Firma VeTek Semiconductor specjalizuje się w produkcji ultraczystych powłok z węglika krzemu. Powłoki te są przeznaczone do nakładania na oczyszczony grafit, ceramikę i elementy z metali ogniotrwałych.
Nasze powłoki o wysokiej czystości są przeznaczone przede wszystkim do stosowania w przemyśle półprzewodników i elektroniki. Służą jako warstwa ochronna dla nośników płytek, susceptorów i elementów grzejnych, chroniąc je przed korozyjnymi i reaktywnymi środowiskami spotykanymi w procesach takich jak MOCVD i EPI. Procesy te są integralną częścią przetwarzania płytek i produkcji urządzeń. Dodatkowo nasze powłoki doskonale nadają się do zastosowań w piecach próżniowych i podgrzewaniu próbek, gdzie występują środowiska o wysokiej próżni, reaktywne i tlenowe.
W VeTek Semiconductor oferujemy kompleksowe rozwiązanie z naszymi zaawansowanymi możliwościami warsztatu mechanicznego. Dzięki temu jesteśmy w stanie wyprodukować podstawowe komponenty z grafitu, ceramiki lub metali ogniotrwałych i samodzielnie nałożyć powłoki ceramiczne SiC lub TaC. Świadczymy również usługi powlekania części dostarczonych przez klienta, zapewniając elastyczność w celu zaspokojenia różnorodnych potrzeb.
Nasze produkty z powłoką z węglika krzemu są szeroko stosowane w epitaksji Si, epitaksji SiC, systemie MOCVD, procesie RTP/RTA, procesie trawienia, procesie trawienia ICP/PSS, procesie różnych typów diod LED, w tym niebieskich i zielonych diod LED, UV LED i głębokiego UV LED itp., który jest dostosowany do sprzętu firm LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI i tak dalej.
Podstawowe właściwości fizyczne powłok CVD SiC | |
Nieruchomość | Typowa wartość |
Struktura kryształu | Polikrystaliczna faza β FCC, głównie zorientowana na (111). |
Gęstość | 3,21 g/cm3 |
Twardość | Twardość 2500 Vickersa (obciążenie 500 g) |
ROZMIAR ZIARNA | 2 ~ 10 µm |
Czystość chemiczna | 99,99995% |
Pojemność cieplna | 640 J·kg-1·K-1 |
Temperatura sublimacji | 2700 ℃ |
Wytrzymałość na zginanie | 415 MPa RT 4-punktowy |
Moduł Younga | Zagięcie 430 Gpa, 4-punktowe, 1300 ℃ |
Przewodność cieplna | 300W·m-1·K-1 |
Rozszerzalność cieplna (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Nośnik trawienia ICP pokryty SiC firmy VeTek Semiconductor został zaprojektowany z myślą o najbardziej wymagających zastosowaniach w sprzęcie do epitaksji. Wykonany z wysokiej jakości ultraczystego materiału grafitowego, nasz nośnik trawiący ICP pokryty SiC ma bardzo płaską powierzchnię i doskonałą odporność na korozję, aby wytrzymać trudne warunki podczas manipulacji. Wysoka przewodność cieplna nośnika pokrytego SiC zapewnia równomierny rozkład ciepła i doskonałe wyniki trawienia. VeTek Semiconductor nie może się doczekać nawiązania z Tobą długoterminowej współpracy.
Czytaj więcejWyślij zapytaniePłyta nośna trawiąca PSS firmy VeTek Semiconductor do półprzewodników to wysokiej jakości ultraczysty nośnik grafitowy przeznaczony do procesów przenoszenia płytek. Nasze nośniki charakteryzują się doskonałą wydajnością i mogą dobrze działać w trudnych warunkach, wysokich temperaturach i trudnych warunkach czyszczenia chemicznego. Nasze produkty są szeroko stosowane na wielu rynkach europejskich i amerykańskich i nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i innowatorem w Chinach susceptora do szybkiego wyżarzania termicznego. Od wielu lat specjalizujemy się w materiałach powłokowych SiC. Oferujemy susceptory do szybkiego wyżarzania termicznego o wysokiej jakości, odporności na wysoką temperaturę i super cienkie. Zapraszamy do odwiedzenia naszego fabryka w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor to profesjonalny producent i dostawca, którego celem jest dostarczanie wysokiej jakości susceptora epitaksjalnego GaN na bazie krzemu. Półprzewodnik susceptorowy jest stosowany w systemie VEECO K465i GaN MOCVD, wysoka czystość, odporność na wysoką temperaturę, odporność na korozję, zapraszamy do zadawania pytań i współpracy z nami!
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor to wiodąca 8-calowa część półksiężyca dla producenta i innowatora reaktora LPE w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w materiałach powłokowych SiC. Oferujemy 8-calową część półksiężyca do reaktora LPE zaprojektowaną specjalnie dla reaktora epitaksji LPE SiC. Ta część półksiężycowa to wszechstronne i wydajne rozwiązanie do produkcji półprzewodników, charakteryzujące się optymalnym rozmiarem, kompatybilnością i wysoką produktywnością. Zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor to wiodący susceptor naleśnikowy pokryty SiC dla producenta i innowatora 6-calowych wafli LPE PE3061S w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w materiałach powlekanych SiC. Oferujemy susceptor naleśnikowy pokryty SiC zaprojektowany specjalnie dla 6-calowych wafli LPE PE3061S . Ten susceptor epitaksjalny charakteryzuje się wysoką odpornością na korozję, dobrym przewodzeniem ciepła i dobrą jednorodnością. Zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanie