Wsparcie powłoki z węglika tantalu

Główną funkcją VeTek SemiconductorPowłoka z węglika tantalu (TaC).Wsparcie polega na ulepszaniuodporność na ciepło, odporność na zużycie i odporność na korozjępodłoża poprzez pokrycie warstwą powłoki z węglika tantalu, aby poprawić dokładność i niezawodność procesu oraz wydłużyć żywotność komponentów. Jest to wysokowydajny produkt powłokowy stosowany w obróbce półprzewodników.

Podstawa z węglika tantalu firmy VeTek Semiconductor ma twardość w skali Mohsa wynoszącą prawie 9 ~ 10, ustępując jedynie diamentowi. Ma wyjątkowo dużą odporność na zużycie i może skutecznie przeciwstawić się zużyciu powierzchni i uderzeniom podczas przetwarzania, skutecznie wydłużając w ten sposób żywotność elementów sprzętu. W połączeniu z wysoką temperaturą topnienia wynoszącą około 3880°C, jest często stosowany do powlekania kluczowych elementów sprzętu półprzewodnikowego, takich jak powłoki powierzchniowe konstrukcji wsporczych, sprzętu do obróbki cieplnej, komór lub uszczelek w sprzęcie półprzewodnikowym w celu zwiększenia jego odporności na zużycie i wysoką temperaturę opór.

Ze względu na wyjątkowo wysoką temperaturę topnienia węglika tantalu, wynoszącą około 3880°C, w procesach przetwarzania półprzewodników, takich jakchemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD)Ifizyczne osadzanie z fazy gazowej (PVD)Powłoka TaC o dużej odporności na wysokie temperatury i korozję chemiczną może skutecznie chronić elementy sprzętu i zapobiegać korozji lub uszkodzeniom podłoża w ekstremalnych warunkach, zapewniając skuteczną ochronę w środowiskach o wysokiej temperaturze podczas produkcji płytek. Ta cecha decyduje również o tym, że powłoka z węglika tantalu firmy VeTek Semiconductor jest często stosowana w procesach trawienia i korozji.

Podkładka z węglika tantalu ma również funkcję zmniejszania zanieczyszczenia cząstkami. Podczas przetwarzania płytek zużycie powierzchni zwykle powoduje powstawanie zanieczyszczeń w postaci cząstek, które wpływają na jakość produktu wafla. Ekstremalne właściwości produktu TaC Coating o twardości bliskiej 9-10 Mohsa mogą skutecznie zmniejszyć to zużycie, ograniczając w ten sposób powstawanie cząstek. W połączeniu z doskonałą przewodnością cieplną powłoki TaC (około 21 W/m·K), może ona utrzymać dobrą przewodność cieplną w warunkach wysokiej temperatury, znacznie poprawiając w ten sposób wydajność i spójność produkcji płytek.

Do głównych produktów firmy VeTek Semiconductor należą powłoki TaCPodgrzewacz powłoki TaC, Tygiel z powłoką CVD TaC, Susceptor rotacji powłoki TaCICzęść zamienna z powłoką TaCitp. oraz wspierają usługi produktów dostosowanych do indywidualnych potrzeb. VeTek Semiconductor angażuje się w dostarczanie doskonałych produktów i rozwiązań technicznych dla przemysłu półprzewodników. Mamy szczerą nadzieję, że zostaniemy Państwa długoterminowym partnerem w Chinach.

Powłoka z węglika tantalu (TaC) na mikroskopijnym przekroju poprzecznym:

Podstawowe właściwości fizyczne powłok CVD TaC：