Unikalne powłoki węglikowe firmy VeTek Semiconductor zapewniają doskonałą ochronę części grafitowych w procesie epitaksji SiC w przetwarzaniu wymagających półprzewodników i kompozytowych materiałów półprzewodnikowych. Rezultatem jest wydłużona żywotność komponentów grafitowych, zachowanie stechiometrii reakcji, hamowanie migracji zanieczyszczeń do zastosowań epitaksyjnych i wzrostu kryształów, co skutkuje zwiększoną wydajnością i jakością.
Nasze powłoki z węglika tantalu (TaC) chronią krytyczne elementy pieca i reaktora w wysokich temperaturach (do 2200°C) przed gorącym amoniakiem, wodorem, oparami krzemu i stopionymi metalami. VeTek Semiconductor oferuje szeroką gamę możliwości przetwarzania i pomiarów grafitu, aby spełnić Twoje indywidualne wymagania, dzięki czemu możemy zaoferować płatną powłokę lub pełną obsługę, z naszym zespołem doświadczonych inżynierów gotowych zaprojektować odpowiednie rozwiązanie dla Ciebie i Twojego konkretnego zastosowania .
Złożone kryształy półprzewodników
VeTek Semiconductor może dostarczyć specjalne powłoki TaC dla różnych komponentów i nośników. Dzięki wiodącemu w branży procesowi powlekania firmy VeTek Semiconductor powłoka TaC może uzyskać wysoką czystość, stabilność w wysokiej temperaturze i wysoką odporność chemiczną, poprawiając w ten sposób jakość produktu krystalicznych warstw TaC/GaN) i EPl oraz wydłużając żywotność krytycznych elementów reaktora.
Izolatory termiczne
Składniki do wzrostu kryształów SiC, GaN i AlN, w tym tygle, pojemniki na nasiona, deflektory i filtry. Zespoły przemysłowe, w tym rezystancyjne elementy grzejne, dysze, pierścienie ekranujące i uchwyty do lutowania, komponenty epitaksjalnego reaktora CVD GaN i SiC, w tym nośniki płytek, tace satelitarne, głowice prysznicowe, kołpaki i cokoły, komponenty MOCVD.
Nośnik płytki LED (dioda elektroluminescencyjna).
Odbiornik ALD (półprzewodnikowy).
Receptor EPI (proces epitaksji SiC)
Susceptor satelitarny pokryty TaC Susceptor i pierścień z powłoką TaC Części z powłoką TaC Części Halfmoon z powłoką TaC
SiC | TaC | |
Główne cechy | Ultra wysoka czystość, doskonała odporność na plazmę | Doskonała stabilność w wysokiej temperaturze (zgodność procesu w wysokiej temperaturze) |
Czystość | >99,9999% | >99,9999% |
Gęstość (g/cm3) | 3.21 | 15 |
Twardość (kg/mm2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Rezystywność [Ωcm] | 0,1-15 000 | <1 |
Przewodność cieplna (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Współczynnik rozszerzalności cieplnej (10-6 / ℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Aplikacja | Sprzęt półprzewodnikowy Przyrząd ceramiczny (pierścień ostrości, głowica prysznicowa, atrapa płytki) | Wzrost monokryształów SiC, Epi, UV LED Części sprzętu |
VeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i innowatorem powłok z węglika tantalu w Chinach. Koncentrujemy się na dostarczaniu produktów z węglika tantalu o wysokiej czystości i odporności na wysokie temperatury. Nasze osłony pokryte węglikiem tantalu mają doskonałą wydajność i niezawodność oraz mogą skutecznie chronić materiały w ekstremalnie wysokich temperaturach i środowiskach korozyjnych. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytaniePierścień deflektora pokryty TaC firmy VeTek Semiconductor to wysoce wyspecjalizowany komponent przeznaczony do procesów wzrostu kryształów SiC. Powłoka TaC zapewnia doskonałą odporność na wysokie temperatury i obojętność chemiczną, aby poradzić sobie z wysokimi temperaturami i środowiskami korozyjnymi podczas procesu wzrostu kryształów. Zapewnia to stabilną pracę i długą żywotność komponentu, zmniejszając częstotliwość wymian i przestojów. Zależy nam na dostarczaniu produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach i cieszymy się, że będziemy Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor to wielkoskalowy pierścień pokryty TaC dla producenta i innowatora reaktorów epitaksjalnych SiC w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w powlekaniu TaC. Nasze produkty charakteryzują się wysoką czystością, wysoką stabilnością, doskonałą odpornością na korozję i wysoką siłą wiązania. Patrzymy z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor to wielkoformatowa część półksiężyca pokryta węglikiem tantalu dla producenta LPE i innowatora w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w powlekaniu TaC. Nasze produkty wytrzymują temperatury powyżej 2000 stopni Celsjusza, przedłużając żywotność materiałów eksploatacyjnych. Z niecierpliwością czekamy aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor to wiodący producent i innowator w Chinach, produkujący planetarne dyski obrotowe powlekane węglikiem tantalu. Od wielu lat specjalizujemy się w powlekaniu ceramicznym. Nasze produkty charakteryzują się wysoką czystością i odpornością na wysoką temperaturę. Z niecierpliwością czekamy na współpracę z Twoim długoterminowym partnerem w dziedzinie Chiny.
Czytaj więcejWyślij zapytanie