Grzejnik grafitowy z powłoką ceramiczną z węglika krzemu

Półprzewodnik VeTek Grzejnik grafitowy z powłoką ceramiczną z węglika krzemułączy w sobie doskonałą przewodność elektryczną i cieplną grafitu z odpornością na wysoką temperaturę, korozję i odporność na zużycie powłoki krzemowo-węglowo-ceramicznej i jest przeznaczony do trudnych warunków produkcji półprzewodników. 

Grzejnik grafitowy z powłoką ceramiczną z węglika krzemujest stosowany głównie w urządzeniach do powlekania próżniowego (odparowywaniu), a powszechnie stosowanymi metodami są PCD (chemiczne suszenie plazmowe) i PVD (fizyczne osadzanie z fazy gazowej). Produkt ten odegrał ważną rolę w promowaniu postępu technologicznego i poprawie wydajności produkcji w przemyśle półprzewodników.Z niecierpliwością czekamy na dalszą współpracę z Państwem.

Cechy materiałowe i strukturalne grzejnika grafitowego z powłoką ceramiczną z węglika krzemu są następujące:

Podłoże grafitowe: Grafit jest znany ze swojej wysokiej przewodności cieplnej i niskiego współczynnika rozszerzalności cieplnej. Może szybko reagować na zmiany temperatury i utrzymywać stabilność strukturalną w wysokich temperaturach.

Powłoka silikonowo-węglowo-ceramiczna: Powłoka SiC jest równomiernie pokrywana powierzchnią grafitu poprzez chemiczne osadzanie z fazy gazowej lub inne zaawansowane procesy. SiC ma wyjątkowo wysoką twardość i odporność na korozję chemiczną, co może chronić podłoże grafitowe przed utlenianiem w wysokiej temperaturze i środowiskami korozyjnymi.

Decyduje o tym specjalna konstrukcja produktu z powłoką ceramiczną z węglika krzemu i grafitowym grzejnikiemniezastąpione zalety tego produktu w procesie przetwarzania półprzewodników:

Wydajne i równomierne ogrzewanie:

Przewodność cieplna: Wysoka przewodność cieplna grafitu umożliwia szybkie osiągnięcie i utrzymanie wymaganej temperatury przez grzejnik, a powłoka SiC zapewnia równomierne rozprowadzanie ciepła. Jest to szczególnie ważne w przypadku procesów półprzewodnikowych wymagających precyzyjnej kontroli temperatury, takich jak szybka obróbka termiczna (RTP) i chemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD).

Jednolitość temperatury: Dzięki równomiernemu rozprowadzaniu ciepła grzejnik grafitowy z powłoką ceramiczną z węglika krzemu może skutecznie zmniejszyć naprężenia termiczne i gradient temperatury, zapewniając konsystencję i stabilność jakości płytek półprzewodnikowych przez cały proces ogrzewania.

Zabezpieczenie antykorozyjne:

Odporność chemiczna: Odporność powłoki SiC na korozję chemiczną umożliwia stabilną i długą pracę grzejnika w środowiskach gazów korozyjnych i środków chemicznych, unikając uszkodzenia grafitowego podłoża. Ta cecha jest szczególnie istotna w procesach takich jak chemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD) i chemiczne osadzanie z fazy gazowej wspomagane plazmą (PECVD).

Odporność na utlenianie: W wysokich temperaturach powłoka SiC może zapobiec utlenianiu podłoża grafitowego, przedłużyć żywotność grzejnika oraz zmniejszyć częstotliwość i koszty konserwacji sprzętu.

Zmniejsz zanieczyszczenie cząstkami:

Stabilność powierzchni: Powłoka SiC jest nie tylko odporna na zużycie, ale także zapobiega wypadaniu cząstek z powierzchni materiału w wyniku cykli termicznych lub reakcji chemicznych, zmniejszając w ten sposób ryzyko zanieczyszczenia cząstkami, które może wystąpić podczas produkcji półprzewodników i zapewniając środowisko procesowe o wysokiej czystości.

Popraw niezawodność i wydajność procesów:

Konstrukcja o długiej żywotności: Dzięki połączeniu wytrzymałości mechanicznej grafitu i odporności na zużycie powłoki SiC, grzejnik grafitowy z powłoką ceramiczną z węglika krzemu może utrzymywać wysoką wydajność przez długi czas w trudnych warunkach procesowych, znacznie poprawiając ogólną niezawodność sprzętu.

Efektywne wykorzystanie energii: Wysoka przewodność cieplna grafitu i stabilność temperatury powłoki SiC umożliwiają grzejnikowi zmniejszenie zużycia energii, jednocześnie poprawiając dokładność kontroli temperatury, poprawiając w ten sposób ogólną wydajność produkcji półprzewodników.

Podstawowe właściwości fizyczneGrzejnik grafitowy z powłoką ceramiczną z węglika krzemu:

Półprzewodnik VeTekGrzejnik grafitowy z powłoką ceramiczną z węglika krzemusklepy:

Przegląd łańcucha branży epitaksji chipów półprzewodnikowych:

/inny-proces