grzejnik z powłoką ceramiczną z węglika krzemu

Półprzewodnik VeTekPodgrzewacz z powłoką ceramiczną z węglika krzemu to grzejnik przeznaczony do pracy w wysokich temperaturach i trudnych warunkach. Pokrywa warstwę krzemowo-węglowo-ceramicznej powłoki (SiC) na powierzchni elementu grzejnego, zapewniając sprzętowi doskonałą odporność na ciepło, korozję i przewodność cieplną. 

Grzejnik z powłoką ceramiczną z węglika krzemustosowany jest głównie w urządzeniach do powlekania próżniowego (odparowywania). Powszechnie stosowanymi metodami są PCD (chemiczne suszenie plazmowe) i PVD (fizyczne osadzanie z fazy gazowej), które są szeroko stosowane w produkcji półprzewodników i innych wymagających zastosowaniach przemysłowych.

W połączeniu z wysokowydajną powłoką grzejnika ceramicznego z węglika krzemu,może zapewnić doskonałe rozwiązanie grzewcze w procesach wysokotemperaturowych.

Doskonała przewodność cieplna: Materiał SiC ma doskonałą przewodność cieplną, dzięki czemu grzejnik może osiągnąć równomierny rozkład ciepła w obszarze roboczym i zmniejszyć gradienty temperatury.

Zapewnij równomierną dystrybucję ciepła: Grzejnik z powłoką ceramiczną z węglika krzemu wykorzystuje wysoką przewodność cieplną materiału SiC, aby uzyskać równomierny rozkład temperatury w całym obszarze grzewczym. Ma to kluczowe znaczenie, aby zapewnić równomierną obróbkę cieplną płytek półprzewodnikowych w różnych procesach wysokotemperaturowych, takich jak szybka obróbka termiczna (RTP), dyfuzja i utlenianie, unikając defektów produktu spowodowanych lokalnym przegrzaniem lub nierówną temperaturą.

Tolerancja na wysoką temperaturę: Powłoka SiC umożliwia grzejnikowi wytrzymanie ekstremalnie wysokich temperatur, zwykle do 1600°C, odpowiednich dla różnych procesów przetwarzania w wysokiej temperaturze.

Popraw odporność na ciepło: Ponieważ powłoka jest odporna na ekstremalnie wysokie temperatury, dobrze sprawdza się w procesach wymagających długotrwałej pracy w wysokiej temperaturze. Na przykład w procesach chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD) podgrzewacz powłoki ceramicznej z węglika krzemu może zapewnić długoterminową stabilną pracę sprzętu w wysokich temperaturach i utrzymać stałą wydajność grzania, poprawiając w ten sposób powtarzalność i niezawodność procesu.

Odporność na korozję chemiczną: Powłoka SiC ma wyjątkowo wysoką odporność na kwasy, zasady i gazy żrące i może pozostać stabilna przez długi czas w złożonym środowisku atmosfery chemicznej, wydłużając żywotność sprzętu. 

Wydłużenie żywotności sprzętu: Powłoka SiC ma doskonałą odporność na utlenianie i korozję oraz może skutecznie przeciwdziałać erozji chemicznej i utlenianiu w wysokich temperaturach. Ma to kluczowe znaczenie w procesie produkcji półprzewodników, szczególnie w środowisku, w którym występują korozyjne gazy i chemikalia. Ochronne działanie powłoki może znacznie wydłużyć żywotność grzejnika oraz zmniejszyć częstotliwość wymiany sprzętu i koszty konserwacji.

Podstawowe właściwości fizyczne grzejnika z powłoką ceramiczną z węglika krzemu:

Sklepy z nagrzewnicami ceramicznymi z węglikiem krzemu Półprzewodnik VeTek:

Przegląd łańcucha branży epitaksji chipów półprzewodnikowych VeTek: