Nagrzewnica VEECO MOCVD

Grzejnik VEECO MOCVD firmy VeTeksemi jest wykonany z materiału grafitowego o wysokiej czystości o ściśle kontrolowanej zawartości zanieczyszczeń poniżej 5 ppm i pokryty węglikiem krzemu o ultrawysokiej czystości (SiC) o czystości ponad 99,99995% poprzezproces chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD).. To połączenie materiałów nadaje grzejnikowi szereg kluczowych właściwości, które zapewniają jego doskonałe działanie w pomieszczeniach zamkniętychchemiczne osadzanie z fazy gazowej metali organicznych (MOCVD)proces.

Jedną z wyjątkowych cech grzejnika VEECO MOCVD jest jego niezwykła czystość chemiczna. Rdzeń grafitowy o wysokiej czystości znacznie zmniejsza potencjalne wprowadzanie zanieczyszczeń w procesie wysokotemperaturowym, zapewniając wyjątkowo czysty proces osadzania powłoki. ThePowłoka CVD SiCzapewnia dodatkową ochronę grzejnika, tworząc silną barierę zapobiegającą reakcjom chemicznym mogącym pogorszyć jakość folii. Ta niezrównana czystość jest niezbędna do produkcji wydajnych i niezawodnych urządzeń półprzewodnikowych.

Jednocześnie grzejnik charakteryzuje się niezwykle wysoką stabilnością termiczną i wydajnością. SiC ma wysoką temperaturę topnienia i doskonałą przewodność cieplną, dzięki czemu grzejnik może skutecznie zarządzać i przewodzić ciepło. Zapewnia to równomierne nagrzewanie podłoża, co z kolei pomaga uzyskać równomierne osadzanie się folii i zmniejszyć defekty spowodowane gradientami termicznymi. Taka sprawność cieplna jest szczególnie ważna w produkcji precyzyjnej.

Grzejnik VEECO MOCVD wyróżnia się także parametrami elektrycznymi. Rdzeń grafitowy o wysokiej czystości charakteryzuje się doskonałą przewodnością elektryczną, dzięki czemu grzejnik może sprostać wysokim wymaganiom w zakresie obciążenia elektrycznego. Ta stabilna wydajność elektryczna umożliwia grzejnikowi utrzymanie precyzyjnej kontroli temperatury i szybkości osadzania w warunkach dużego obciążenia, co ma kluczowe znaczenie dla zapewnienia stałych warunków procesu i poprawy wydajności produkcji półprzewodników.

Konstrukcja powierzchni grzejnika została starannie zoptymalizowana tak, aby uzyskać wysoką emisyjność podłoża, co znacznie poprawia efektywność radiacyjnego przenoszenia ciepła. Zdolność do równomiernego ogrzewania jest kluczowym czynnikiem zapewniającym stałą grubość i charakterystykę osadzania powłoki. Konstrukcja powierzchni o wysokiej emisyjności poprawia również ogólną sprawność cieplną nagrzewnicy, zmniejszając w ten sposób zużycie energii i obniżając koszty operacyjne.

Pod względem trwałości grzejnik VEECO MOCVD firmy VeTeksemi wykazuje doskonałą odporność na korozję, odporność na utlenianie i wytrzymałość mechaniczną. Powłoka CVD SiC zapewnia solidną barierę dla gazów korozyjnych i chemikaliów powszechnych w procesach MOCVD, przedłużając w ten sposób żywotność sprzętu i zmniejszając potrzeby konserwacji i koszty wymiany. Jego odporność na utlenianie zapewnia, że ​​grzejnik pozostaje stabilny w wysokich temperaturach bez pogorszenia wydajności, zapewniając długoterminową stabilność.

Ponadto wysoka wytrzymałość mechaniczna grzejnika MOCVD firmy VeTeksemi pozwala mu wytrzymać naprężenia fizyczne powstające podczas cykli termicznych i przenoszenia podłoża. Jego wytrzymałość zmniejsza ryzyko awarii mechanicznej i zapewnia niezawodną pracę urządzeń w trudnych warunkach procesowych.

Jako zaawansowany producent i dostawca produktów grzewczych VEECO MOCVD, VeTeksemi oferuje również szeroką gamę wysokiej jakości produktów grzewczych, takich jakPodgrzewacz powłoki TaC, Grzejnik grafitowy z powłoką ceramiczną z węglika krzemu, grzejnik z powłoką ceramiczną z węglika krzemuitp. Firma VeTek Semiconductor angażuje się w dostarczanie zaawansowanych i możliwych do dostosowania technologii oraz rozwiązań produktowych dla przemysłu półprzewodników. Mamy szczerą nadzieję, że będziemy Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.