Susceptor do szybkiego wyżarzania termicznego

Susceptor do szybkiego wyżarzania termicznego VeTek Semiconductor charakteryzuje się wysoką jakością i długą żywotnością, zapraszamy do zapytania nas.

Szybkie wyżarzanie termiczne (RTA) jest kluczowym podzbiorem szybkiego przetwarzania termicznego stosowanego w produkcji urządzeń półprzewodnikowych. Polega na ogrzewaniu poszczególnych płytek w celu modyfikacji ich właściwości elektrycznych poprzez różne ukierunkowane obróbki cieplne. Proces RTA umożliwia aktywację domieszek, zmianę powierzchni styku folia-folia lub folia-wafel, zagęszczenie osadzonych folii, modyfikację stanów wyhodowanych folii, naprawę uszkodzeń związanych z implantacją jonów, ruch domieszek i przemieszczanie domieszek pomiędzy warstwami lub w podłoże waflowe.

Produkt VeTek Semiconductor, Susceptor do szybkiego wyżarzania termicznego, odgrywa kluczową rolę w procesie RTP. Jest zbudowany z materiału grafitowego o wysokiej czystości z powłoką ochronną z obojętnego węglika krzemu (SiC). Podłoże krzemowe pokryte SiC może wytrzymać temperatury do 1100°C, zapewniając niezawodne działanie nawet w ekstremalnych warunkach. Powłoka SiC zapewnia doskonałą ochronę przed wyciekiem gazu i wydzielaniem cząstek, zapewniając trwałość produktu.

Aby zachować precyzyjną kontrolę temperatury, chip jest zamknięty pomiędzy dwoma komponentami grafitowymi o wysokiej czystości pokrytymi SiC. Dokładne pomiary temperatury można uzyskać dzięki zintegrowanym czujnikom wysokotemperaturowym lub termoparom stykającym się z podłożem.

Podstawowe właściwości fizyczne powłoki CVD SiC:

Sklep produkcyjny półprzewodników VeTek

Przegląd łańcucha branży epitaksji chipów półprzewodnikowych: