Uchwyt do płytek z węglika krzemu

Uchwyt do płytek VeTek Semiconductor z węglika krzemu wykorzystuje doskonałe właściwości materiałów z węglika krzemu, aby spełnić rygorystyczne wymagania produkcji półprzewodników, szczególnie w przetwarzaniu półprzewodników, które wymaga niezwykle wysokiej precyzji i niezawodności.

W procesie przetwarzania półprzewodnikówWęglik krzemuma doskonałą odporność na wysokie temperatury (może pracować stabilnie do 1400°C), niską przewodność (SiC ma stosunkowo niską przewodność, typowo 10^^-3S/m) i niski współczynnik rozszerzalności cieplnej (około 4,0 × 10^^-6/°C), który jest niezbędnym i ważnym materiałem, szczególnie odpowiednim do produkcji uchwytu waflowego z węglika krzemu.

Podczasproces wzrostu epitaksjalnegocienka warstwa materiału półprzewodnikowego osadzana jest na podłożu, co wymaga od płytki absolutnej stabilności, aby zapewnić jednolite i wysokiej jakości warstwy osadzania folii. Uchwyt próżniowy SiC osiąga to poprzez wytworzenie solidnego, stałego podciśnienia, aby zapobiec jakiemukolwiek ruchowi lub deformacji płytki.

Uchwyt do płytek z węglika krzemu zapewnia również doskonałą odporność na szok termiczny. Gwałtowne zmiany temperatury są powszechne w produkcji półprzewodników, a materiały, które nie są w stanie wytrzymać tych wahań, mogą pękać, wyginać się lub zawodzić. Węglik krzemu ma niski współczynnik rozszerzalności cieplnej i może zachować swój kształt i funkcję nawet przy drastycznych zmianach temperatury, zapewniając, że płytka pozostanie bezpieczna podczas procesu epitaksji bez przemieszczania się i niewspółosiowości.

Co więcej,proces epitaksjiczęsto obejmuje reaktywne gazy i inne żrące chemikalia. Chemiczna obojętność uchwytu do płytek SiC zapewnia, że ​​nie ma on wpływu na te trudne warunki, utrzymując jego wydajność i wydłużając jego żywotność. Ta trwałość chemiczna nie tylko zmniejsza częstotliwość wymiany uchwytu płytki, ale także zapewnia stałą wydajność produktu w wielu cyklach produkcyjnych, pomagając poprawić ogólną wydajność i opłacalność procesu produkcji półprzewodników.

VeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i dostawcą uchwytów do płytek z węglika krzemu w Chinach. Możemy dostarczyć różne rodzaje produktów Chuck, takich jakPorowaty uchwyt ceramiczny SiC, Porowaty uchwyt próżniowy SiC, Porowaty ceramiczny uchwyt próżniowyIUchwyt pokryty TaCitp. Firma VeTek Semiconductor angażuje się w dostarczanie zaawansowanych technologii i rozwiązań produktowych dla przemysłu półprzewodników. Mamy szczerą nadzieję, że zostaniemy Państwa długoterminowym partnerem w Chinach.

DANE SEM CVDSTRUKTURA KRYSTALICZNA FILMU SIC：

Sklepy z uchwytami waflowymi VeTek Semiconductor z węglika krzemu：