Płyta wsporcza cokołu z powłoką TaC

VeTek Semiconductor to chiński producent i dostawca, który z wieloletnim doświadczeniem produkuje głównie susceptory z powłoką CVD TaC, pierścień wlotowy, wafer Chunck, uchwyt pokryty TaC, płytkę wsporczą z powłoką TaC. Mam nadzieję zbudować z Tobą relacje biznesowe.

Ceramika TaC ma temperaturę topnienia do 3880℃, wysoką twardość (twardość Mohsa 9 ~ 10), dużą przewodność cieplną (22W·m-1·K−1), dużą wytrzymałość na zginanie (340 ~ 400MPa) i małą rozszerzalność cieplną współczynniku (6,6×10−6K−1) i wykazują doskonałą stabilność termochemiczną oraz doskonałe właściwości fizyczne. Ma dobrą kompatybilność chemiczną i mechaniczną z grafitem i materiałami kompozytowymi C/C, dlatego powłoka TaC jest szeroko stosowana w ochronie termicznej w przemyśle lotniczym, wzroście monokryształów i reaktorach epitaksjalnych, takich jak Aixtron, reaktor LPE EPI w przemyśle półprzewodników. Grafit pokryty TaC ma lepszą odporność na korozję chemiczną niż atrament z gołego kamienia lub grafit pokryty SiC, może być stabilnie stosowany w wysokiej temperaturze 2200 °, nie reaguje z wieloma elementami metalowymi, jest trzecią generacją sceny wzrostu monokryształów półprzewodników, epitaksji i trawienia płytek powłoki o najlepszych parametrach, może znacznie usprawnić proces kontroli temperatury i zanieczyszczeń, Przygotowanie wysokiej jakości płytek z węglika krzemu i pokrewnych płytek epitaksjalnych. Szczególnie nadaje się do hodowli monokryształu GaN lub AlN w sprzęcie MOCVD i monokryształu SiC w sprzęcie PVT, a jakość hodowanego monokryształu jest oczywiście poprawiona.

Powłoka TaC i powłoka SiC Części zamienne, które możemy wykonać:

Parametr powłoki TaC:

Łańcuch przemysłowy:

Sklep produkcyjny