Firma VeTek Semiconductor specjalizuje się w produkcji ultraczystych powłok z węglika krzemu. Powłoki te są przeznaczone do nakładania na oczyszczony grafit, ceramikę i elementy z metali ogniotrwałych.
Nasze powłoki o wysokiej czystości są przeznaczone przede wszystkim do stosowania w przemyśle półprzewodników i elektroniki. Służą jako warstwa ochronna dla nośników płytek, susceptorów i elementów grzejnych, chroniąc je przed korozyjnymi i reaktywnymi środowiskami spotykanymi w procesach takich jak MOCVD i EPI. Procesy te są integralną częścią przetwarzania płytek i produkcji urządzeń. Dodatkowo nasze powłoki doskonale nadają się do zastosowań w piecach próżniowych i podgrzewaniu próbek, gdzie występują środowiska o wysokiej próżni, reaktywne i tlenowe.
W VeTek Semiconductor oferujemy kompleksowe rozwiązanie z naszymi zaawansowanymi możliwościami warsztatu mechanicznego. Dzięki temu jesteśmy w stanie wyprodukować podstawowe komponenty z grafitu, ceramiki lub metali ogniotrwałych i samodzielnie nałożyć powłoki ceramiczne SiC lub TaC. Świadczymy również usługi powlekania części dostarczonych przez klienta, zapewniając elastyczność w celu zaspokojenia różnorodnych potrzeb.
Nasze produkty z powłoką z węglika krzemu są szeroko stosowane w epitaksji Si, epitaksji SiC, systemie MOCVD, procesie RTP/RTA, procesie trawienia, procesie trawienia ICP/PSS, procesie różnych typów diod LED, w tym niebieskich i zielonych diod LED, UV LED i głębokiego UV LED itp., który jest dostosowany do sprzętu firm LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI i tak dalej.
Podstawowe właściwości fizyczne powłok CVD SiC | |
Nieruchomość | Typowa wartość |
Struktura kryształu | Polikrystaliczna faza β FCC, głównie zorientowana na (111). |
Gęstość | 3,21 g/cm3 |
Twardość | Twardość 2500 Vickersa (obciążenie 500 g) |
ROZMIAR ZIARNA | 2 ~ 10 µm |
Czystość chemiczna | 99,99995% |
Pojemność cieplna | 640 J·kg-1·K-1 |
Temperatura sublimacji | 2700 ℃ |
Wytrzymałość na zginanie | 415 MPa RT 4-punktowy |
Moduł Younga | Zagięcie 430 Gpa, 4-punktowe, 1300 ℃ |
Przewodność cieplna | 300W·m-1·K-1 |
Rozszerzalność cieplna (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i innowatorem sworzni do podnoszenia płytek EPI w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w powlekaniu SiC powierzchni grafitu. Oferujemy kołek podnoszący wafel EPI do procesu Epi. Dzięki wysokiej jakości i konkurencyjnej cenie zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor oferuje kompleksowy zestaw rozwiązań komponentów do krzemowych komór reakcyjnych epitaksjalnych LPE, zapewniających długą żywotność, stabilną jakość i lepszą wydajność warstwy epitaksjalnej. Nasz produkt, taki jak susceptor beczkowy pokryty SiC, otrzymał opinie klientów na temat jego pozycji. Zapewniamy również wsparcie techniczne dla Si Epi, SiC Epi, MOCVD, epitaksji UV-LED i innych. Zachęcamy do zapytania o informacje dotyczące cen.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor to fabryka, która łączy w sobie precyzyjną obróbkę i możliwości powlekania półprzewodników SiC i TaC. Susceptor Si Epi typu beczkowego zapewnia możliwości kontroli temperatury i atmosfery, zwiększając wydajność produkcji w procesach epitaksjalnego wzrostu półprzewodników. Nie mogę się doczekać nawiązania z Tobą współpracy.
Czytaj więcejWyślij zapytanieJako czołowy krajowy producent powłok z węglika krzemu i węglika tantalu, firma VeTek Semiconductor jest w stanie zapewnić precyzyjną obróbkę i równomierne pokrycie epi susceptora powlekanego SiC, skutecznie kontrolując czystość powłoki i produktu poniżej 5 ppm. Żywotność produktu jest porównywalna z żywotnością SGL. Zapraszamy do zapytania nas.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i innowatorem zestawu susceptorów LPE Si Epi w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w powlekaniu SiC i TaC. Oferujemy zestaw susceptorów LPE Si Epi zaprojektowany specjalnie dla 4-calowych płytek LPE PE2061S. Dopasowany stopień materiału grafitowego i powłoki SiC jest dobry, jednorodność jest doskonała, a żywotność jest długa, co może poprawić wydajność wzrostu warstwy epitaksjalnej podczas procesu LPE (epitaksja w fazie ciekłej). Zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki w Chiny.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i innowatorem susceptorów Aixtron G5 MOCVD w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w materiałach powłokowych SiC. Ten zestaw susceptorów Aixtron G5 MOCVD to wszechstronne i wydajne rozwiązanie do produkcji półprzewodników dzięki optymalnemu rozmiarowi, kompatybilności i wysokiej produktywności. Zapraszamy do zapytania nas.
Czytaj więcejWyślij zapytanie