Część zamienna z powłoką TaC

VeTek Semiconductor jest profesjonalnym producentem płytek z powłoką TaC i innych części zamiennych z powłoką TaC w Chinach. Powłoka TaC jest obecnie stosowana głównie w procesach takich jak wzrost monokryształów węglika krzemu (metoda PVT), dysk epitaksjalny (w tym epitaksja z węglika krzemu, epitaksja LED) itp. W połączeniu z dobrą długoterminową stabilnością płytki TaC Coating Plate, VeTek Semiconductor TaC Płyta powłokowa stała się punktem odniesienia dla części zamiennych TaC Coating. Cieszymy się, że zostaniesz naszym długoterminowym partnerem.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

Półprzewodnik VeTekPłyta z powłoką TaCto specjalny materiał szeroko stosowany wpółprzewodnikproces produkcyjny. W połączeniu z wysoką twardością i odpornością na zużycie, odpornością na wysoką temperaturę, odpornością na korozję, niskim współczynnikiem tarcia i dobrą przewodnością cieplną, płyta powłokowa TaC odgrywa niezastąpioną rolę w wielu ogniwach przetwarzania półprzewodników.

Ogólnie rzecz biorąc, zastosowaniaPłytki pokryte TaCw obróbce półprzewodników są następujące:

Substrat wzrostowy CVD/ALD: Odporność na wysoką temperaturę, stabilność chemiczna i niski współczynnik tarcia płytek pokrytych TaC czynią je idealnymi podłożami do wzrostu CVD/ALD. Może zapewnić stabilne środowisko wzrostu, aby zapewnić jednorodność i gęstość folii.

Płyta maski trawiennej: Wysoka twardość i odporność na korozję płyt pokrytych TaC umożliwia im wytrzymywanie procesów wysokoenergetycznych, takich jak trawienie plazmowe, jako płyty maskujące trawiące, chroniące warstwę leżącą pod spodem.

Pad polerski CMP: Odporność na zużycie i niski współczynnik tarcia płytek pokrytych TaC czynią je idealnymi materiałami na podkładki polerskie CMP, które mogą skutecznie usuwać cząstki i defekty na powierzchni folii.

Rura pieca wysokotemperaturowego: Odporność na wysoką temperaturę i korozję płyt pokrytych TaC umożliwia ich stosowanie jako rur piecowych w piecach wysokotemperaturowych do wyżarzania w wysokiej temperaturze, dyfuzji i innych procesów.

W połączeniu z charakterystyką produktuPłyta z powłoką TaCstwierdza, że produkt ten odgrywa niezastąpioną kluczową rolę w poprawie wydajności urządzenia, przedłużeniu żywotności sprzętu i poprawie wydajności produkcji.

Jako profesjonalny producentGaN na akceptorze epi SiC, Porowaty grafitIPłyta z powłoką TaCw Chinach firma VeTek Semiconductor zawsze kładzie nacisk na świadczenie usług w zakresie produktów dostosowanych do indywidualnych potrzeb i angażuje się w dostarczanie branży najlepszych technologii i rozwiązań produktowych. Z niecierpliwością czekamy na dalsze konsultacje.

Parametry techniczne powłoki CVD TAC：