VeTek Semiconductor koncentruje się na produkcji azotku krzemu i posiada zespół badawczo-rozwojowy złożony ze starszych ekspertów i najlepszych talentów technicznych. Ceramika z azotku krzemu ma zalety takie jak twardość, odporność na ciepło, odporność na zużycie i odporność na korozję w porównaniu do ogólnych materiałów ceramicznych, a także ma zalety dobrej odporności na szok termiczny, odporności na pełzanie w wysokiej temperaturze, dobrego samosmarowania i dobrej stabilności chemicznej i jest szeroko stosowana stosowane w nowej energetyce, przemyśle chemicznym, lotniczym i półprzewodnikowym.
1. Doskonała stabilność chemiczna
Ceramika z azotku krzemu ma doskonałą stabilność chemiczną i jest odporna na różne mocne kwasy, zasady i żrące gazy. W procesie produkcji półprzewodników często trzeba radzić sobie z korozyjnymi chemikaliami, ceramika z azotku krzemu może zapewnić długoterminową gwarancję stabilnego działania.
2. Doskonałe właściwości mechaniczne
Ceramika z azotku krzemu ma wysoką twardość, doskonałą wytrzymałość na ściskanie i odporność na zużycie, jest w stanie wytrzymać naprężenia mechaniczne i zużycie powierzchniowe, nie jest łatwa do odkształcenia lub pęknięcia. Ta właściwość mechaniczna sprawia, że doskonale nadaje się jako materiał na części konstrukcyjne i procesowe w sprzęcie półprzewodnikowym.
3. Stabilność w wysokiej temperaturze
Ceramika z azotku krzemu może zachować stabilność w środowiskach o wysokiej temperaturze, nie jest łatwa do zmiękczenia lub stopienia i może wytrzymać przetwarzanie i obsługę w wysokiej temperaturze w procesie produkcji półprzewodników. Dzięki temu można go stosować do produkcji kluczowych komponentów urządzeń procesowych pracujących w wysokich temperaturach, takich jak chwytaki, elementy komór reakcyjnych i tak dalej.
4. Doskonałe właściwości izolacyjne
Właściwości izolacyjne mają kluczowe znaczenie w produkcji urządzeń półprzewodnikowych. Ceramika z azotku krzemu ma dobre właściwości izolacyjne, które mogą skutecznie izolować i chronić elementy obwodu przed upływem prądu lub zakłóceniami elektromagnetycznymi, pomagając poprawić stabilność i niezawodność urządzenia.
5. Przewodność cieplna i przewodność cieplna
Ceramika z azotku krzemu posiada wysoką przewodność cieplną, potrafi efektywnie przewodzić i odprowadzać ciepło wytwarzane przez urządzenie, pomagając w utrzymaniu stabilności temperaturowej urządzenia w procesie pracy. Ma to kluczowe znaczenie dla wydajnego działania urządzeń półprzewodnikowych.
1. Uchwyty elektrostatyczne i elementy komory trawiącej
Ceramika z azotku krzemu jest często stosowana jako materiały na uchwyty elektrostatyczne i elementy komór trawiących w produkcji półprzewodników ze względu na ich doskonałą stabilność chemiczną i odporność na wysoką temperaturę. Uchwyty elektrostatyczne służą do mocowania i stabilizacji płytek lub substratów, natomiast elementy komory trawiącej służą do wytrzymywania gazów korozyjnych i środowisk o wysokiej temperaturze.
2. tablice rozdzielcze gazu i reflektory
Ceramikę z azotku krzemu wykorzystuje się także do produkcji wyposażenia półprzewodnikowego w płytach rozdzielczych gazu i reflektorach. Płyty dystrybucyjne gazu służą do równomiernego rozprowadzania gazów reaktywnych lub ochronnych w komorze reakcyjnej, natomiast reflektory służą do optymalizacji dystrybucji i odbicia światła w komorze reakcyjnej w celu poprawy wydajności i jednorodności reakcji.
3. Uchwyty i elementy termiczne
Ceramika z azotku krzemu jest często stosowana jako uchwyty i elementy zarządzania ciepłem w sprzęcie do produkcji półprzewodników. Elementy te muszą mieć dobrą wytrzymałość mechaniczną, odporność na zużycie i przewodność cieplną, aby zapewnić stabilną pracę sprzętu i dokładność przetwarzania urządzenia.
4. Pady do polerowania chemiczno-mechanicznego (CMP).
Ceramika z azotku krzemu jest szeroko stosowana jako materiał podkładki w procesie polerowania chemiczno-mechanicznego (CMP). Ma doskonałą płaskość i odporność na zużycie oraz może zapewnić stabilne wsparcie podczas procesu polerowania, aby zapewnić płaskość i precyzję powierzchni płytki półprzewodnikowej.