VeTek Semiconductor zapewnia nośnik waflowy procesu RTA/RTP, wykonany z grafitu o wysokiej czystości i powłoki SiCzanieczyszczenie poniżej 5 ppm.
Piec do szybkiego wyżarzania jest rodzajem sprzętu do obróbki wyżarzania materiału iProces RTA/RTPkontrolując proces ogrzewania i chłodzenia materiału, może poprawić strukturę krystaliczną materiału, zmniejszyć naprężenia wewnętrzne oraz poprawić właściwości mechaniczne i fizyczne materiału. Jednym z głównych elementów komory pieca do szybkiego wyżarzania jest nośnik wafla/odbiornik opłatkowydo załadunku wafli. Jako grzejnik waflowy w komorze procesowej, topłyta nośnaodgrywa ważną rolę w szybkim nagrzewaniu i obróbce wyrównującej temperaturę.
Węglik krzemu, azotek glinu i grafitowy węglik krzemu są dostępnymi materiałami do pieca do szybkiego wyżarzania, a głównym wyborem na rynku jest grafit ipowłoka z węglika krzemu jako materiały.
Poniżej znajdują sięfunkcje i doskonałą wydajnośćnośnika wafla procesowego RTA RTP firmy VeTek Semiconductor SiC:
-Stabilność w wysokiej temperaturze: Powłoka SiC wykazuje wyjątkową stabilność w wysokich temperaturach, zapewniając integralność struktury i wytrzymałość mechaniczną nawet w ekstremalnych temperaturach. Ta zdolność sprawia, że doskonale nadaje się do wymagających procesów obróbki cieplnej.
-Doskonała przewodność cieplna: Warstwa powłoki SiC posiada wyjątkową przewodność cieplną, umożliwiając szybką i równomierną dystrybucję ciepła. Przekłada się to na szybszą obróbkę cieplną, znacznie skracając czas nagrzewania i zwiększając ogólną produktywność. Poprawiając efektywność wymiany ciepła, przyczynia się do wyższej wydajności produkcji i doskonałej jakości produktu.
-Obojętność chemiczna: Wrodzona obojętność chemiczna węglika krzemu zapewnia doskonałą odporność na korozję powodowaną przez różne chemikalia. Nasz nośnik płytek z węglika krzemu pokryty węglem może niezawodnie działać w różnorodnych środowiskach chemicznych, nie zanieczyszczając ani nie uszkadzając płytek.
-Płaskość powierzchni: Warstwa węglika krzemu CVD zapewnia bardzo płaską i gładką powierzchnię, gwarantując stabilny kontakt z płytkami podczas obróbki termicznej. Eliminuje to wprowadzanie dodatkowych defektów powierzchni, zapewniając optymalne rezultaty obróbki.
-Lekka i wysoka wytrzymałość: Nasz nośnik wafli RTP pokryty SiC jest lekki, a jednocześnie posiada niezwykłą wytrzymałość. Ta cecha umożliwia wygodny i niezawodny załadunek i rozładunek wafli.
Odbiornik RTA RTP Nośnik opłatków RTA RTP Taca RTP (do szybkiego podgrzewania RTA) Taca RTP (do szybkiego podgrzewania RTA) Odbiornik RTP Taca podtrzymująca wafle RTP
VeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i innowatorem w Chinach susceptora do szybkiego wyżarzania termicznego. Od wielu lat specjalizujemy się w materiałach powłokowych SiC. Oferujemy susceptory do szybkiego wyżarzania termicznego o wysokiej jakości, odporności na wysoką temperaturę i super cienkie. Zapraszamy do odwiedzenia naszego fabryka w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanie