Pierścień pokryty węglikiem tantalu

Wykonany jest z półprzewodnikowego pierścienia powlekanego węglikiem tantalu VeTekgrafiti pokryty węglikiem tantalu, co stanowi połączenie, które wykorzystuje najlepsze właściwości obu materiałów, aby zapewnić doskonałą wydajność i trwałość. 

Powłoka TaC na pierścieniu z węglika tantalu zapewnia, że ​​pozostaje on chemicznie obojętny w reaktywnej atmosferze pieców do wzrostu kryształów SiC, w których często występują gazy, takie jak wodór, argon i azot. Ta obojętność chemiczna jest niezbędna, aby zapobiec zanieczyszczeniu rosnącego kryształu, co mogłoby prowadzić do defektów i obniżonej wydajności końcowych produktów półprzewodnikowych. Dodatkowo stabilność termiczna zapewniana przez powłokę TaC umożliwia efektywną pracę pierścienia powlekającego z węglika tantalu w wysokich temperaturach wymaganych do wzrostu kryształów SiC, zwykle przekraczających 2000°C.

Właściwości mechaniczne TaC znacznie zmniejszają zużycie pierścienia z węglika tantalu. Ma to kluczowe znaczenie ze względu na powtarzalny charakter procesu wzrostu kryształów, który naraża pierścień prowadzący na częste cykle termiczne i naprężenia mechaniczne. Twardość i odporność na zużycie TaC zapewniają, że pierścień pokryty TaC zachowuje integralność strukturalną i dokładne wymiary przez długi czas, minimalizując potrzebę częstych wymian i redukując przestoje w procesie produkcyjnym. 

Dodatkowo połączenie grafitu i TaC w pierścieniu z węglika tantalu optymalizuje zarządzanie temperaturą w piecu do wzrostu kryształów. Wysoka przewodność cieplna grafitu skutecznie rozprowadza ciepło, zapobiegając powstawaniu gorących punktów i promując równomierny wzrost kryształów. Tymczasem powłoka TaC służy jako bariera termiczna, chroniąc rdzeń grafitowy przed bezpośrednim działaniem wysokich temperatur i reaktywnych gazów. Ta synergia pomiędzy rdzeniem i materiałami powłoki skutkuje pierścieniem prowadzącym, który nie tylko wytrzymuje trudne warunkiWzrost kryształów SiCale także zwiększa ogólną wydajność i jakość procesu.

Pierścień półprzewodnikowy VeTek pokryty węglikiem tantalu jest niezbędnym elementem w branży półprzewodników, zaprojektowanym specjalnie z myślą o rozwojuKryształy węglika krzemu. Jego konstrukcja wykorzystuje mocne strony grafitu i węglika tantalu, aby zapewnić wyjątkową wydajność w środowiskach o wysokiej temperaturze i dużych obciążeniach. Powłoka TaC zapewnia obojętność chemiczną, trwałość mechaniczną i stabilność termiczną, a wszystko to ma kluczowe znaczenie dla produkcji wysokiej jakości kryształów SiC. Zachowując swoją integralność i funkcjonalność w ekstremalnych warunkach, pierścień wspiera wydajny i wolny od defektów wzrost kryształów SiC, przyczyniając się do rozwoju urządzeń półprzewodnikowych o dużej mocy i wysokiej częstotliwości.

VeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i dostawcąPowłoka z węglika tantalu, Powłoka z węglika krzemuISpecjalny grafitw Chinach. Od dawna jesteśmy zaangażowani w dostarczanie zaawansowanych technologii i rozwiązań produktowych dla przemysłu półprzewodników i mamy szczerą nadzieję, że będziemy Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Powłoka z węglika tantalu (TaC).na mikroskopijnym przekroju：

PrzeglądŁańcuch branży epitaksji chipów półprzewodnikowych：