Dom > Produkty > Powłoka z węglika krzemu

Chiny Powłoka z węglika krzemu Producent, dostawca, fabryka

Firma VeTek Semiconductor specjalizuje się w produkcji ultraczystych powłok z węglika krzemu. Powłoki te są przeznaczone do nakładania na oczyszczony grafit, ceramikę i elementy z metali ogniotrwałych.

Nasze powłoki o wysokiej czystości są przeznaczone przede wszystkim do stosowania w przemyśle półprzewodników i elektroniki. Służą jako warstwa ochronna dla nośników płytek, susceptorów i elementów grzejnych, chroniąc je przed korozyjnymi i reaktywnymi środowiskami spotykanymi w procesach takich jak MOCVD i EPI. Procesy te są integralną częścią przetwarzania płytek i produkcji urządzeń. Dodatkowo nasze powłoki doskonale nadają się do zastosowań w piecach próżniowych i podgrzewaniu próbek, gdzie występują środowiska o wysokiej próżni, reaktywne i tlenowe.

W VeTek Semiconductor oferujemy kompleksowe rozwiązanie z naszymi zaawansowanymi możliwościami warsztatu mechanicznego. Dzięki temu jesteśmy w stanie wyprodukować podstawowe komponenty z grafitu, ceramiki lub metali ogniotrwałych i samodzielnie nałożyć powłoki ceramiczne SiC lub TaC. Świadczymy również usługi powlekania części dostarczonych przez klienta, zapewniając elastyczność w celu zaspokojenia różnorodnych potrzeb.

Nasze produkty z powłoką z węglika krzemu są szeroko stosowane w epitaksji Si, epitaksji SiC, systemie MOCVD, procesie RTP/RTA, procesie trawienia, procesie trawienia ICP/PSS, procesie różnych typów diod LED, w tym niebieskich i zielonych diod LED, UV LED i głębokiego UV LED itp., który jest dostosowany do sprzętu firm LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI i tak dalej.


Części reaktora, które możemy wykonać:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Powłoka z węglika krzemu ma kilka unikalnych zalet:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


Parametr powłoki z węglika krzemu VeTek Semiconductor:

Podstawowe właściwości fizyczne powłok CVD SiC
Nieruchomość Typowa wartość
Struktura kryształu Polikrystaliczna faza β FCC, głównie zorientowana na (111).
Gęstość 3,21 g/cm3
Twardość Twardość 2500 Vickersa (obciążenie 500 g)
ROZMIAR ZIARNA 2 ~ 10 µm
Czystość chemiczna 99,99995%
Pojemność cieplna 640 J·kg-1·K-1
Temperatura sublimacji 2700 ℃
Wytrzymałość na zginanie 415 MPa RT 4-punktowy
Moduł Younga Zagięcie 430 Gpa, 4-punktowe, 1300 ℃
Przewodność cieplna 300W·m-1·K-1
Rozszerzalność cieplna (CTE) 4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
Trzpień do podnoszenia opłatka

Trzpień do podnoszenia opłatka

VeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i innowatorem sworzni do podnoszenia płytek EPI w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w powlekaniu SiC powierzchni grafitu. Oferujemy kołek podnoszący wafel EPI do procesu Epi. Dzięki wysokiej jakości i konkurencyjnej cenie zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki w Chinach.

Czytaj więcejWyślij zapytanie
Susceptor lufy pokryty SiC

Susceptor lufy pokryty SiC

VeTek Semiconductor oferuje kompleksowy zestaw rozwiązań komponentów do krzemowych komór reakcyjnych epitaksjalnych LPE, zapewniających długą żywotność, stabilną jakość i lepszą wydajność warstwy epitaksjalnej. Nasz produkt, taki jak susceptor beczkowy pokryty SiC, otrzymał opinie klientów na temat jego pozycji. Zapewniamy również wsparcie techniczne dla Si Epi, SiC Epi, MOCVD, epitaksji UV-LED i innych. Zachęcamy do zapytania o informacje dotyczące cen.

Czytaj więcejWyślij zapytanie
Jeśli odbiornik EPI

Jeśli odbiornik EPI

VeTek Semiconductor to fabryka, która łączy w sobie precyzyjną obróbkę i możliwości powlekania półprzewodników SiC i TaC. Susceptor Si Epi typu beczkowego zapewnia możliwości kontroli temperatury i atmosfery, zwiększając wydajność produkcji w procesach epitaksjalnego wzrostu półprzewodników. Nie mogę się doczekać nawiązania z Tobą współpracy.

Czytaj więcejWyślij zapytanie
Receptor Epi pokryty SiC

Receptor Epi pokryty SiC

Jako czołowy krajowy producent powłok z węglika krzemu i węglika tantalu, firma VeTek Semiconductor jest w stanie zapewnić precyzyjną obróbkę i równomierne pokrycie epi susceptora powlekanego SiC, skutecznie kontrolując czystość powłoki i produktu poniżej 5 ppm. Żywotność produktu jest porównywalna z żywotnością SGL. Zapraszamy do zapytania nas.

Czytaj więcejWyślij zapytanie
Zestaw receptorów LPE SI EPI

Zestaw receptorów LPE SI EPI

VeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i innowatorem zestawu susceptorów LPE Si Epi w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w powlekaniu SiC i TaC. Oferujemy zestaw susceptorów LPE Si Epi zaprojektowany specjalnie dla 4-calowych płytek LPE PE2061S. Dopasowany stopień materiału grafitowego i powłoki SiC jest dobry, jednorodność jest doskonała, a żywotność jest długa, co może poprawić wydajność wzrostu warstwy epitaksjalnej podczas procesu LPE (epitaksja w fazie ciekłej). Zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki w Chiny.

Czytaj więcejWyślij zapytanie
Susceptory Aixtron G5 MOCVD

Susceptory Aixtron G5 MOCVD

VeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i innowatorem susceptorów Aixtron G5 MOCVD w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w materiałach powłokowych SiC. Ten zestaw susceptorów Aixtron G5 MOCVD to wszechstronne i wydajne rozwiązanie do produkcji półprzewodników dzięki optymalnemu rozmiarowi, kompatybilności i wysokiej produktywności. Zapraszamy do zapytania nas.

Czytaj więcejWyślij zapytanie
Jako profesjonalny producent i dostawca w Chinach posiadamy własną fabrykę. Niezależnie od tego, czy potrzebujesz usług dostosowanych do specyficznych potrzeb Twojego regionu, czy też chcesz kupić zaawansowane i trwałe Powłoka z węglika krzemu wyprodukowane w Chinach, możesz zostawić nam wiadomość.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept