Unikalne powłoki węglikowe firmy VeTek Semiconductor zapewniają doskonałą ochronę części grafitowych w procesie epitaksji SiC w przetwarzaniu wymagających półprzewodników i kompozytowych materiałów półprzewodnikowych. Rezultatem jest wydłużona żywotność komponentów grafitowych, zachowanie stechiometrii reakcji, hamowanie migracji zanieczyszczeń do zastosowań epitaksyjnych i wzrostu kryształów, co skutkuje zwiększoną wydajnością i jakością.
Nasze powłoki z węglika tantalu (TaC) chronią krytyczne elementy pieca i reaktora w wysokich temperaturach (do 2200°C) przed gorącym amoniakiem, wodorem, oparami krzemu i stopionymi metalami. VeTek Semiconductor oferuje szeroką gamę możliwości przetwarzania i pomiarów grafitu, aby spełnić Twoje indywidualne wymagania, dzięki czemu możemy zaoferować płatną powłokę lub pełną obsługę, z naszym zespołem doświadczonych inżynierów gotowych zaprojektować odpowiednie rozwiązanie dla Ciebie i Twojego konkretnego zastosowania .
Złożone kryształy półprzewodników
VeTek Semiconductor może dostarczyć specjalne powłoki TaC dla różnych komponentów i nośników. Dzięki wiodącemu w branży procesowi powlekania firmy VeTek Semiconductor powłoka TaC może uzyskać wysoką czystość, stabilność w wysokiej temperaturze i wysoką odporność chemiczną, poprawiając w ten sposób jakość produktu krystalicznych warstw TaC/GaN) i EPl oraz wydłużając żywotność krytycznych elementów reaktora.
Izolatory termiczne
Składniki do wzrostu kryształów SiC, GaN i AlN, w tym tygle, pojemniki na nasiona, deflektory i filtry. Zespoły przemysłowe, w tym rezystancyjne elementy grzejne, dysze, pierścienie ekranujące i uchwyty do lutowania, komponenty epitaksjalnego reaktora CVD GaN i SiC, w tym nośniki płytek, tace satelitarne, głowice prysznicowe, kołpaki i cokoły, komponenty MOCVD.
Nośnik płytki LED (dioda elektroluminescencyjna).
Odbiornik ALD (półprzewodnikowy).
Receptor EPI (proces epitaksji SiC)
Susceptor satelitarny pokryty TaC Susceptor i pierścień z powłoką TaC Części z powłoką TaC Części Halfmoon z powłoką TaC
SiC | TaC | |
Główne cechy | Ultra wysoka czystość, doskonała odporność na plazmę | Doskonała stabilność w wysokiej temperaturze (zgodność procesu w wysokiej temperaturze) |
Czystość | >99,9999% | >99,9999% |
Gęstość (g/cm3) | 3.21 | 15 |
Twardość (kg/mm2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Rezystywność [Ωcm] | 0,1-15 000 | <1 |
Przewodność cieplna (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Współczynnik rozszerzalności cieplnej (10-6 / ℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Aplikacja | Sprzęt półprzewodnikowy Przyrząd ceramiczny (pierścień ostrości, głowica prysznicowa, atrapa płytki) | Wzrost monokryształów SiC, Epi, UV LED Części sprzętu |
Powłoka CVD TaC dostarczona przez VeTek Semiconductor to wysoce wyspecjalizowany komponent zaprojektowany specjalnie do wymagających zastosowań. Dzięki zaawansowanym funkcjom i wyjątkowej wydajności nasza powłoka CVD TaC oferuje kilka kluczowych zalet. Nasza powłoka CVD TaC zapewnia niezbędną ochronę i wydajność wymaganą do osiągnięcia sukcesu. Z niecierpliwością czekamy na zbadanie potencjalnej współpracy z Tobą!
Czytaj więcejWyślij zapytanieSusceptor planetarny VeTek Semiconductor'TaC to wyjątkowy produkt do sprzętu do epitaksji Aixtron. Wytrzymała powłoka TaC zapewnia doskonałą odporność na wysokie temperatury i obojętność chemiczną. To unikalne połączenie zapewnia niezawodne działanie i długą żywotność, nawet w wymagających warunkach. VeTek angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości i pełnienie roli długoterminowego partnera na rynku chińskim oferującego konkurencyjne ceny.
Czytaj więcejWyślij zapytaniePłyta wsporcza z powłoką TaC firmy VeTek Semiconductor to wysoce precyzyjny produkt zaprojektowany w celu spełnienia specyficznych wymagań procesów epitaksji półprzewodników. Dzięki powłoce TaC, odporności na wysoką temperaturę i obojętności chemicznej nasz produkt umożliwia produkcję wysokiej jakości warstw EPI. Zależy nam na dostarczaniu produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach i cieszymy się, że będziemy Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieUchwyt do powlekania TaC firmy VeTek Semiconductor jest wyposażony w wysokiej jakości powłokę TaC, znaną ze swojej wyjątkowej odporności na wysokie temperatury i obojętności chemicznej, szczególnie w procesach epitaksji (EPI) z węglika krzemu (SiC). Dzięki wyjątkowym funkcjom i doskonałej wydajności nasz uchwyt do powlekania TaC oferuje kilka kluczowych zalet. Zależy nam na dostarczaniu produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach i nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieLPE SiC Epi Halfmoon firmy VeTek Semiconductor, rewolucyjny produkt zaprojektowany w celu usprawnienia procesów epitaksji SiC w reaktorze LPE. To najnowocześniejsze rozwiązanie oferuje kilka kluczowych funkcji, które zapewniają doskonałą wydajność i efektywność w całej operacji produkcyjnej. Nie możemy się doczekać nawiązania z Tobą długoterminowej współpracy.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i dostawcą w Chinach półmoon powlekany węglikiem tantalu TaC, specjalizujemy się w badaniach i rozwoju oraz produkcji, możemy dobrze kontrolować jakość i oferować konkurencyjną cenę. Zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki w celu dalszej dyskusji na temat długoterminowej współpracy.
Czytaj więcejWyślij zapytanie