Dom > Produkty > Powłoka z węglika tantalu > Proces epitaksji SiC

Chiny Proces epitaksji SiC Producent, dostawca, fabryka

Unikalne powłoki węglikowe firmy VeTek Semiconductor zapewniają doskonałą ochronę części grafitowych w procesie epitaksji SiC w przetwarzaniu wymagających półprzewodników i kompozytowych materiałów półprzewodnikowych. Rezultatem jest wydłużona żywotność komponentów grafitowych, zachowanie stechiometrii reakcji, hamowanie migracji zanieczyszczeń do zastosowań epitaksyjnych i wzrostu kryształów, co skutkuje zwiększoną wydajnością i jakością.

Nasze powłoki z węglika tantalu (TaC) chronią krytyczne elementy pieca i reaktora w wysokich temperaturach (do 2200°C) przed gorącym amoniakiem, wodorem, oparami krzemu i stopionymi metalami. VeTek Semiconductor oferuje szeroką gamę możliwości przetwarzania i pomiarów grafitu, aby spełnić Twoje indywidualne wymagania, dzięki czemu możemy zaoferować płatną powłokę lub pełną obsługę, z naszym zespołem doświadczonych inżynierów gotowych zaprojektować odpowiednie rozwiązanie dla Ciebie i Twojego konkretnego zastosowania .

Złożone kryształy półprzewodników

VeTek Semiconductor może dostarczyć specjalne powłoki TaC dla różnych komponentów i nośników. Dzięki wiodącemu w branży procesowi powlekania firmy VeTek Semiconductor powłoka TaC może uzyskać wysoką czystość, stabilność w wysokiej temperaturze i wysoką odporność chemiczną, poprawiając w ten sposób jakość produktu krystalicznych warstw TaC/GaN) i EPl oraz wydłużając żywotność krytycznych elementów reaktora.

Izolatory termiczne

Składniki do wzrostu kryształów SiC, GaN i AlN, w tym tygle, pojemniki na nasiona, deflektory i filtry. Zespoły przemysłowe, w tym rezystancyjne elementy grzejne, dysze, pierścienie ekranujące i uchwyty do lutowania, komponenty epitaksjalnego reaktora CVD GaN i SiC, w tym nośniki płytek, tace satelitarne, głowice prysznicowe, kołpaki i cokoły, komponenty MOCVD.


Zamiar:

Nośnik płytki LED (dioda elektroluminescencyjna).

Odbiornik ALD (półprzewodnikowy).

Receptor EPI (proces epitaksji SiC)


Porównanie powłoki SiC i powłoki TaC:

SiC TaC
Główne cechy Ultra wysoka czystość, doskonała odporność na plazmę Doskonała stabilność w wysokiej temperaturze (zgodność procesu w wysokiej temperaturze)
Czystość >99,9999% >99,9999%
Gęstość (g/cm3) 3.21 15
Twardość (kg/mm2) 2900-3300 6,7-7,2
Rezystywność [Ωcm] 0,1-15 000 <1
Przewodność cieplna (W/m-K) 200-360 22
Współczynnik rozszerzalności cieplnej (10-6 / ℃) 4,5-5 6.3
Aplikacja Sprzęt półprzewodnikowy Przyrząd ceramiczny (pierścień ostrości, głowica prysznicowa, atrapa płytki) Wzrost monokryształów SiC, Epi, UV LED Części sprzętu


View as  
 
Powłoka z węglika tantalu

Powłoka z węglika tantalu

VeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i innowatorem powłok z węglika tantalu w Chinach. Koncentrujemy się na dostarczaniu produktów z węglika tantalu o wysokiej czystości i odporności na wysokie temperatury. Nasze osłony pokryte węglikiem tantalu mają doskonałą wydajność i niezawodność oraz mogą skutecznie chronić materiały w ekstremalnie wysokich temperaturach i środowiskach korozyjnych. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Czytaj więcejWyślij zapytanie
Pierścień deflektora pokryty TaC

Pierścień deflektora pokryty TaC

Pierścień deflektora pokryty TaC firmy VeTek Semiconductor to wysoce wyspecjalizowany komponent przeznaczony do procesów wzrostu kryształów SiC. Powłoka TaC zapewnia doskonałą odporność na wysokie temperatury i obojętność chemiczną, aby poradzić sobie z wysokimi temperaturami i środowiskami korozyjnymi podczas procesu wzrostu kryształów. Zapewnia to stabilną pracę i długą żywotność komponentu, zmniejszając częstotliwość wymian i przestojów. Zależy nam na dostarczaniu produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach i cieszymy się, że będziemy Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Czytaj więcejWyślij zapytanie
Pierścień pokryty TaC do reaktora epitaksjalnego SiC

Pierścień pokryty TaC do reaktora epitaksjalnego SiC

VeTek Semiconductor to wielkoskalowy pierścień pokryty TaC dla producenta i innowatora reaktorów epitaksjalnych SiC w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w powlekaniu TaC. Nasze produkty charakteryzują się wysoką czystością, wysoką stabilnością, doskonałą odpornością na korozję i wysoką siłą wiązania. Patrzymy z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Czytaj więcejWyślij zapytanie
Część półksiężyca pokryta węglikiem tantalu do LPE

Część półksiężyca pokryta węglikiem tantalu do LPE

VeTek Semiconductor to wielkoformatowa część półksiężyca pokryta węglikiem tantalu dla producenta LPE i innowatora w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w powlekaniu TaC. Nasze produkty wytrzymują temperatury powyżej 2000 stopni Celsjusza, przedłużając żywotność materiałów eksploatacyjnych. Z niecierpliwością czekamy aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Czytaj więcejWyślij zapytanie
Planetarny dysk obrotowy pokryty węglikiem tantalu

Planetarny dysk obrotowy pokryty węglikiem tantalu

VeTek Semiconductor to wiodący producent i innowator w Chinach, produkujący planetarne dyski obrotowe powlekane węglikiem tantalu. Od wielu lat specjalizujemy się w powlekaniu ceramicznym. Nasze produkty charakteryzują się wysoką czystością i odpornością na wysoką temperaturę. Z niecierpliwością czekamy na współpracę z Twoim długoterminowym partnerem w dziedzinie Chiny.

Czytaj więcejWyślij zapytanie
<...34567>
Jako profesjonalny producent i dostawca w Chinach posiadamy własną fabrykę. Niezależnie od tego, czy potrzebujesz usług dostosowanych do specyficznych potrzeb Twojego regionu, czy też chcesz kupić zaawansowane i trwałe Proces epitaksji SiC wyprodukowane w Chinach, możesz zostawić nam wiadomość.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept