Tygiel z powłoką CVD TaC

Susceptor rotacyjny powłoki TaC odgrywa kluczową rolę w procesach osadzania w wysokich temperaturach, takich jak CVD i MBE, i jest ważnym komponentem do przetwarzania płytek w produkcji półprzewodników. Wśród nichPowłoka TaCma doskonałą odporność na wysokie temperatury, odporność na korozję i stabilność chemiczną, co zapewnia wysoką precyzję i wysoką jakość podczas przetwarzania płytek.

Tygiel z powłoką CVD TaC zwykle składa się z powłoki TaC igrafitpodłoże. Wśród nich TaC jest materiałem ceramicznym o wysokiej temperaturze topnienia i temperaturze topnienia do 3880°C. Ma wyjątkowo wysoką twardość (twardość Vickersa do 2000 HV), odporność na korozję chemiczną i dużą odporność na utlenianie. Dlatego powłoka TaC jest doskonałym materiałem odpornym na wysokie temperatury w technologii przetwarzania półprzewodników.

Podłoże grafitowe charakteryzuje się dobrą przewodnością cieplną (przewodność cieplna wynosi około 21 W/m·K) i doskonałą stabilnością mechaniczną. Ta cecha decyduje o tym, że grafit staje się idealną powłokąpodłoże.

Tygiel z powłoką CVD TaC jest stosowany głównie w następujących technologiach przetwarzania półprzewodników:

Produkcja wafli: Tygiel z powłoką VeTek Semiconductor CVD TaC ma doskonałą odporność na wysokie temperatury (temperatura topnienia do 3880°C) i odporność na korozję, dlatego jest często stosowany w kluczowych procesach produkcji płytek, takich jak wysokotemperaturowe osadzanie z fazy gazowej (CVD) i wzrost epitaksjalny. W połączeniu z doskonałą stabilnością strukturalną produktu w środowiskach o bardzo wysokich temperaturach, zapewnia to stabilną pracę sprzętu przez długi czas w wyjątkowo trudnych warunkach, skutecznie poprawiając w ten sposób wydajność produkcji i jakość płytek.

Proces wzrostu epitaksjalnego: W procesach epitaksjalnych, takich jakchemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD)i epitaksja z wiązek molekularnych (MBE), tygiel z powłoką CVD TaC odgrywa kluczową rolę w przenoszeniu. Powłoka TaC może nie tylko utrzymać wysoką czystość materiału w ekstremalnych temperaturach i korozyjnej atmosferze, ale także skutecznie zapobiegać zanieczyszczeniu materiału reagentami i korozji reaktora, zapewniając dokładność procesu produkcyjnego i konsystencję produktu.

Jako wiodący w Chinach producent i lider tygli z powłoką CVD TaC, firma VeTek Semiconductor może dostarczać produkty i usługi techniczne dostosowane do indywidualnych potrzeb, zgodnie z wymaganiami sprzętowymi i procesowymi. Mamy szczerą nadzieję, że zostaniemy Państwa długoterminowym partnerem w Chinach.

Powłoka z węglika tantalu (TaC) na mikroskopijnym przekroju poprzecznym：

Właściwości fizyczne powłoki TaC：

Półprzewodnik VeTek Sklepy z tyglem z powłoką CVD TaC: