Firma VeTek semiconductor jest wiodącym producentem materiałów powłokowych z węglika tantalu dla przemysłu półprzewodników. Nasza główna oferta produktów obejmuje części z powłoką z węglika tantalu CVD, części ze spiekanej powłoki TaC do hodowli kryształów SiC lub procesu epitaksji półprzewodników. Przeszedł ISO9001, VeTek Semiconductor ma dobrą kontrolę nad jakością. Firma VeTek Semiconductor pragnie stać się innowatorem w branży powłok z węglika tantalu poprzez ciągłe badania i rozwój technologii iteracyjnych.
Głównymi produktami sąPierścień defektor powłoki z węglika tantalu, pierścień odchylający pokryty TaC, części półksiężyca pokryte TaC, planetarny dysk obrotowy pokryty węglikiem tantalu (Aixtron G10), tygiel pokryty TaC; Pierścienie pokryte TaC; Porowaty grafit pokryty TaC; Susceptor grafitowy z powłoką z węglika tantalu; Pierścień prowadzący pokryty TaC; Płyta pokryta węglikiem tantalu TaC; Susceptor waflowy pokryty TaC; Pierścień z powłoką TaC; Grafitowa pokrywa z powłoką TaC; Kawałek pokryty TaCitp., czystość jest poniżej 5 ppm, może spełnić wymagania klienta.
Grafit z powłoką TaC powstaje poprzez pokrycie powierzchni podłoża grafitowego o wysokiej czystości cienką warstwą węglika tantalu w opatentowanym procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD). Zaletę pokazano na poniższym obrazku:
Powłoka z węglika tantalu (TaC) zyskała na popularności ze względu na wysoką temperaturę topnienia do 3880°C, doskonałą wytrzymałość mechaniczną, twardość i odporność na szoki termiczne, co czyni ją atrakcyjną alternatywą dla złożonych procesów epitaksji półprzewodnikowej o wyższych wymaganiach temperaturowych, takie jak system Aixtron MOCVD i proces epitaksji LPE SiC. Ma również szerokie zastosowanie w procesie wzrostu kryształów SiC metodą PVT.
●Stabilność temperatury
●Bardzo wysoka czystość
●Odporność na H2, NH3, SiH4,Si
●Odporność na zapasy termiczne
●Silna przyczepność do grafitu
●Konformalne pokrycie powłoką
● Rozmiar do średnicy 750 mm (jedyny producent w Chinach osiąga ten rozmiar)
● Indukcyjny wspornik grzejny
● Rezystancyjny element grzejny
● Osłona termiczna
Właściwości fizyczne powłoki TaC | |
Gęstość | 14,3 (g/cm3) |
Specyficzna emisyjność | 0.3 |
Współczynnik rozszerzalności cieplnej | 6,3 10-6/K |
Twardość (HK) | 2000 HK |
Opór | 1×10-5Om*cm |
Stabilność termiczna | <2500 ℃ |
Zmiany rozmiaru grafitu | -10~-20um |
Grubość powłoki | Typowa wartość ≥20um (35um±10um) |
Element | Procent atomowy | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Przeciętny | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Ich | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Płyta obrotowa z powłoką TaC firmy VeTek Semiconductor może pochwalić się wyjątkową powłoką TaC. Dzięki wyjątkowej powłoce TaC, płyta obrotowa z powłoką TaC może pochwalić się niezwykłą odpornością na wysokie temperatury i obojętnością chemiczną, co odróżnia ją od tradycyjnych rozwiązań. Zależy nam na dostarczaniu produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach ceny i cieszymy się, że będziemy Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytaniePłyta z powłoką TaC firmy VeTek Semiconductor to niezwykły produkt oferujący wyjątkowe funkcje i zalety. Zaprojektowana z precyzją i dopracowana do perfekcji, nasza płyta powlekająca TaC jest specjalnie dostosowana do różnych zastosowań w procesach wzrostu monokryształów węglika krzemu (SiC). Dokładne wymiary i solidna konstrukcja płytki powlekającej TaC ułatwiają integrację z istniejącymi systemami, zapewniając bezproblemową kompatybilność i efektywne działanie. Jego niezawodne działanie i wysokiej jakości powłoka przyczyniają się do spójnych i jednolitych wyników w zastosowaniach związanych z hodowlą kryształów SiC. Zależy nam na dostarczaniu wysokiej jakości produktów po konkurencyjnych cenach i nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytaniePowłoka CVD TaC dostarczona przez VeTek Semiconductor to wysoce wyspecjalizowany komponent zaprojektowany specjalnie do wymagających zastosowań. Dzięki zaawansowanym funkcjom i wyjątkowej wydajności nasza powłoka CVD TaC oferuje kilka kluczowych zalet. Nasza powłoka CVD TaC zapewnia niezbędną ochronę i wydajność wymaganą do osiągnięcia sukcesu. Z niecierpliwością czekamy na zbadanie potencjalnej współpracy z Tobą!
Czytaj więcejWyślij zapytanieSusceptor planetarny VeTek Semiconductor'TaC to wyjątkowy produkt do sprzętu do epitaksji Aixtron. Wytrzymała powłoka TaC zapewnia doskonałą odporność na wysokie temperatury i obojętność chemiczną. To unikalne połączenie zapewnia niezawodne działanie i długą żywotność, nawet w wymagających warunkach. VeTek angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości i pełnienie roli długoterminowego partnera na rynku chińskim oferującego konkurencyjne ceny.
Czytaj więcejWyślij zapytaniePłyta wsporcza z powłoką TaC firmy VeTek Semiconductor to wysoce precyzyjny produkt zaprojektowany w celu spełnienia specyficznych wymagań procesów epitaksji półprzewodników. Dzięki powłoce TaC, odporności na wysoką temperaturę i obojętności chemicznej nasz produkt umożliwia produkcję wysokiej jakości warstw EPI. Zależy nam na dostarczaniu produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach i cieszymy się, że będziemy Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieUchwyt do powlekania TaC firmy VeTek Semiconductor jest wyposażony w wysokiej jakości powłokę TaC, znaną ze swojej wyjątkowej odporności na wysokie temperatury i obojętności chemicznej, szczególnie w procesach epitaksji (EPI) z węglika krzemu (SiC). Dzięki wyjątkowym funkcjom i doskonałej wydajności nasz uchwyt do powlekania TaC oferuje kilka kluczowych zalet. Zależy nam na dostarczaniu produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach i nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanie