Firma VeTek semiconductor jest wiodącym producentem materiałów powłokowych z węglika tantalu dla przemysłu półprzewodników. Nasza główna oferta produktów obejmuje części z powłoką z węglika tantalu CVD, części ze spiekanej powłoki TaC do hodowli kryształów SiC lub procesu epitaksji półprzewodników. Przeszedł ISO9001, VeTek Semiconductor ma dobrą kontrolę nad jakością. Firma VeTek Semiconductor pragnie stać się innowatorem w branży powłok z węglika tantalu poprzez ciągłe badania i rozwój technologii iteracyjnych.
Głównymi produktami sąPierścień defektor powłoki z węglika tantalu, pierścień odchylający pokryty TaC, części półksiężyca pokryte TaC, planetarny dysk obrotowy pokryty węglikiem tantalu (Aixtron G10), tygiel pokryty TaC; Pierścienie pokryte TaC; Porowaty grafit pokryty TaC; Susceptor grafitowy z powłoką z węglika tantalu; Pierścień prowadzący pokryty TaC; Płyta pokryta węglikiem tantalu TaC; Susceptor waflowy pokryty TaC; Pierścień z powłoką TaC; Grafitowa pokrywa z powłoką TaC; Kawałek pokryty TaCitp., czystość jest poniżej 5 ppm, może spełnić wymagania klienta.
Grafit z powłoką TaC powstaje poprzez pokrycie powierzchni podłoża grafitowego o wysokiej czystości cienką warstwą węglika tantalu w opatentowanym procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD). Zaletę pokazano na poniższym obrazku:
Powłoka z węglika tantalu (TaC) zyskała na popularności ze względu na wysoką temperaturę topnienia do 3880°C, doskonałą wytrzymałość mechaniczną, twardość i odporność na szoki termiczne, co czyni ją atrakcyjną alternatywą dla złożonych procesów epitaksji półprzewodnikowej o wyższych wymaganiach temperaturowych, takie jak system Aixtron MOCVD i proces epitaksji LPE SiC. Ma również szerokie zastosowanie w procesie wzrostu kryształów SiC metodą PVT.
●Stabilność temperatury
●Bardzo wysoka czystość
●Odporność na H2, NH3, SiH4,Si
●Odporność na zapasy termiczne
●Silna przyczepność do grafitu
●Konformalne pokrycie powłoką
● Rozmiar do średnicy 750 mm (jedyny producent w Chinach osiąga ten rozmiar)
● Indukcyjny wspornik grzejny
● Rezystancyjny element grzejny
● Osłona termiczna
Właściwości fizyczne powłoki TaC | |
Gęstość | 14,3 (g/cm3) |
Specyficzna emisyjność | 0.3 |
Współczynnik rozszerzalności cieplnej | 6,3 10-6/K |
Twardość (HK) | 2000 HK |
Opór | 1×10-5Om*cm |
Stabilność termiczna | <2500 ℃ |
Zmiany rozmiaru grafitu | -10~-20um |
Grubość powłoki | Typowa wartość ≥20um (35um±10um) |
Element | Procent atomowy | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Przeciętny | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Ich | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i innowatorem pierścieni trójpłatkowych pokrytych TaC w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w powlekaniu TaC i SiC. Nasze produkty charakteryzują się odpornością na korozję i wysoką wytrzymałością. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i innowatorem uchwytów pokrytych węglikiem tantalu w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w powlekaniu TaC. Nasze produkty charakteryzują się wysoką czystością i odpornością na wysoką temperaturę do 2000 ℃. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i innowatorem pokryć pokrytych węglikiem tantalu w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w powlekaniu TaC i SiC. Nasze produkty charakteryzują się odpornością na korozję i wysoką wytrzymałością. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor jest wiodącym dostawcą niestandardowego dolnego półksiężyca z ultraczystego grafitu w Chinach, od wielu lat specjalizującym się w zaawansowanych materiałach. Nasz dolny półksiężyc z ultraczystego grafitu został specjalnie zaprojektowany do sprzętu epitaksjalnego SiC, zapewniając doskonałą wydajność. Wykonany z ultraczystego importowanego grafitu, zapewnia niezawodność i trwałość. Odwiedź naszą fabrykę w Chinach, aby na własne oczy poznać nasz wysokiej jakości Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor jest wiodącym dostawcą niestandardowych części Upper Halfmoon z powłoką SiC w Chinach, specjalizującym się w zaawansowanych materiałach od ponad 20 lat. Część VeTek Semiconductor Upper Halfmoon Part pokryta SiC została specjalnie zaprojektowana do urządzeń epitaksjalnych SiC, służąc jako kluczowy element komory reakcyjnej. Wykonany z ultraczystego grafitu półprzewodnikowego, zapewnia doskonałą wydajność. Zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor jest wiodącym dostawcą dostosowanych do indywidualnych potrzeb dostawców nośników epitaksji z węglika krzemu w Chinach. Od ponad 20 lat specjalizujemy się w zaawansowanych materiałach. Oferujemy nośnik epitaksji z węglika krzemu do przenoszenia podłoża SiC, wzrostu warstwy epitaksyjnej SiC w reaktorze epitaksjalnym SiC. Ten nośnik epitaksji z węglika krzemu jest ważną częścią półksiężyca pokrytą SiC, odpornością na wysoką temperaturę, odpornością na utlenianie i odpornością na zużycie. Zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanie