- English
- Español
- Português
- русский
- Français
- 日本語
- Deutsch
- tiếng Việt
- Italiano
- Nederlands
- ภาษาไทย
- Polski
- 한국어
- Svenska
- magyar
- Malay
- বাংলা ভাষার
- Dansk
- Suomi
- हिन्दी
- Pilipino
- Türkçe
- Gaeilge
- العربية
- Indonesia
- Norsk
- تمل
- český
- ελληνικά
- український
- Javanese
- فارسی
- தமிழ்
- తెలుగు
- नेपाली
- Burmese
- български
- ລາວ
- Latine
- Қазақша
- Euskal
- Azərbaycan
- Slovenský jazyk
- Македонски
- Lietuvos
- Eesti Keel
- Română
- Slovenski
- मराठी
- Srpski језик
Chiny Powłoka z węglika tantalu Producent, dostawca, fabryka
Firma VeTek semiconductor jest wiodącym producentem materiałów powłokowych z węglika tantalu dla przemysłu półprzewodników. Nasza główna oferta produktów obejmuje części z powłoką z węglika tantalu CVD, części ze spiekanej powłoki TaC do hodowli kryształów SiC lub procesu epitaksji półprzewodników. Przeszedł ISO9001, VeTek Semiconductor ma dobrą kontrolę nad jakością. Firma VeTek Semiconductor pragnie stać się innowatorem w branży powłok z węglika tantalu poprzez ciągłe badania i rozwój technologii iteracyjnych.
Głównymi produktami sąPierścień prowadzący pokryty TaC, Trójpłatkowy pierścień prowadzący pokryty powłoką CVD TaC, Halfmoon pokryty węglikiem tantalu TaC, Susceptor epitaksjalny planetarny SiC z powłoką CVD TaC, Pierścień z powłoką z węglika tantalu, Porowaty grafit pokryty węglikiem tantalu, Susceptor rotacji powłoki TaC, Pierścień z węglika tantalu, Płytka obrotowa z powłoką TaC, Susceptor waflowy pokryty TaC, Pierścień deflektora pokryty TaC, Powłoka CVD TaC, Uchwyt pokryty TaCitp., czystość jest poniżej 5 ppm, może spełnić wymagania klienta.
Grafit z powłoką TaC powstaje poprzez pokrycie powierzchni podłoża grafitowego o wysokiej czystości cienką warstwą węglika tantalu w opatentowanym procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD). Zaletę pokazano na poniższym obrazku:
Powłoka z węglika tantalu (TaC) zyskała na popularności ze względu na wysoką temperaturę topnienia do 3880°C, doskonałą wytrzymałość mechaniczną, twardość i odporność na szoki termiczne, co czyni ją atrakcyjną alternatywą dla złożonych procesów epitaksji półprzewodnikowej o wyższych wymaganiach temperaturowych, takie jak system Aixtron MOCVD i proces epitaksji LPE SiC. Ma również szerokie zastosowanie w procesie wzrostu kryształów SiC metodą PVT.
Kluczowe funkcje:
●Stabilność temperatury
●Bardzo wysoka czystość
●Odporność na H2, NH3, SiH4,Si
●Odporność na zapasy termiczne
●Silna przyczepność do grafitu
●Konformalne pokrycie powłoką
● Rozmiar do średnicy 750 mm (jedyny producent w Chinach osiąga ten rozmiar)
Aplikacje:
● Indukcyjny wspornik grzejny
● Rezystancyjny element grzejny
● Osłona termiczna
Powłoka z węglika tantalu (TaC) na mikroskopijnym przekroju poprzecznym:
Parametr powłoki z węglika tantalu VeTek Semiconductor:
| Właściwości fizyczne powłoki TaC | |
| Gęstość | 14,3 (g/cm3) |
| Specyficzna emisyjność | 0.3 |
| Współczynnik rozszerzalności cieplnej | 6,3 10-6/K |
| Twardość (HK) | 2000 HK |
| Opór | 1×10-5Om*cm |
| Stabilność termiczna | <2500 ℃ |
| Zmiany rozmiaru grafitu | -10~-20um |
| Grubość powłoki | Typowa wartość ≥20um (35um±10um) |
Dane EDX powłoki TaC：
Dane dotyczące struktury kryształu powłoki TaC:
| Element | Procent atomowy | |||
| Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Przeciętny | |
| C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
| Ich | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
- View as
Pierścień prowadzący pokryty TaC
Pierścień prowadzący z powłoką TaC wykonany jest z wysokiej jakości grafitu i powłoki TaC. Podczas przygotowywania kryształów SiC metodą PVT pierścień prowadzący pokryty TaC firmy VeTek Semiconductor służy głównie do prowadzenia i kontrolowania przepływu powietrza, optymalizacji procesu wzrostu monokryształów i poprawy wydajności monokryształów. Dzięki doskonałej technologii powlekania TaC nasze produkty charakteryzują się doskonałą odpornością na wysokie temperatury, odpornością na korozję i dobrymi właściwościami mechanicznymi. Serdecznie zapraszamy do konsultacji i z niecierpliwością czekamy na dostarczenie bardziej szczegółowych informacji o produkcie i pomocy technicznej.
Czytaj więcejWyślij zapytanie
Planetarny dysk obrotowy pokryty węglikiem tantalu
VeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i dostawcą planetarnych dysków obrotowych pokrytych węglikiem tantalu w Chinach, od wielu lat skupiającym się na technologii powlekania TaC. Nasze produkty charakteryzują się wysoką czystością i doskonałą odpornością na wysokie temperatury, co jest powszechnie uznawane przez producentów półprzewodników. Planetarny dysk obrotowy VeTek Semiconductor pokryty węglikiem tantalu stał się podstawą branży epitaksji płytek. Cieszymy się na nawiązanie z Państwem długoterminowej współpracy, aby wspólnie promować postęp technologiczny i optymalizację produkcji.
Czytaj więcejWyślij zapytanie
Nośnik wafla z grafitu powlekanego TaC
Firma VeTek Semiconductor starannie zaprojektowała dla klientów grafitowy nośnik waflowy pokryty TaC. Składa się z grafitu o wysokiej czystości i powłoki TaC, która nadaje się do różnych epitaksjalnych procesów obróbki płytek waflowych. Od wielu lat specjalizujemy się w powłokach SiC i TaC. W porównaniu z powłoką SiC, nasz grafitowy nośnik waflowy pokryty TaC ma wyższą odporność na temperaturę i zużycie. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanie
Jako profesjonalny producent i dostawca w Chinach posiadamy własną fabrykę. Niezależnie od tego, czy potrzebujesz usług dostosowanych do specyficznych potrzeb Twojego regionu, czy też chcesz kupić zaawansowane i trwałe Powłoka z węglika tantalu wyprodukowane w Chinach, możesz zostawić nam wiadomość.
