Pierścień z węglika tantalu

Pierścień z węglika tantalu (TaC) firmy VeTek Semiconductor wykorzystuje wysokiej jakości grafit jako materiał rdzenia, a dzięki swojej unikalnej strukturze jest w stanie zachować swój kształt i właściwości mechaniczne w ekstremalnych warunkach panujących w piecu do wzrostu kryształów. Wysoka odporność cieplna grafitu zapewnia mu doskonałą stabilność w całym zakresieproces wzrostu kryształów.

Zewnętrzna warstwa pierścienia TaC pokryta jest:powłoka z węglika tantalu, materiału znanego z wyjątkowo wysokiej twardości, temperatury topnienia ponad 3880°C i doskonałej odporności na korozję chemiczną, dzięki czemu szczególnie nadaje się do środowisk pracy o wysokiej temperaturze. Powłoka z węglika tantalu zapewnia silną barierę, która skutecznie zapobiega gwałtownym reakcjom chemicznym i zapewnia, że ​​rdzeń grafitowy nie ulegnie korozji przez gazy piecowe o wysokiej temperaturze.

Podczaswzrost kryształów węglika krzemu (SiC).stabilne i jednolite warunki wzrostu są kluczem do zapewnienia wysokiej jakości kryształów. Pierścień z węglika tantalu odgrywa kluczową rolę w regulacji przepływu gazu i optymalizacji rozkładu temperatury w piecu. Jako pierścień prowadzący gaz, pierścień TaC zapewnia równomierny rozkład energii cieplnej i gazów reakcyjnych, zapewniając równomierny wzrost i stabilność kryształów SiC.

Ponadto wysoka przewodność cieplna grafitu w połączeniu z ochronnym działaniem powłoki z węglika tantalu umożliwia stabilną pracę pierścienia prowadzącego TaC w środowisku o wysokiej temperaturze wymaganej do wzrostu kryształów SiC. Jego wytrzymałość konstrukcyjna i stabilność wymiarowa mają kluczowe znaczenie dla utrzymania warunków w piecu, co bezpośrednio wpływa na jakość wytwarzanych kryształów. Redukując wahania termiczne i reakcje chemiczne w piecu, pierścień powłokowy TaC pomaga generować kryształy o doskonałych właściwościach elektronicznych do wysokowydajnych zastosowań półprzewodników.

Pierścień z węglika tantalu firmy VeTek Semiconductor jest kluczowym elementempiece do hodowli kryształów węglika krzemui wyróżnia się doskonałą trwałością, stabilnością termiczną i odpornością chemiczną. Unikalne połączenie rdzenia grafitowego i powłoki TaC pozwala zachować integralność strukturalną i funkcjonalność w trudnych warunkach. Precyzyjnie kontrolując temperaturę i przepływ gazu w piecu, pierścień powłokowy TaC zapewnia warunki niezbędne do produkcji wysokiej jakości kryształów SiC, które mają kluczowe znaczenie w produkcji najnowocześniejszych komponentów półprzewodnikowych.

Powłoka z węglika tantalu (TaC) na mikroskopijnym przekroju poprzecznym：