Firma VeTek Semiconductor specjalizuje się w produkcji ultraczystych powłok z węglika krzemu. Powłoki te są przeznaczone do nakładania na oczyszczony grafit, ceramikę i elementy z metali ogniotrwałych.
Nasze powłoki o wysokiej czystości są przeznaczone przede wszystkim do stosowania w przemyśle półprzewodników i elektroniki. Służą jako warstwa ochronna dla nośników płytek, susceptorów i elementów grzejnych, chroniąc je przed korozyjnymi i reaktywnymi środowiskami spotykanymi w procesach takich jak MOCVD i EPI. Procesy te są integralną częścią przetwarzania płytek i produkcji urządzeń. Dodatkowo nasze powłoki doskonale nadają się do zastosowań w piecach próżniowych i podgrzewaniu próbek, gdzie występują środowiska o wysokiej próżni, reaktywne i tlenowe.
W VeTek Semiconductor oferujemy kompleksowe rozwiązanie z naszymi zaawansowanymi możliwościami warsztatu mechanicznego. Dzięki temu jesteśmy w stanie wyprodukować podstawowe komponenty z grafitu, ceramiki lub metali ogniotrwałych i samodzielnie nałożyć powłoki ceramiczne SiC lub TaC. Świadczymy również usługi powlekania części dostarczonych przez klienta, zapewniając elastyczność w celu zaspokojenia różnorodnych potrzeb.
Nasze produkty z powłoką z węglika krzemu są szeroko stosowane w epitaksji Si, epitaksji SiC, systemie MOCVD, procesie RTP/RTA, procesie trawienia, procesie trawienia ICP/PSS, procesie różnych typów diod LED, w tym niebieskich i zielonych diod LED, UV LED i głębokiego UV LED itp., który jest dostosowany do sprzętu firm LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI i tak dalej.
Podstawowe właściwości fizyczne powłok CVD SiC | |
Nieruchomość | Typowa wartość |
Struktura kryształu | Polikrystaliczna faza β FCC, głównie zorientowana na (111). |
Gęstość | 3,21 g/cm3 |
Twardość | Twardość 2500 Vickersa (obciążenie 500 g) |
ROZMIAR ZIARNA | 2 ~ 10 µm |
Czystość chemiczna | 99,99995% |
Pojemność cieplna | 640 J·kg-1·K-1 |
Temperatura sublimacji | 2700 ℃ |
Wytrzymałość na zginanie | 415 MPa RT 4-punktowy |
Moduł Younga | Zagięcie 430 Gpa, 4-punktowe, 1300 ℃ |
Przewodność cieplna | 300W·m-1·K-1 |
Rozszerzalność cieplna (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Witamy w VeTek Semiconductor, zaufanym producencie powłok CVD SiC. Jesteśmy dumni, że możemy zaoferować pokrywę kolektora Aixtron SiC Coating Top, która została fachowo zaprojektowana przy użyciu grafitu o wysokiej czystości i posiada najnowocześniejszą powłokę CVD SiC z zanieczyszczeniem poniżej 5 ppm. Nie wahaj się z nami skontaktować w przypadku jakichkolwiek pytań lub zapytań
Czytaj więcejWyślij zapytanieDzięki naszej wiedzy specjalistycznej w zakresie produkcji powłok CVD SiC, firma VeTek Semiconductor z dumą prezentuje dno kolektora powłoki Aixtron SiC. Dno kolektora z powłoką SiC jest zbudowane z grafitu o wysokiej czystości i pokryte powłoką CVD SiC, zapewniając zanieczyszczenie poniżej 5 ppm. Zachęcamy do skontaktowania się z nami w celu uzyskania dalszych informacji i zapytań.
Czytaj więcejWyślij zapytanieW VeTek Semiconductor specjalizujemy się w badaniach, rozwoju i industrializacji powłok CVD SiC i powłok CVD TaC. Przykładowym produktem jest wewnętrzna warstwa powłoki SiC Coating Segments Inner, która poddawana jest intensywnej obróbce w celu uzyskania bardzo precyzyjnej i gęsto pokrytej powierzchni CVD SiC. Powłoka ta wykazuje wyjątkową odporność na wysokie temperatury i zapewnia solidną ochronę przed korozją. Zapraszamy do kontaktu z nami w przypadku jakichkolwiek pytań.
Czytaj więcejWyślij zapytanieFirma Vetek Semiconductor zajmuje się rozwojem i komercjalizacją powłok CVD SiC i CVD TaC. Przykładowo, nasze segmenty pokrywające z powłoką SiC poddawane są skrupulatnej obróbce, w wyniku czego powstaje gęsta powłoka CVD SiC z wyjątkową precyzją. Wykazuje niezwykłą odporność na wysokie temperatury i zapewnia solidną ochronę przed korozją. Czekamy na Twoje zapytania.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVetek Semiconductor koncentruje się na badaniach, rozwoju i industrializacji powłok CVD SiC i powłok CVD TaC. Biorąc za przykład susceptor MOCVD, produkt jest wysoce przetworzony przy użyciu bardzo precyzyjnej, gęstej powłoki CVD SIC, odporności na wysoką temperaturę i dużej odporności na korozję. Zapytanie o nas jest mile widziane.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor jest innowatorem producenta powłok SiC w Chinach. Pierścień podgrzewający dostarczony przez VeTek Semiconductor jest przeznaczony do procesu epitaksji. Jednolita powłoka z węglika krzemu i wysokiej jakości materiał grafitowy jako surowce zapewniają spójne osadzanie oraz poprawiają jakość i jednorodność warstwy epitaksjalnej. Nie możemy się doczekać nawiązania z Państwem długoterminowej współpracy.
Czytaj więcejWyślij zapytanie