Materiałem warstwy epitaksjalnej węglika krzemu jest węglik krzemu, który jest zwykle używany do produkcji urządzeń elektronicznych dużej mocy i diod LED. Jest szeroko stosowany w przemyśle półprzewodników ze względu na doskonałą stabilność termiczną, wytrzymałość mechaniczną i wysoką przewodność elektryczną.
Wysoka czystość: Epitaksjalna warstwa krzemu wyhodowana metodą chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD) charakteryzuje się wyjątkowo wysoką czystością, lepszą płaskością powierzchni i niższą gęstością defektów niż tradycyjne płytki.
Stały węglik krzemu ma doskonałe właściwości, takie jak stabilność w wysokiej temperaturze, wysoka twardość, dobra odporność na ścieranie i dobra stabilność chemiczna, dzięki czemu ma szeroki zakres zastosowań. Poniżej przedstawiono niektóre zastosowania stałego węglika krzemu: