Powłoka ceramiczna z węglika krzemu

Firma półprzewodnikowa Vetek Powłoka ceramiczna z węglika krzemuto wysokowydajna powłoka ochronna wykonana z niezwykle twardego i odpornego na zużycie materiału węglika krzemu (SiC), który zapewnia doskonałą odporność na korozję chemiczną i stabilność w wysokich temperaturach. Właściwości te mają kluczowe znaczenie w produkcji półprzewodników, dlatego powłoka ceramiczna z węglika krzemu jest szeroko stosowana na kluczowych elementach sprzętu do produkcji półprzewodników.

Specyficzna rola, jaką odgrywa powłoka ceramiczna z węglika krzemu firmy Vetek Semiconductor w produkcji półprzewodników, polega na tym, żenastępująco:

Zwiększ trwałość sprzętu: Powłoka ceramiczna z węglika krzemu zapewnia doskonałą ochronę powierzchni sprzętu do produkcji półprzewodników dzięki wyjątkowo wysokiej twardości i odporności na zużycie. Szczególnie w wysokich temperaturach i wysoce korozyjnych środowiskach procesowych, takich jak chemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD) i trawienie plazmowe, powłoka ceramiczna z węglika krzemu może skutecznie zapobiegać uszkodzeniom powierzchni sprzętu na skutek erozji chemicznej lub zużycia fizycznego, znacznie wydłużając w ten sposób żywotność sprzętu i skrócenie przestojów spowodowanych częstą wymianą i konserwacją.

Popraw czystość procesu: W procesie produkcji półprzewodników wszelkie najmniejsze zanieczyszczenia mogą powodować wady produktu. Obojętność chemiczna powłoki ceramicznej z węglika krzemu pozwala zachować jej stabilność w ekstremalnych warunkach, zapobiega uwalnianiu się cząstek lub zanieczyszczeń z materiału oraz zapewnia czystość środowiska w trakcie procesu. Jest to szczególnie ważne w przypadku etapów produkcyjnych wymagających dużej precyzji i czystości, takich jak PECVD i implantacja jonów.

Zoptymalizuj zarządzanie ciepłem: W wysokotemperaturowej obróbce półprzewodników, takiej jak szybka obróbka termiczna (RTP) i procesy utleniania, wysoka przewodność cieplna powłoki ceramicznej z węglika krzemu umożliwia równomierny rozkład temperatury wewnątrz urządzenia. Pomaga to zmniejszyć naprężenia termiczne i odkształcenia materiału spowodowane wahaniami temperatury, poprawiając w ten sposób dokładność i spójność wytwarzania produktu.

Obsługa złożonego środowiska procesowego: W procesach wymagających złożonej kontroli atmosfery, takich jak trawienie ICP i PSS, stabilność i odporność na utlenianie grzejnika z powłoką ceramiczną z węglika krzemu zapewniają stabilną pracę sprzętu podczas długotrwałej pracy, zmniejszając ryzyko degradacji materiału lub sprzętu szkody powstałe na skutek zmian środowiskowych.

Firma półprzewodnikowa Vetekkoncentruje się na produkcji i dostarczaniu produktów o wysokiej wydajnościPowłoka ceramiczna z węglika krzemui jest zaangażowana w dostarczanie zaawansowanych technologii i rozwiązań produktowych dla przemysłu półprzewodników.Mamy szczerą nadzieję, że będziemy Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Podstawowe właściwości fizycznePowłoka ceramiczna z węglika krzemu:

Sklepy z powłokami ceramicznymi z węglika krzemu VeTek Semiconductor:

Przegląd łańcucha branży epitaksji układów półprzewodnikowych: