Firma VeTek semiconductor jest wiodącym producentem materiałów powłokowych z węglika tantalu dla przemysłu półprzewodników. Nasza główna oferta produktów obejmuje części z powłoką z węglika tantalu CVD, części ze spiekanej powłoki TaC do hodowli kryształów SiC lub procesu epitaksji półprzewodników. Przeszedł ISO9001, VeTek Semiconductor ma dobrą kontrolę nad jakością. Firma VeTek Semiconductor pragnie stać się innowatorem w branży powłok z węglika tantalu poprzez ciągłe badania i rozwój technologii iteracyjnych.
Głównymi produktami sąPierścień defektor powłoki z węglika tantalu, pierścień odchylający pokryty TaC, części półksiężyca pokryte TaC, planetarny dysk obrotowy pokryty węglikiem tantalu (Aixtron G10), tygiel pokryty TaC; Pierścienie pokryte TaC; Porowaty grafit pokryty TaC; Susceptor grafitowy z powłoką z węglika tantalu; Pierścień prowadzący pokryty TaC; Płyta pokryta węglikiem tantalu TaC; Susceptor waflowy pokryty TaC; Pierścień z powłoką TaC; Grafitowa pokrywa z powłoką TaC; Kawałek pokryty TaCitp., czystość jest poniżej 5 ppm, może spełnić wymagania klienta.
Grafit z powłoką TaC powstaje poprzez pokrycie powierzchni podłoża grafitowego o wysokiej czystości cienką warstwą węglika tantalu w opatentowanym procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD). Zaletę pokazano na poniższym obrazku:
Powłoka z węglika tantalu (TaC) zyskała na popularności ze względu na wysoką temperaturę topnienia do 3880°C, doskonałą wytrzymałość mechaniczną, twardość i odporność na szoki termiczne, co czyni ją atrakcyjną alternatywą dla złożonych procesów epitaksji półprzewodnikowej o wyższych wymaganiach temperaturowych, takie jak system Aixtron MOCVD i proces epitaksji LPE SiC. Ma również szerokie zastosowanie w procesie wzrostu kryształów SiC metodą PVT.
●Stabilność temperatury
●Bardzo wysoka czystość
●Odporność na H2, NH3, SiH4,Si
●Odporność na zapasy termiczne
●Silna przyczepność do grafitu
●Konformalne pokrycie powłoką
● Rozmiar do średnicy 750 mm (jedyny producent w Chinach osiąga ten rozmiar)
● Indukcyjny wspornik grzejny
● Rezystancyjny element grzejny
● Osłona termiczna
Właściwości fizyczne powłoki TaC | |
Gęstość | 14,3 (g/cm3) |
Specyficzna emisyjność | 0.3 |
Współczynnik rozszerzalności cieplnej | 6,3 10-6/K |
Twardość (HK) | 2000 HK |
Opór | 1×10-5Om*cm |
Stabilność termiczna | <2500 ℃ |
Zmiany rozmiaru grafitu | -10~-20um |
Grubość powłoki | Typowa wartość ≥20um (35um±10um) |
Element | Procent atomowy | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Przeciętny | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Ich | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor jest profesjonalnym producentem i liderem produktów tygli z powłoką CVD TaC w Chinach. Tygiel z powłoką CVD TaC oparty jest na powłoce z węgla tantalowego (TaC). Powłoka węgla tantalowego jest równomiernie pokryta powierzchnią tygla w procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD), aby zwiększyć jej odporność na ciepło i korozję. Jest to narzędzie materiałowe specjalnie stosowane w ekstremalnych warunkach wysokiej temperatury. Zapraszamy do dalszych konsultacji.
Czytaj więcejWyślij zapytanieJako profesjonalny producent i fabryka waferów z powłoką CVD TaC w Chinach, VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier jest narzędziem do przenoszenia płytek, specjalnie zaprojektowanym do środowisk o wysokiej temperaturze i korozyjnych w produkcji półprzewodników. i CVD TaC Coating Wafer Carrier charakteryzują się wysoką wytrzymałością mechaniczną, doskonałą odpornością na korozję i stabilnością termiczną, zapewniając niezbędną gwarancję do produkcji wysokiej jakości urządzeń półprzewodnikowych. Dalsze zapytania są mile widziane.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i innowatorem grzejników powłokowych TaC w Chinach. Produkt ten ma wyjątkowo wysoką temperaturę topnienia (około 3880°C). Wysoka temperatura topnienia podgrzewacza powłoki TaC umożliwia jego pracę w ekstremalnie wysokich temperaturach, szczególnie podczas wzrostu warstw epitaksjalnych azotku galu (GaN) w procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej metali organicznych (MOCVD). VeTek Semiconductor angażuje się w dostarczanie zaawansowanych technologii i rozwiązań produktowych dla przemysłu półprzewodników. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieJako profesjonalny producent i dostawca uchwytów powlekanych TaC w Chinach, uchwyt do powlekania TaC firmy VeTek Semiconductor został specjalnie zaprojektowany do pieców półprzewodnikowych. Dzięki odporności na wysoką temperaturę, obojętności chemicznej i doskonałej wydajności innowacyjna technologia firmy Vetek Semiconductor zapewnia niezawodne rozwiązanie dla przemysłu produkującego półprzewodniki, zapewniające wysokie standardy produkcji. Wierzymy, że nasze produkty mogą zapewnić zaawansowaną technologię i wysokiej jakości rozwiązania produktowe.
Czytaj więcejWyślij zapytanieJako profesjonalny producent i dostawca rurek z powłoką TaC w Chinach, rura z powłoką TaC firmy VeTek Semiconductor jest kluczowym elementem pomyślnego wzrostu monokryształów węglika krzemu. Dzięki odporności na wysoką temperaturę, obojętności chemicznej i doskonałej wydajności zapewnia produkcję wysokiej jakości kryształów o stałych wynikach. Zaufaj naszym innowacyjnym rozwiązaniom, aby ulepszyć proces wzrostu kryształów SiC metodą PVT i osiągnąć doskonałe wyniki. Zapraszamy do zapytania nas.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor jest wiodącym producentem, innowatorem i liderem powłok CVD TAC w Chinach. Od wielu lat koncentrujemy się na różnych produktach z powłoką CVD TAC, takich jak pokrywa z powłoki CVD TaC, pierścień powłoki CVD TaC, nośnik powłoki CVD TaC itp. Firma VeTek Semiconductor wspiera niestandardowe usługi produktowe oraz satysfakcjonujące ceny produktów i z niecierpliwością oczekuje na dalsze konsultacja.
Czytaj więcejWyślij zapytanie