VeTek Semiconductor to Twój innowacyjny partner w dziedzinie obróbki półprzewodników. Dzięki naszemu szerokiemu asortymentowi kombinacji materiałów z węglika krzemu klasy półprzewodnikowej, możliwościom produkcji komponentów i usługom inżynierii zastosowań, możemy pomóc Ci pokonać znaczące wyzwania. Inżynierska techniczna ceramika z węglika krzemu jest szeroko stosowana w przemyśle półprzewodników ze względu na ich wyjątkową wydajność materiałową. Ultraczysta ceramika z węglika krzemu firmy VeTek Semiconductor jest często stosowana w całym cyklu produkcji i przetwarzania półprzewodników.
VeTek Semiconductor dostarcza komponenty ceramiczne zaprojektowane specjalnie pod kątem wymagań związanych z dyfuzją wsadową i LPCVD, w tym:
• Przegrody i uchwyty
• Wtryskiwacze
• Wkładki i rury procesowe
• Łopatki wspornikowe z węglika krzemu
• Łódki i cokoły waflowe
Wiosło wspornikowe SiC Rury procesowe SiC Rura procesowa z węglika krzemu Pionowa łódź waflowa SiC Pozioma łódź waflowa SiC Pozioma łódka waflowa SiC Łódź waflowa SiC LPCVD Pozioma łódź z płytami SiC Okrągła łódka waflowa SiC
Zminimalizuj zanieczyszczenie i nieplanowaną konserwację dzięki komponentom o wysokiej czystości zaprojektowanym z myślą o rygorystycznych warunkach trawienia plazmowego, w tym:
Pierścienie ostrości
Dysze
Tarcze
Głowice prysznicowe
Okna / Pokrywy
Inne niestandardowe komponenty
VeTek Semiconductor dostarcza zaawansowane komponenty materiałowe dostosowane do zastosowań w zakresie wysokotemperaturowej obróbki cieplnej w przemyśle półprzewodników. Zastosowania te obejmują procesy RTP, Epi, dyfuzję, utlenianie i wyżarzanie. Nasza ceramika techniczna jest zaprojektowana tak, aby wytrzymać szoki termiczne, zapewniając niezawodną i stałą wydajność. Dzięki komponentom VeTek Semiconductor producenci półprzewodników mogą osiągnąć wydajną i wysokiej jakości obróbkę cieplną, przyczyniając się do ogólnego sukcesu produkcji półprzewodników.
• Dyfuzory
• Izolatory
• Susceptory
• Inne niestandardowe komponenty termiczne
Właściwości fizyczne rekrystalizowanego węglika krzemu | |
Nieruchomość | Typowa wartość |
Temperatura pracy (°C) | 1600°C (z tlenem), 1700°C (środowisko redukujące) |
Zawartość SiC/SiC | > 99,96% |
Zawartość Si / Wolnego Si | < 0,1% |
Gęstość nasypowa | 2,60-2,70 g/cm3 |
Pozorna porowatość | < 16% |
Siła ściskania | > 600 MPa |
Wytrzymałość na zginanie na zimno | 80-90 MPa (20°C) |
Wytrzymałość na zginanie na gorąco | 90-100 MPa (1400°C) |
Rozszerzalność cieplna w @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Przewodność cieplna @1200°C | 23 W/m·K |
Moduł sprężystości | 240 GPa |
Odporność na szok termiczny | Bardzo dobra |
VeTek Semiconductor dostarcza wysokowydajne rury procesowe SiC do produkcji półprzewodników. Nasze rury procesowe SiC wyróżniają się procesami utleniania i dyfuzji. Dzięki najwyższej jakości i kunsztowi wykonania lampy te zapewniają stabilność w wysokiej temperaturze i przewodność cieplną, co pozwala na wydajne przetwarzanie półprzewodników. Oferujemy konkurencyjne ceny i staramy się być Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor's SiC Cantilever Paddle is a very high performance product. Our SiC Cantilever Paddle is usually used in heat treatment furnaces for handling and supporting silicon wafers, chemical vapor deposition (CVD) and other processing processes in semiconductor manufacturing processes. The high temperature stability and high thermal conductivity of SiC material ensure high efficiency and reliability in the semiconductor processing process. We are committed to providing high-quality products at competitive prices and look forward to becoming your long-term partner in China.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor jest profesjonalnym producentem i dostawcą w Chinach łodzi waflowych z węglika krzemu do pieców poziomych, z wieloletnim doświadczeniem w badaniach i rozwoju oraz produkcji, może dobrze kontrolować jakość i oferować konkurencyjną cenę. Możesz mieć pewność, że kupisz od nas łódkę waflową z węglika krzemu do pieca poziomego.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor jest profesjonalnym producentem i dostawcą w Chinach łodzi waflowych z węglika krzemu pokrytych SiC, z wieloletnim doświadczeniem w badaniach i rozwoju oraz produkcji, może dobrze kontrolować jakość i oferować konkurencyjną cenę. Zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki i dalszej dyskusji na temat współpracy.
Czytaj więcejWyślij zapytanieŁopatka wspornikowa z węglika krzemu firmy VeTek Semiconductor jest ważnym elementem w procesie produkcji półprzewodników, szczególnie odpowiednim do pieców dyfuzyjnych lub pieców LPCVD w procesach wysokotemperaturowych, takich jak dyfuzja i RTP. Nasze łopatki wspornikowe z węglika krzemu zostały starannie zaprojektowane i wyprodukowane z doskonałą odpornością na wysoką temperaturę i wytrzymałością mechaniczną, a także mogą bezpiecznie i niezawodnie transportować płytki do rury procesowej w trudnych warunkach procesowych w różnych procesach wysokotemperaturowych, takich jak dyfuzja i RTP. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieNośnik płytek VeTek Semiconductor z węglika krzemu o wysokiej czystości to ważne komponenty w przetwarzaniu półprzewodników, zaprojektowane do bezpiecznego przechowywania i transportu delikatnych płytek krzemowych, odgrywając kluczową rolę na wszystkich etapach produkcji. Nośniki płytek z węglika krzemu o wysokiej czystości firmy VeTek Semiconductor zostały starannie zaprojektowane i wyprodukowane, aby zapewnić doskonałą wydajność i niezawodność. Firma VeTek Semiconductor angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach i nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanie