Firma VeTek Semiconductor specjalizuje się w produkcji ultraczystych powłok z węglika krzemu. Powłoki te są przeznaczone do nakładania na oczyszczony grafit, ceramikę i elementy z metali ogniotrwałych.
Nasze powłoki o wysokiej czystości są przeznaczone przede wszystkim do stosowania w przemyśle półprzewodników i elektroniki. Służą jako warstwa ochronna dla nośników płytek, susceptorów i elementów grzejnych, chroniąc je przed korozyjnymi i reaktywnymi środowiskami spotykanymi w procesach takich jak MOCVD i EPI. Procesy te są integralną częścią przetwarzania płytek i produkcji urządzeń. Dodatkowo nasze powłoki doskonale nadają się do zastosowań w piecach próżniowych i podgrzewaniu próbek, gdzie występują środowiska o wysokiej próżni, reaktywne i tlenowe.
W VeTek Semiconductor oferujemy kompleksowe rozwiązanie z naszymi zaawansowanymi możliwościami warsztatu mechanicznego. Dzięki temu jesteśmy w stanie wyprodukować podstawowe komponenty z grafitu, ceramiki lub metali ogniotrwałych i samodzielnie nałożyć powłoki ceramiczne SiC lub TaC. Świadczymy również usługi powlekania części dostarczonych przez klienta, zapewniając elastyczność w celu zaspokojenia różnorodnych potrzeb.
Nasze produkty z powłoką z węglika krzemu są szeroko stosowane w epitaksji Si, epitaksji SiC, systemie MOCVD, procesie RTP/RTA, procesie trawienia, procesie trawienia ICP/PSS, procesie różnych typów diod LED, w tym niebieskich i zielonych diod LED, UV LED i głębokiego UV LED itp., który jest dostosowany do sprzętu firm LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI i tak dalej.
Podstawowe właściwości fizyczne powłok CVD SiC | |
Nieruchomość | Typowa wartość |
Struktura kryształu | Polikrystaliczna faza β FCC, głównie zorientowana na (111). |
Gęstość | 3,21 g/cm3 |
Twardość | Twardość 2500 Vickersa (obciążenie 500 g) |
ROZMIAR ZIARNA | 2 ~ 10 µm |
Czystość chemiczna | 99,99995% |
Pojemność cieplna | 640 J·kg-1·K-1 |
Temperatura sublimacji | 2700 ℃ |
Wytrzymałość na zginanie | 415 MPa RT 4-punktowy |
Moduł Younga | Zagięcie 430 Gpa, 4-punktowe, 1300 ℃ |
Przewodność cieplna | 300W·m-1·K-1 |
Rozszerzalność cieplna (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor to wiodący producent i innowator z powłoką SiC dla producenta i innowatora LPE PE2061S w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w materiałach powłokowych SiC. Oferujemy podstawę z powłoką SiC dla LPE PE2061S zaprojektowaną specjalnie dla krzemowego reaktora epitaksji LPE. Ten wspornik pokryty SiC dla LPE PE2061S to dolna część wspornika beczki. Wytrzymuje wysoką temperaturę 1600 stopni Celsjusza, przedłużając żywotność grafitowej części zamiennej. Zapraszamy do przesłania nam zapytania.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor to wiodąca płyta górna pokryta SiC dla producenta i innowatora LPE PE2061S w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w materiałach powłokowych SiC. Oferujemy płytę górną pokrytą SiC dla LPE PE2061S zaprojektowaną specjalnie dla reaktora epitaksji krzemowej LPE. Ta płyta górna pokryta SiC dla LPE PE2061S jest górna razem z susceptorem beczkowym. Ta płyta pokryta CVD SiC charakteryzuje się wysoką czystością, doskonałą stabilnością termiczną i jednorodnością, dzięki czemu nadaje się do uprawy wysokiej jakości warstw epitaksjalnych. Zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor to wiodący susceptor beczkowy pokryty SiC dla producenta i innowatora LPE PE2061S w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w materiałach powłokowych SiC. Oferujemy susceptor baryłkowy pokryty SiC zaprojektowany specjalnie dla 4-calowych płytek LPE PE2061S. Susceptor ten jest pokryty trwałą powłoką z węglika krzemu, która zwiększa wydajność i trwałość podczas procesu LPE (epitaksja w fazie ciekłej). Zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i innowatorem głowicy prysznicowej z litego SiC w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w materiałach półprzewodnikowych. Wieloporowata konstrukcja głowicy prysznicowej VeTek Semiconductor z litego SiC zapewnia rozpraszanie ciepła generowanego w procesie CVD , zapewniając równomierne nagrzanie podłoża. Z niecierpliwością czekamy na nawiązanie długoterminowej współpracy z Państwem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i innowatorem pierścieni krawędziowych z litego SiC w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w materiałach półprzewodnikowych. Pierścień krawędziowy z litego SiC firmy VeTek Semiconductor zapewnia lepszą równomierność trawienia i precyzyjne pozycjonowanie płytek w przypadku stosowania z uchwytem elektrostatycznym , zapewniając spójne i niezawodne wyniki trawienia. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor to wiodący producent i innowator w Chinach, produkujący i trawiący pierścień ogniskujący z litego SiC. Od wielu lat specjalizujemy się w materiałach SiC. Solid SiC jest wybierany jako materiał na pierścień ogniskujący ze względu na jego doskonałą stabilność termochemiczną, wysoką wytrzymałość mechaniczną i odporność na plazmę erozja. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanie