Susceptor lufy pokryty SiC

VeTek Semiconductor oferuje kompleksowy zestaw rozwiązań komponentów do krzemowych komór reakcyjnych epitaksjalnych LPE, zapewniających długą żywotność, stabilną jakość i lepszą wydajność warstwy epitaksjalnej. Nasz produkt, taki jak susceptor beczkowy pokryty SiC, otrzymał opinie klientów na temat jego pozycji. Zapewniamy również wsparcie techniczne dla Si Epi, SiC Epi, MOCVD, epitaksji UV-LED i innych. Zachęcamy do zapytania o informacje dotyczące cen.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

VeTek Semiconductor jest wiodącym producentem, dostawcą i eksporterem powłok SiC i TaC w Chinach. Dążenie do doskonałej jakości produktów, dzięki czemu nasz susceptor beczkowy pokryty SiC został usatysfakcjonowany przez wielu klientów. Ekstremalne wzornictwo, wysokiej jakości surowce, wysoka wydajność i konkurencyjna cena są tym, czego pragnie każdy klient i to również możemy Ci zaoferować. Oczywiście istotny jest także nasz doskonały serwis posprzedażowy. Jeśli interesują Cię nasze usługi susceptorów z powłoką SiC, możesz skonsultować się z nami już teraz, a my odpowiemy Ci na czas!

SiC Coated Barrel Susceptor Application Scenarios

Susceptor beczkowy VeTek Semiconductor SiC jest stosowany głównie w reaktorach LPE Si EPI

Epitaksja krzemowa LPE (epitaksja fazy ciekłej) jest powszechnie stosowaną techniką epitaksjalnego wzrostu półprzewodników służącą do osadzania cienkich warstw krzemu monokrystalicznego na podłożach krzemowych. Jest to metoda wzrostu w fazie ciekłej, oparta na reakcjach chemicznych w roztworze, prowadzących do wzrostu kryształów.

Podstawowa zasada epitaksji krzemowej LPE polega na zanurzeniu podłoża w roztworze zawierającym pożądany materiał, kontrolowaniu temperatury i składu roztworu, co pozwala na wzrost materiału w roztworze w postaci monokrystalicznej warstwy krzemu

na powierzchni podłoża. Dostosowując warunki wzrostu i skład roztworu podczas wzrostu epitaksjalnego, można osiągnąć pożądaną jakość kryształów, grubość i stężenie domieszki.

Epitaksja krzemowa LPE ma kilka cech i zalet. Po pierwsze, można go wykonywać w stosunkowo niskich temperaturach, co ogranicza naprężenia termiczne i dyfuzję zanieczyszczeń w materiale. Po drugie, epitaksja krzemowa LPE zapewnia wysoką jednorodność i doskonałą jakość kryształów, odpowiednią do produkcji wysokowydajnych urządzeń półprzewodnikowych. Dodatkowo technologia LPE umożliwia wzrost złożonych struktur, takich jak struktury wielowarstwowe i heterostruktury.

W epitaksji krzemowej LPE, susceptor beczkowy pokryty SiC jest kluczowym elementem epitaksjalnym. Zwykle stosuje się go do utrzymywania i podtrzymywania podłoży krzemowych wymaganych do wzrostu epitaksjalnego, zapewniając jednocześnie kontrolę temperatury i atmosfery. Powłoka SiC zwiększa trwałość w wysokich temperaturach i stabilność chemiczną susceptora, spełniając wymagania procesu wzrostu epitaksjalnego. Wykorzystując susceptor beczkowy pokryty SiC, można poprawić wydajność i spójność wzrostu epitaksjalnego, zapewniając wzrost wysokiej jakości warstw epitaksjalnych.

Podstawowe właściwości fizyczne powłok CVD SiC

Podstawowe właściwości fizyczne powłok CVD SiC
Nieruchomość	Typowa wartość
Struktura kryształu	Polikrystaliczna faza β FCC, głównie zorientowana na (111).
Gęstość	3,21 g/cm3
Twardość	Twardość 2500 Vickersa (obciążenie 500 g)
ROZMIAR ZIARNA	2 ~ 10 μm
Czystość chemiczna	99,99995%
Pojemność cieplna	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura sublimacji	2700 ℃
Wytrzymałość na zginanie	415 MPa RT 4-punktowy
Moduł Younga	Zakręt 430 Gpa, 4-punktowy, 1300 ℃
Przewodność cieplna	300W·m^-1·K^-1
Rozszerzalność cieplna (CTE)	4,5×10^-6K^-1