Firma VeTek semiconductor jest wiodącym producentem materiałów powłokowych z węglika tantalu dla przemysłu półprzewodników. Nasza główna oferta produktów obejmuje części z powłoką z węglika tantalu CVD, części ze spiekanej powłoki TaC do hodowli kryształów SiC lub procesu epitaksji półprzewodników. Przeszedł ISO9001, VeTek Semiconductor ma dobrą kontrolę nad jakością. Firma VeTek Semiconductor pragnie stać się innowatorem w branży powłok z węglika tantalu poprzez ciągłe badania i rozwój technologii iteracyjnych.
Głównymi produktami sąPierścień defektor powłoki z węglika tantalu, pierścień odchylający pokryty TaC, części półksiężyca pokryte TaC, planetarny dysk obrotowy pokryty węglikiem tantalu (Aixtron G10), tygiel pokryty TaC; Pierścienie pokryte TaC; Porowaty grafit pokryty TaC; Susceptor grafitowy z powłoką z węglika tantalu; Pierścień prowadzący pokryty TaC; Płyta pokryta węglikiem tantalu TaC; Susceptor waflowy pokryty TaC; Pierścień z powłoką TaC; Grafitowa pokrywa z powłoką TaC; Kawałek pokryty TaCitp., czystość jest poniżej 5 ppm, może spełnić wymagania klienta.
Grafit z powłoką TaC powstaje poprzez pokrycie powierzchni podłoża grafitowego o wysokiej czystości cienką warstwą węglika tantalu w opatentowanym procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD). Zaletę pokazano na poniższym obrazku:
Powłoka z węglika tantalu (TaC) zyskała na popularności ze względu na wysoką temperaturę topnienia do 3880°C, doskonałą wytrzymałość mechaniczną, twardość i odporność na szoki termiczne, co czyni ją atrakcyjną alternatywą dla złożonych procesów epitaksji półprzewodnikowej o wyższych wymaganiach temperaturowych, takie jak system Aixtron MOCVD i proces epitaksji LPE SiC. Ma również szerokie zastosowanie w procesie wzrostu kryształów SiC metodą PVT.
●Stabilność temperatury
●Bardzo wysoka czystość
●Odporność na H2, NH3, SiH4,Si
●Odporność na zapasy termiczne
●Silna przyczepność do grafitu
●Konformalne pokrycie powłoką
● Rozmiar do średnicy 750 mm (jedyny producent w Chinach osiąga ten rozmiar)
● Indukcyjny wspornik grzejny
● Rezystancyjny element grzejny
● Osłona termiczna
Właściwości fizyczne powłoki TaC | |
Gęstość | 14,3 (g/cm3) |
Specyficzna emisyjność | 0.3 |
Współczynnik rozszerzalności cieplnej | 6,3 10-6/K |
Twardość (HK) | 2000 HK |
Opór | 1×10-5Om*cm |
Stabilność termiczna | <2500 ℃ |
Zmiany rozmiaru grafitu | -10~-20um |
Grubość powłoki | Typowa wartość ≥20um (35um±10um) |
Element | Procent atomowy | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Przeciętny | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Ich | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Jako profesjonalny innowator i lider produktów pierścieni powlekanych węglikiem tantalu w Chinach, półprzewodnikowy pierścień powlekany węglikiem tantalu VeTek odgrywa niezastąpioną rolę we wzroście kryształów SiC dzięki doskonałej odporności na wysokie temperatury, odporności na zużycie i doskonałej przewodności cieplnej. Zapraszamy do dalszych konsultacji.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor jest profesjonalnym producentem i liderem produktów z porowatego węglika tantalu w Chinach. Porowaty węglik tantalu jest zwykle wytwarzany metodą chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD), zapewniającą precyzyjną kontrolę wielkości i rozmieszczenia porów, i jest narzędziem materiałowym przeznaczonym do ekstremalnych środowisk o wysokiej temperaturze. Zapraszamy do dalszych konsultacji.
Czytaj więcejWyślij zapytanieJako zaawansowany producent i producent produktów z pierścieniem z węglika tantalu w Chinach, VeTek Semiconductor pierścień z węglika tantalu ma wyjątkowo wysoką twardość, odporność na zużycie, odporność na wysoką temperaturę i stabilność chemiczną i jest szeroko stosowany w produkcji półprzewodników. Szczególnie w CVD, PVD, procesie implantacji jonów, procesie trawienia oraz przetwarzaniu i transporcie płytek jest niezbędnym produktem do przetwarzania i produkcji półprzewodników. Czekamy na dalsze konsultacje.
Czytaj więcejWyślij zapytanieJako profesjonalny producent i fabryka powłok z węglika tantalu w Chinach, VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating Support jest zwykle stosowany do powlekania powierzchni elementów konstrukcyjnych lub elementów nośnych w sprzęcie półprzewodnikowym, szczególnie do ochrony powierzchni kluczowych elementów sprzętu w procesach produkcji półprzewodników, takich jak CVD i PVD. Zapraszamy do dalszych konsultacji.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor jest profesjonalnym producentem i liderem produktów z pierścieniami prowadzącymi z węglika tantalu w Chinach. Nasz pierścień prowadzący z węglika tantalu (TaC) to wysokowydajny element pierścieniowy wykonany z węglika tantalu, który jest powszechnie stosowany w sprzęcie do przetwarzania półprzewodników, zwłaszcza w środowiskach o wysokiej temperaturze i wysoce korozyjnych, takich jak CVD, PVD, trawienie i dyfuzja. VeTek Semiconductor angażuje się w dostarczanie zaawansowanych technologii i rozwiązań produktowych dla przemysłu półprzewodników i chętnie przyjmuje dalsze zapytania.
Czytaj więcejWyślij zapytanieJako profesjonalny producent, innowator i lider produktów TaC Coating Rotation Susceptor w Chinach. Susceptor rotacyjny powłoki VeTek Semiconductor TaC jest zwykle instalowany w urządzeniach do chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD) i epitaksji z wiązek molekularnych (MBE) w celu podparcia i obracania płytek w celu zapewnienia równomiernego osadzania materiału i wydajnej reakcji. Jest kluczowym elementem w przetwarzaniu półprzewodników. Zapraszamy do dalszych konsultacji.
Czytaj więcejWyślij zapytanie