Dom > Produkty > Powłoka z węglika tantalu

Chiny Powłoka z węglika tantalu Producent, dostawca, fabryka

Firma VeTek semiconductor jest wiodącym producentem materiałów powłokowych z węglika tantalu dla przemysłu półprzewodników. Nasza główna oferta produktów obejmuje części z powłoką z węglika tantalu CVD, części ze spiekanej powłoki TaC do hodowli kryształów SiC lub procesu epitaksji półprzewodników. Przeszedł ISO9001, VeTek Semiconductor ma dobrą kontrolę nad jakością. Firma VeTek Semiconductor pragnie stać się innowatorem w branży powłok z węglika tantalu poprzez ciągłe badania i rozwój technologii iteracyjnych.


Głównymi produktami sąPierścień defektor powłoki z węglika tantalu, pierścień odchylający pokryty TaC, części półksiężyca pokryte TaC, planetarny dysk obrotowy pokryty węglikiem tantalu (Aixtron G10), tygiel pokryty TaC; Pierścienie pokryte TaC; Porowaty grafit pokryty TaC; Susceptor grafitowy z powłoką z węglika tantalu; Pierścień prowadzący pokryty TaC; Płyta pokryta węglikiem tantalu TaC; Susceptor waflowy pokryty TaC; Pierścień z powłoką TaC; Grafitowa pokrywa z powłoką TaC; Kawałek pokryty TaCitp., czystość jest poniżej 5 ppm, może spełnić wymagania klienta.


Grafit z powłoką TaC powstaje poprzez pokrycie powierzchni podłoża grafitowego o wysokiej czystości cienką warstwą węglika tantalu w opatentowanym procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD). Zaletę pokazano na poniższym obrazku:


Excellent properties of TaC coating graphite


Powłoka z węglika tantalu (TaC) zyskała na popularności ze względu na wysoką temperaturę topnienia do 3880°C, doskonałą wytrzymałość mechaniczną, twardość i odporność na szoki termiczne, co czyni ją atrakcyjną alternatywą dla złożonych procesów epitaksji półprzewodnikowej o wyższych wymaganiach temperaturowych, takie jak system Aixtron MOCVD i proces epitaksji LPE SiC. Ma również szerokie zastosowanie w procesie wzrostu kryształów SiC metodą PVT.


Kluczowe funkcje:

 ●Stabilność temperatury

 ●Bardzo wysoka czystość

 ●Odporność na H2, NH3, SiH4,Si

 ●Odporność na zapasy termiczne

 ●Silna przyczepność do grafitu

 ●Konformalne pokrycie powłoką

 Rozmiar do średnicy 750 mm (jedyny producent w Chinach osiąga ten rozmiar)


Aplikacje:

 ●Nośnik opłatków

 ● Indukcyjny wspornik grzejny

 ● Rezystancyjny element grzejny

 ●Dysk satelitarny

 ●Głowica prysznicowa

 ●Pierścień prowadzący

 ●Odbiornik LED Epi

 ●Dysza wtryskowa

 ●Pierścień maskujący

 ● Osłona termiczna


Powłoka z węglika tantalu (TaC) na mikroskopijnym przekroju poprzecznym:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parametr powłoki z węglika tantalu VeTek Semiconductor:

Właściwości fizyczne powłoki TaC
Gęstość 14,3 (g/cm3)
Specyficzna emisyjność 0.3
Współczynnik rozszerzalności cieplnej 6,3 10-6/K
Twardość (HK) 2000 HK
Opór 1×10-5Om*cm
Stabilność termiczna <2500 ℃
Zmiany rozmiaru grafitu -10~-20um
Grubość powłoki Typowa wartość ≥20um (35um±10um)


Dane EDX powłoki TaC

EDX data of TaC coating


Dane dotyczące struktury kryształu powłoki TaC:

Element Procent atomowy
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Przeciętny
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
Ich 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Pierścień z trzema płatkami pokryty TaC

Pierścień z trzema płatkami pokryty TaC

VeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i innowatorem pierścieni trójpłatkowych pokrytych TaC w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w powlekaniu TaC i SiC. Nasze produkty charakteryzują się odpornością na korozję i wysoką wytrzymałością. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Czytaj więcejWyślij zapytanie
Uchwyt pokryty węglikiem tantalu

Uchwyt pokryty węglikiem tantalu

VeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i innowatorem uchwytów pokrytych węglikiem tantalu w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w powlekaniu TaC. Nasze produkty charakteryzują się wysoką czystością i odpornością na wysoką temperaturę do 2000 ℃. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Czytaj więcejWyślij zapytanie
Pokrywa pokryta węglikiem tantalu

Pokrywa pokryta węglikiem tantalu

VeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i innowatorem pokryć pokrytych węglikiem tantalu w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w powlekaniu TaC i SiC. Nasze produkty charakteryzują się odpornością na korozję i wysoką wytrzymałością. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Czytaj więcejWyślij zapytanie
Ultra czysty grafitowy dolny półksiężyc

Ultra czysty grafitowy dolny półksiężyc

VeTek Semiconductor jest wiodącym dostawcą niestandardowego dolnego półksiężyca z ultraczystego grafitu w Chinach, od wielu lat specjalizującym się w zaawansowanych materiałach. Nasz dolny półksiężyc z ultraczystego grafitu został specjalnie zaprojektowany do sprzętu epitaksjalnego SiC, zapewniając doskonałą wydajność. Wykonany z ultraczystego importowanego grafitu, zapewnia niezawodność i trwałość. Odwiedź naszą fabrykę w Chinach, aby na własne oczy poznać nasz wysokiej jakości Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon.

Czytaj więcejWyślij zapytanie
Górna część Halfmoon pokryta SiC

Górna część Halfmoon pokryta SiC

VeTek Semiconductor jest wiodącym dostawcą niestandardowych części Upper Halfmoon z powłoką SiC w Chinach, specjalizującym się w zaawansowanych materiałach od ponad 20 lat. Część VeTek Semiconductor Upper Halfmoon Part pokryta SiC została specjalnie zaprojektowana do urządzeń epitaksjalnych SiC, służąc jako kluczowy element komory reakcyjnej. Wykonany z ultraczystego grafitu półprzewodnikowego, zapewnia doskonałą wydajność. Zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki w Chinach.

Czytaj więcejWyślij zapytanie
Nośnik epitaksji z węglika krzemu

Nośnik epitaksji z węglika krzemu

VeTek Semiconductor jest wiodącym dostawcą dostosowanych do indywidualnych potrzeb dostawców nośników epitaksji z węglika krzemu w Chinach. Od ponad 20 lat specjalizujemy się w zaawansowanych materiałach. Oferujemy nośnik epitaksji z węglika krzemu do przenoszenia podłoża SiC, wzrostu warstwy epitaksyjnej SiC w reaktorze epitaksjalnym SiC. Ten nośnik epitaksji z węglika krzemu jest ważną częścią półksiężyca pokrytą SiC, odpornością na wysoką temperaturę, odpornością na utlenianie i odpornością na zużycie. Zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki w Chinach.

Czytaj więcejWyślij zapytanie
<...56789>
Jako profesjonalny producent i dostawca w Chinach posiadamy własną fabrykę. Niezależnie od tego, czy potrzebujesz usług dostosowanych do specyficznych potrzeb Twojego regionu, czy też chcesz kupić zaawansowane i trwałe Powłoka z węglika tantalu wyprodukowane w Chinach, możesz zostawić nam wiadomość.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept