VeTek Semiconductor to wielkoskalowy pierścień pokryty TaC dla producenta i innowatora reaktorów epitaksjalnych SiC w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w powlekaniu TaC. Nasze produkty charakteryzują się wysoką czystością, wysoką stabilnością, doskonałą odpornością na korozję i wysoką siłą wiązania. Patrzymy z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
VeTek Semiconductor to renomowana firma z siedzibą w Chinach, znana ze swojego doświadczenia w produkcji wysokiej jakości powłok TaC i SiC, a także pierścienia powlekanego TaC o wysokiej czystości do reaktora epitaksjalnego SiC. Jesteśmy dumni, że możemy zaoferować najwyższej jakości produkty po konkurencyjnych cenach. Serdecznie zapraszamy do kontaktu i zapoznania się z wyjątkowymi rozwiązaniami, które oferujemy.
Nasze pierścienie powlekane TaC do reaktorów epitaksjalnych SiC odgrywają kluczową rolę. Pierścienie te stanowią integralną część naszego zestawu Halfmoon, oferując podstawowe funkcje, takie jak podparcie podłoża, precyzyjna kontrola temperatury, skuteczna izolacja cieplna, wydajna wentylacja i niezawodna ochrona. Działając harmonijnie, pierścienie te zapewniają dokładną kontrolę grubości, domieszkowania i charakterystyki defektów warstwy epitaksjalnej SiC wyhodowanej w komorze reakcyjnej.
Oprócz naszych wyjątkowych pierścieni pokrytych TaC, VeTek Semiconductor oferuje szeroką gamę powiązanych produktów zaprojektowanych specjalnie do komór reakcyjnych. Nasz asortyment produktów obejmuje górne i dolne półksiężyce, osłony ochronne, osłony izolacyjne i interfejsy przekierowania powietrza procesowego. Każdy z tych komponentów poddawany jest skrupulatnej powłoce SiC lub TaC w celu zwiększenia wydajności i przedłużenia ich żywotności.
Właściwości fizyczne powłoki TaC | |
Gęstość | 14,3 (g/cm3) |
Specyficzna emisyjność | 0.3 |
Współczynnik rozszerzalności cieplnej | 6,3 10-6/K |
Twardość (HK) | 2000 HK |
Opór | 1×10-5 omów*cm |
Stabilność termiczna | <2500 ℃ |
Zmiany rozmiaru grafitu | -10~-20um |
Grubość powłoki | Typowa wartość ≥20um (35um±10um) |