VeTek Semiconductor to wielkoformatowa część półksiężyca pokryta węglikiem tantalu dla producenta LPE i innowatora w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w powlekaniu TaC. Nasze produkty wytrzymują temperatury powyżej 2000 stopni Celsjusza, przedłużając żywotność materiałów eksploatacyjnych. Z niecierpliwością czekamy aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Jako profesjonalny producent, firma VeTek Semiconductor pragnie zapewnić Państwu wysokiej jakości półksiężyc pokryty węglikiem tantalu do LPE.
VeTek Semiconductor to profesjonalny lider w Chinach, producent powłok SiC, TaC, solidny producent SiC o wysokiej jakości i rozsądnej cenie. Nasza część półksiężyca pokryta węglikiem tantalu do LPE jest stosowana w komorze reakcyjnej poziomego i pionowego sprzętu do epitaksji do przenoszenia podłoża, kontroli temperatury, ogrzewania konserwacja, wentylacja, ochrona i inne funkcje, aby wspólnie kontrolować grubość, domieszkowanie, defekty i inne właściwości materiałowe wzrostu warstwy epitaksji SiC wewnątrz komory reakcyjnej.
Produkty powiązane z VeTek Semiconductor: górny półksiężyc, dolny półksiężyc, pokrywa ochronna, pokrywa izolacyjna, interfejs przekierowania powietrza procesowego. Nasza firma stara się dostarczać klientom pełną gamę rozwiązań komponentów komór reakcyjnych pokrytych SiC i TaC.
Właściwości fizyczne powłoki TaC | |
Gęstość | 14,3 (g/cm3) |
Specyficzna emisyjność | 0.3 |
Współczynnik rozszerzalności cieplnej | 6,3 10-6/K |
Twardość (HK) | 2000 HK |
Opór | 1×10-5 omów*cm |
Stabilność termiczna | <2500 ℃ |
Zmiany rozmiaru grafitu | -10~-20um |
Grubość powłoki | Typowa wartość ≥20um (35um±10um) |