Unikalne powłoki węglikowe firmy VeTek Semiconductor zapewniają doskonałą ochronę części grafitowych w procesie epitaksji SiC w przetwarzaniu wymagających półprzewodników i kompozytowych materiałów półprzewodnikowych. Rezultatem jest wydłużona żywotność komponentów grafitowych, zachowanie stechiometrii reakcji, hamowanie migracji zanieczyszczeń do zastosowań epitaksyjnych i wzrostu kryształów, co skutkuje zwiększoną wydajnością i jakością.
Nasze powłoki z węglika tantalu (TaC) chronią krytyczne elementy pieca i reaktora w wysokich temperaturach (do 2200°C) przed gorącym amoniakiem, wodorem, oparami krzemu i stopionymi metalami. VeTek Semiconductor oferuje szeroką gamę możliwości przetwarzania i pomiarów grafitu, aby spełnić Twoje indywidualne wymagania, dzięki czemu możemy zaoferować płatną powłokę lub pełną obsługę, z naszym zespołem doświadczonych inżynierów gotowych zaprojektować odpowiednie rozwiązanie dla Ciebie i Twojego konkretnego zastosowania .
Złożone kryształy półprzewodników
VeTek Semiconductor może dostarczyć specjalne powłoki TaC dla różnych komponentów i nośników. Dzięki wiodącemu w branży procesowi powlekania firmy VeTek Semiconductor powłoka TaC może uzyskać wysoką czystość, stabilność w wysokiej temperaturze i wysoką odporność chemiczną, poprawiając w ten sposób jakość produktu krystalicznych warstw TaC/GaN) i EPl oraz wydłużając żywotność krytycznych elementów reaktora.
Izolatory termiczne
Składniki do wzrostu kryształów SiC, GaN i AlN, w tym tygle, pojemniki na nasiona, deflektory i filtry. Zespoły przemysłowe, w tym rezystancyjne elementy grzejne, dysze, pierścienie ekranujące i uchwyty do lutowania, komponenty epitaksjalnego reaktora CVD GaN i SiC, w tym nośniki płytek, tace satelitarne, głowice prysznicowe, kołpaki i cokoły, komponenty MOCVD.
Nośnik płytki LED (dioda elektroluminescencyjna).
Odbiornik ALD (półprzewodnikowy).
Receptor EPI (proces epitaksji SiC)
Susceptor satelitarny pokryty TaC Susceptor i pierścień z powłoką TaC Części z powłoką TaC Części Halfmoon z powłoką TaC
SiC | TaC | |
Główne cechy | Ultra wysoka czystość, doskonała odporność na plazmę | Doskonała stabilność w wysokiej temperaturze (zgodność procesu w wysokiej temperaturze) |
Czystość | >99,9999% | >99,9999% |
Gęstość (g/cm3) | 3.21 | 15 |
Twardość (kg/mm2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Rezystywność [Ωcm] | 0,1-15 000 | <1 |
Przewodność cieplna (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Współczynnik rozszerzalności cieplnej (10-6 / ℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Aplikacja | Sprzęt półprzewodnikowy Przyrząd ceramiczny (pierścień ostrości, głowica prysznicowa, atrapa płytki) | Wzrost monokryształów SiC, Epi, UV LED Części sprzętu |
VeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i innowatorem grzejników powłokowych TaC w Chinach. Produkt ten ma wyjątkowo wysoką temperaturę topnienia (około 3880°C). Wysoka temperatura topnienia podgrzewacza powłoki TaC umożliwia jego pracę w ekstremalnie wysokich temperaturach, szczególnie podczas wzrostu warstw epitaksjalnych azotku galu (GaN) w procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej metali organicznych (MOCVD). VeTek Semiconductor angażuje się w dostarczanie zaawansowanych technologii i rozwiązań produktowych dla przemysłu półprzewodników. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieJako profesjonalny producent i dostawca uchwytów powlekanych TaC w Chinach, uchwyt do powlekania TaC firmy VeTek Semiconductor został specjalnie zaprojektowany do pieców półprzewodnikowych. Dzięki odporności na wysoką temperaturę, obojętności chemicznej i doskonałej wydajności innowacyjna technologia firmy Vetek Semiconductor zapewnia niezawodne rozwiązanie dla przemysłu produkującego półprzewodniki, zapewniające wysokie standardy produkcji. Wierzymy, że nasze produkty mogą zapewnić zaawansowaną technologię i wysokiej jakości rozwiązania produktowe.
Czytaj więcejWyślij zapytanieJako profesjonalny producent i dostawca rurek z powłoką TaC w Chinach, rura z powłoką TaC firmy VeTek Semiconductor jest kluczowym elementem pomyślnego wzrostu monokryształów węglika krzemu. Dzięki odporności na wysoką temperaturę, obojętności chemicznej i doskonałej wydajności zapewnia produkcję wysokiej jakości kryształów o stałych wynikach. Zaufaj naszym innowacyjnym rozwiązaniom, aby ulepszyć proces wzrostu kryształów SiC metodą PVT i osiągnąć doskonałe wyniki. Zapraszamy do zapytania nas.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor jest wiodącym producentem, innowatorem i liderem powłok CVD TAC w Chinach. Od wielu lat koncentrujemy się na różnych produktach z powłoką CVD TAC, takich jak pokrywa z powłoki CVD TaC, pierścień powłoki CVD TaC, nośnik powłoki CVD TaC itp. Firma VeTek Semiconductor wspiera niestandardowe usługi produktowe oraz satysfakcjonujące ceny produktów i z niecierpliwością oczekuje na dalsze konsultacja.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor jest profesjonalnym producentem płytek z powłoką TaC i innych części zamiennych z powłoką TaC w Chinach. Powłoka TaC jest obecnie stosowana głównie w procesach takich jak wzrost monokryształów węglika krzemu (metoda PVT), dysk epitaksjalny (w tym epitaksja z węglika krzemu, epitaksja LED) itp. W połączeniu z dobrą długoterminową stabilnością płytki TaC Coating Plate, VeTek Semiconductor TaC Płyta powłokowa stała się punktem odniesienia dla części zamiennych TaC Coating. Cieszymy się, że zostaniesz naszym długoterminowym partnerem.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor jest profesjonalnym producentem GaN na susceptorze epi SiC, powłoce CVD SiC i susceptorze grafitowym CVD TAC COATING w Chinach. Wśród nich GaN na susceptorze epi SiC odgrywa istotną rolę w przetwarzaniu półprzewodników. Dzięki doskonałej przewodności cieplnej, zdolności przetwarzania w wysokiej temperaturze i stabilności chemicznej zapewnia wysoką wydajność i jakość materiału w procesie wzrostu epitaksjalnego GaN. Z niecierpliwością czekamy na dalsze konsultacje.
Czytaj więcejWyślij zapytanie