemysłu półprzewodników. Nasza główna oferta produktów obejmuje części z powłoką z węglika tantalu CVD, części ze spiekanej powłoki TaC do hodowli kryształów SiC lub procesu epitaksji półprzewodników. Przeszedł ISO9001, VeTek Semiconductor ma dobrą kontrolę nad jakością. Firma VeTek Semiconductor pragnie stać się innowatorem w branży powłok z węglika tantalu poprzez ciągłe badania i rozwój technologii iteracyjnych.
Głównymi produktami sąPierścień defektor powłoki z węglika tantalu, pierścień odchylający pokryty TaC, części półksiężyca pokryte TaC, planetarny dysk obrotowy pokryty węglikiem tantalu (Aixtron G10), tygiel pokryty TaC; Pierścienie pokryte TaC; Porowaty grafit pokryty TaC; Susceptor grafitowy z powłoką z węglika tantalu; Pierścień prowadzący pokryty TaC; Płyta pokryta węglikiem tantalu TaC; Susceptor waflowy pokryty TaC; Pierścień z powłoką TaC; Grafitowa pokrywa z powłoką TaC; Kawałek pokryty TaCitp., czystość jest poniżej 5 ppm, może spełnić wymagania klienta.
Grafit z powłoką TaC powstaje poprzez pokrycie powierzchni podłoża grafitowego o wysokiej czystości cienką warstwą węglika tantalu w opatentowanym procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD). Zaletę pokazano na poniższym obrazku:
Powłoka z węglika tantalu (TaC) zyskała na popularności ze względu na wysoką temperaturę topnienia do 3880°C, doskonałą wytrzymałość mechaniczną, twardość i odporność na szoki termiczne, co czyni ją atrakcyjną alternatywą dla złożonych procesów epitaksji półprzewodnikowej o wyższych wymaganiach temperaturowych, takie jak system Aixtron MOCVD i proces epitaksji LPE SiC. Ma również szerokie zastosowanie w procesie wzrostu kryształów SiC metodą PVT.
●Stabilność temperatury
●Bardzo wysoka czystość
●Odporność na H2, NH3, SiH4,Si
●Odporność na zapasy termiczne
●Silna przyczepność do grafitu
●Konformalne pokrycie powłoką
● Rozmiar do średnicy 750 mm (jedyny producent w Chinach osiąga ten rozmiar)
● Indukcyjny wspornik grzejny
● Rezystancyjny element grzejny
● Osłona termiczna
Właściwości fizyczne powłoki TaC | |
Gęstość | 14,3 (g/cm3) |
Specyficzna emisyjność | 0.3 |
Współczynnik rozszerzalności cieplnej | 6,3 10-6/K |
Twardość (HK) | 2000 HK |
Opór | 1×10-5Om*cm |
Stabilność termiczna | <2500 ℃ |
Zmiany rozmiaru grafitu | -10~-20um |
Grubość powłoki | Typowa wartość ≥20um (35um±10um) |
Element | Procent atomowy | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Przeciętny | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Ich | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Porowaty grafit z powłoką TaC to zaawansowany materiał do obróbki półprzewodników dostarczany przez firmę VeTek Semiconductor. Porowaty grafit z powłoką TaC łączy w sobie zalety powłoki z porowatego grafitu i węglika tantalu (TaC) z dobrą przewodnością cieplną i przepuszczalnością gazów. Firma VeTek Semiconductor angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach i nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i innowatorem powłok z węglika tantalu w Chinach. Koncentrujemy się na dostarczaniu produktów z węglika tantalu o wysokiej czystości i odporności na wysokie temperatury. Nasze osłony pokryte węglikiem tantalu mają doskonałą wydajność i niezawodność oraz mogą skutecznie chronić materiały w ekstremalnie wysokich temperaturach i środowiskach korozyjnych. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytaniePierścień deflektora pokryty TaC firmy VeTek Semiconductor to wysoce wyspecjalizowany komponent przeznaczony do procesów wzrostu kryształów SiC. Powłoka TaC zapewnia doskonałą odporność na wysokie temperatury i obojętność chemiczną, aby poradzić sobie z wysokimi temperaturami i środowiskami korozyjnymi podczas procesu wzrostu kryształów. Zapewnia to stabilną pracę i długą żywotność komponentu, zmniejszając częstotliwość wymian i przestojów. Zależy nam na dostarczaniu produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach i cieszymy się, że będziemy Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor to wiodący producent i innowator w Chinach, zajmujący się produkcją i innowatorem rur powlekanych węglikiem tantalu do wzrostu kryształów. Od wielu lat specjalizujemy się w powlekaniu ceramicznym. Nasze produkty charakteryzują się wysoką czystością i odpornością na wysoką temperaturę. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor to wielkoskalowy pierścień pokryty TaC dla producenta i innowatora reaktorów epitaksjalnych SiC w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w powlekaniu TaC. Nasze produkty charakteryzują się wysoką czystością, wysoką stabilnością, doskonałą odpornością na korozję i wysoką siłą wiązania. Patrzymy z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor to wielkoformatowa część półksiężyca pokryta węglikiem tantalu dla producenta LPE i innowatora w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w powlekaniu TaC. Nasze produkty wytrzymują temperatury powyżej 2000 stopni Celsjusza, przedłużając żywotność materiałów eksploatacyjnych. Z niecierpliwością czekamy aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanie