Podgrzewacz powłoki TaC

VeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i innowatorem grzejników powłokowych TaC w Chinach. Produkt ten ma wyjątkowo wysoką temperaturę topnienia (około 3880°C). Wysoka temperatura topnienia podgrzewacza powłoki TaC umożliwia jego pracę w ekstremalnie wysokich temperaturach, szczególnie podczas wzrostu warstw epitaksjalnych azotku galu (GaN) w procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej metali organicznych (MOCVD). VeTek Semiconductor angażuje się w dostarczanie zaawansowanych technologii i rozwiązań produktowych dla przemysłu półprzewodników. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

Podgrzewacz powłoki TaC to wysokowydajny element grzejny szeroko stosowany w procesach produkcji półprzewodników. Jego powierzchnia jest pokryta materiałem z węglika tantalu (TaC), który zapewnia grzejnikowi doskonałą odporność na wysokie temperatury, odporność na korozję chemiczną i doskonałą przewodność cieplną.

Główne zastosowania podgrzewacza powłoki TaC w produkcji półprzewodników obejmują:

Podczas procesu epitaksjalnego wzrostu azotku galu (GaN) podgrzewacz powłoki TaC zapewnia precyzyjnie kontrolowane środowisko o wysokiej temperaturze, aby zapewnić osadzanie warstwy epitaksjalnej na podłożu z równomierną szybkością i wysoką jakością. Jego stabilna moc cieplna pomaga osiągnąć precyzyjną kontrolę materiałów cienkowarstwowych, poprawiając w ten sposób wydajność urządzenia.

Co więcej, w procesie osadzania chemicznie organicznego metalu z fazy gazowej (MOCVD), w połączeniu z odpornością na wysoką temperaturę i przewodnością cieplną powłoki TaC, podgrzewacz powłoki TaC jest zwykle używany do podgrzewania gazu reakcyjnego, a zapewniając równomierny rozkład ciepła, promuje jego reakcję chemiczną na powierzchni podłoża, poprawiając w ten sposób jednorodność warstwy epitaksjalnej i tworząc wysokiej jakości film.

Jako lider branży w zakresie produktów podgrzewaczy powłoki TaC, VeTek Semiconducto zawsze wspiera usługi dostosowywania produktów i zapewnia zadowalające ceny produktów. Bez względu na Twoje specyficzne wymagania, dopasujemy najlepsze rozwiązanie do Twoich potrzeb w zakresie podgrzewacza powłoki TaC i czekamy na Twoją konsultację w dowolnym momencie.

Podstawowe właściwości fizyczne podgrzewacza powłoki TaC:

Właściwości fizyczne powłoki TaC
Gęstość	14,3 (g/cm3)
Specyficzna emisyjność	0.3
Współczynnik rozszerzalności cieplnej	6,3 10-6/K
Twardość (HK)	2000 HK
Opór	1×10-5 omów*cm
Stabilność termiczna	<2500 ℃
Zmiany rozmiaru grafitu	-10~-20um
Grubość powłoki	Typowa wartość ≥20um (35um±10um)