Dom > Produkty > Powłoka z węglika tantalu > Proces epitaksji SiC

Chiny Proces epitaksji SiC Producent, dostawca, fabryka

Unikalne powłoki węglikowe firmy VeTek Semiconductor zapewniają doskonałą ochronę części grafitowych w procesie epitaksji SiC w przetwarzaniu wymagających półprzewodników i kompozytowych materiałów półprzewodnikowych. Rezultatem jest wydłużona żywotność komponentów grafitowych, zachowanie stechiometrii reakcji, hamowanie migracji zanieczyszczeń do zastosowań epitaksyjnych i wzrostu kryształów, co skutkuje zwiększoną wydajnością i jakością.

Nasze powłoki z węglika tantalu (TaC) chronią krytyczne elementy pieca i reaktora w wysokich temperaturach (do 2200°C) przed gorącym amoniakiem, wodorem, oparami krzemu i stopionymi metalami. VeTek Semiconductor oferuje szeroką gamę możliwości przetwarzania i pomiarów grafitu, aby spełnić Twoje indywidualne wymagania, dzięki czemu możemy zaoferować płatną powłokę lub pełną obsługę, z naszym zespołem doświadczonych inżynierów gotowych zaprojektować odpowiednie rozwiązanie dla Ciebie i Twojego konkretnego zastosowania .

Złożone kryształy półprzewodników

VeTek Semiconductor może dostarczyć specjalne powłoki TaC dla różnych komponentów i nośników. Dzięki wiodącemu w branży procesowi powlekania firmy VeTek Semiconductor powłoka TaC może uzyskać wysoką czystość, stabilność w wysokiej temperaturze i wysoką odporność chemiczną, poprawiając w ten sposób jakość produktu krystalicznych warstw TaC/GaN) i EPl oraz wydłużając żywotność krytycznych elementów reaktora.

Izolatory termiczne

Składniki do wzrostu kryształów SiC, GaN i AlN, w tym tygle, pojemniki na nasiona, deflektory i filtry. Zespoły przemysłowe, w tym rezystancyjne elementy grzejne, dysze, pierścienie ekranujące i uchwyty do lutowania, komponenty epitaksjalnego reaktora CVD GaN i SiC, w tym nośniki płytek, tace satelitarne, głowice prysznicowe, kołpaki i cokoły, komponenty MOCVD.


Zamiar:

Nośnik płytki LED (dioda elektroluminescencyjna).

Odbiornik ALD (półprzewodnikowy).

Receptor EPI (proces epitaksji SiC)


Porównanie powłoki SiC i powłoki TaC:

SiC TaC
Główne cechy Ultra wysoka czystość, doskonała odporność na plazmę Doskonała stabilność w wysokiej temperaturze (zgodność procesu w wysokiej temperaturze)
Czystość >99,9999% >99,9999%
Gęstość (g/cm3) 3.21 15
Twardość (kg/mm2) 2900-3300 6,7-7,2
Rezystywność [Ωcm] 0,1-15 000 <1
Przewodność cieplna (W/m-K) 200-360 22
Współczynnik rozszerzalności cieplnej (10-6 / ℃) 4,5-5 6.3
Aplikacja Sprzęt półprzewodnikowy Przyrząd ceramiczny (pierścień ostrości, głowica prysznicowa, atrapa płytki) Wzrost monokryształów SiC, Epi, UV LED Części sprzętu


View as  
 
Powłoka CVD TaC

Powłoka CVD TaC

Powłoka CVD TaC dostarczona przez VeTek Semiconductor to wysoce wyspecjalizowany komponent zaprojektowany specjalnie do wymagających zastosowań. Dzięki zaawansowanym funkcjom i wyjątkowej wydajności nasza powłoka CVD TaC oferuje kilka kluczowych zalet. Nasza powłoka CVD TaC zapewnia niezbędną ochronę i wydajność wymaganą do osiągnięcia sukcesu. Z niecierpliwością czekamy na zbadanie potencjalnej współpracy z Tobą!

Czytaj więcejWyślij zapytanie
Susceptor planetarny z powłoką TaC

Susceptor planetarny z powłoką TaC

Susceptor planetarny VeTek Semiconductor'TaC to wyjątkowy produkt do sprzętu do epitaksji Aixtron. Wytrzymała powłoka TaC zapewnia doskonałą odporność na wysokie temperatury i obojętność chemiczną. To unikalne połączenie zapewnia niezawodne działanie i długą żywotność, nawet w wymagających warunkach. VeTek angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości i pełnienie roli długoterminowego partnera na rynku chińskim oferującego konkurencyjne ceny.

Czytaj więcejWyślij zapytanie
Płyta wsporcza cokołu z powłoką TaC

Płyta wsporcza cokołu z powłoką TaC

Płyta wsporcza z powłoką TaC firmy VeTek Semiconductor to wysoce precyzyjny produkt zaprojektowany w celu spełnienia specyficznych wymagań procesów epitaksji półprzewodników. Dzięki powłoce TaC, odporności na wysoką temperaturę i obojętności chemicznej nasz produkt umożliwia produkcję wysokiej jakości warstw EPI. Zależy nam na dostarczaniu produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach i cieszymy się, że będziemy Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Czytaj więcejWyślij zapytanie
Uchwyt z powłoką TaC

Uchwyt z powłoką TaC

Uchwyt do powlekania TaC firmy VeTek Semiconductor jest wyposażony w wysokiej jakości powłokę TaC, znaną ze swojej wyjątkowej odporności na wysokie temperatury i obojętności chemicznej, szczególnie w procesach epitaksji (EPI) z węglika krzemu (SiC). Dzięki wyjątkowym funkcjom i doskonałej wydajności nasz uchwyt do powlekania TaC oferuje kilka kluczowych zalet. Zależy nam na dostarczaniu produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach i nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Czytaj więcejWyślij zapytanie
Półksiężyc LPE SiC EPI

Półksiężyc LPE SiC EPI

LPE SiC Epi Halfmoon firmy VeTek Semiconductor, rewolucyjny produkt zaprojektowany w celu usprawnienia procesów epitaksji SiC w reaktorze LPE. To najnowocześniejsze rozwiązanie oferuje kilka kluczowych funkcji, które zapewniają doskonałą wydajność i efektywność w całej operacji produkcyjnej. Nie możemy się doczekać nawiązania z Tobą długoterminowej współpracy.

Czytaj więcejWyślij zapytanie
Halfmoon pokryty węglikiem tantalu TaC

Halfmoon pokryty węglikiem tantalu TaC

VeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i dostawcą w Chinach półmoon powlekany węglikiem tantalu TaC, specjalizujemy się w badaniach i rozwoju oraz produkcji, możemy dobrze kontrolować jakość i oferować konkurencyjną cenę. Zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki w celu dalszej dyskusji na temat długoterminowej współpracy.

Czytaj więcejWyślij zapytanie
<...34567>
Jako profesjonalny producent i dostawca w Chinach posiadamy własną fabrykę. Niezależnie od tego, czy potrzebujesz usług dostosowanych do specyficznych potrzeb Twojego regionu, czy też chcesz kupić zaawansowane i trwałe Proces epitaksji SiC wyprodukowane w Chinach, możesz zostawić nam wiadomość.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept