Pierścień z trzema płatkami pokryty TaC

VeTek Semiconductor jest profesjonalnym producentem i dostawcą pierścienia trójpłatkowego powlekanego TaC w Chinach. Pierścień trójpłatkowy pokryty TaC jest stosowany w systemie osadzania Aixtron G10 dla półprzewodników złożonych, epitaksja G10-GaN o wysokiej przepustowości 150/200 mm dla zasilania GaN i RF Aplikacje.

Powłoka VeTek Semiconductor TaC to nowa generacja materiału odpornego na wysokie temperatury, o lepszej stabilności w wysokich temperaturach niż SiC, jako powłoka odporna na korozję, powłoka odporna na utlenianie, powłoka odporna na zużycie, może być stosowana w środowisku powyżej 2000 ℃, szeroko stosowana w Części gorącej końcówki w przemyśle lotniczym i kosmonautycznym o bardzo wysokiej temperaturze, trzecia generacja wzrostu monokryształów półprzewodników i inne dziedziny.

Cechy produktu:

1. Wysoka czystość, zawartość zanieczyszczeń <5 ppm

2. Odporność na wysoką temperaturę, odporność na korozję, wysoka gęstość, wysoka gęstość

3. Jest chemicznie obojętny na amoniak, wodór, silany i krzem w wysokiej temperaturze i ma dobrą stabilność termiczną.

4. Odporność na szok termiczny, może przyspieszyć cykl operacyjny

5. Silna przyczepność grafitu zapewnia długą żywotność i brak rozwarstwiania się powłoki.

6. Ścisłe tolerancje wymiarowe.

Główne zastosowania:

1. Wzrost epitaksjalny

2. Wzrost monokryształów

3. Odwrócenie korozji w wysokiej temperaturze

4. Dysza odporna na wysoką temperaturę i utlenianie

5. Łopatki turbin gazowych

Parametr produktu pierścienia trójpłatkowego powlekanego TaC

Sklep produkcyjny półprzewodników VeTek