VeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i innowatorem uchwytów pokrytych węglikiem tantalu w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w powlekaniu TaC. Nasze produkty charakteryzują się wysoką czystością i odpornością na wysoką temperaturę do 2000 ℃. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
VeTek Semiconductor dostarcza wysokiej jakości uchwyt pokryty węglikiem tantalu i części z powłoką SiC w konkurencyjnej cenie. Zapraszamy do zapytania nas. Uchwyt VeTek Semiconductor pokryty węglikiem tantalu, zaprojektowany specjalnie dla systemu AIXTRON G10 MOCVD. To akcesorium zwiększa wydajność i jakość produkcji półprzewodników, zapewniając wyjątkową wydajność i niezawodność.
Wykonany z materiałów wysokiej jakości i precyzyjnie wykonany, uchwyt posiada podłoże grafitowe pokryte węglikiem tantalu CVD (TaC). Powłoka ta zapewnia doskonałą stabilność termiczną, wysoką czystość i odporność na wysokie temperatury. Zapewnia niezawodne działanie w wymagających warunkach procesów MOCVD.
Uchwyt można dostosować do różnych rozmiarów płytek półprzewodnikowych, dzięki czemu nadaje się do różnych wymagań produkcyjnych. Jego solidna konstrukcja minimalizuje przestoje i koszty konserwacji związane z nośnikami i susceptorami płytek.
Dzięki uchwytowi VeTek Semiconductor z powłoką z węglika tantalu, system AIXTRON G10 MOCVD osiąga wyższą wydajność i doskonałe wyniki w produkcji półprzewodników. Jego wyjątkowa stabilność termiczna, kompatybilność z różnymi rozmiarami płytek i niezawodne działanie sprawiają, że jest to niezbędne narzędzie do optymalizacji wydajności produkcji i osiągania wyjątkowych wyników w wymagającym środowisku MOCVD.
Właściwości fizyczne powłoki TaC | |
Gęstość | 14,3 (g/cm3) |
Specyficzna emisyjność | 0.3 |
Współczynnik rozszerzalności cieplnej | 6,3 10-6/K |
Twardość (HK) | 2000 HK |
Opór | 1×10-5 omów*cm |
Stabilność termiczna | <2500 ℃ |
Zmiany rozmiaru grafitu | -10~-20um |
Grubość powłoki | Typowa wartość ≥20um (35um±10um) |