VeTek Semiconductor jest profesjonalnym producentem i dostawcą w Chinach łodzi waflowych z węglika krzemu do pieców poziomych, z wieloletnim doświadczeniem w badaniach i rozwoju oraz produkcji, może dobrze kontrolować jakość i oferować konkurencyjną cenę. Możesz mieć pewność, że kupisz od nas łódkę waflową z węglika krzemu do pieca poziomego.
Wysokiej jakości łódź waflowa z węglika krzemu do pieca poziomego jest oferowana przez chińskiego producenta VeTek Semiconductor. Kup łódkę waflową z węglika krzemu do pieca poziomego, która jest wysokiej jakości bezpośrednio z fabryki w niskiej cenie. Łódka waflowa z węglika krzemu do pieca poziomego stosowana jest w rurach pieca do załadunku i przenoszenia płytek podczas obróbki wysokotemperaturowej. Ze względu na doskonałe właściwości materiałów z węglika krzemu, takie jak odporność na wysoką temperaturę, odporność na korozję chemiczną i stabilność termiczna, są one szeroko stosowane w różnych procesach obróbki cieplnej, takich jak dyfuzja, utlenianie, CVD i wyżarzanie.
1. Wysoka twardość i odporność na zużycie: Węglik krzemu ma twardość ustępującą jedynie diamentowi, dzięki czemu jest bardzo odporny na zużycie. Dzięki temu łodzie z węglika krzemu są w stanie wytrzymać powtarzające się uderzenia mechaniczne i tarcie, wydłużając ich żywotność.
2. Odporność na wysoką temperaturę: Węglik krzemu ma temperaturę topnienia 2730°C, dzięki czemu łodzie z węglika krzemu nadają się do środowisk o wysokiej temperaturze i różnych procesów produkcji półprzewodników, takich jak utlenianie i dyfuzja w wysokiej temperaturze.
3. Niski współczynnik rozszerzalności cieplnej: Węglik krzemu ma niski współczynnik rozszerzalności cieplnej, co pomaga utrzymać stabilność wymiarową w wysokich temperaturach, zapobiegając deformacji łodzi i wpływając na dokładność obróbki płytek.
4. Dobra stabilność chemiczna: Węglik krzemu jest odporny na większość chemikaliów i nie reaguje ze zwykłymi roztworami kwasów i zasad, zapewniając bezpieczeństwo i czystość płytek.
Możemy produkować różne typy łodzi waflowych z węglika krzemu, takie jak pozioma łódź waflowa, pionowa łódź waflowa i wszelkie inne niestandardowe łodzie.
Właściwości fizyczne rekrystalizowanego węglika krzemu | |
Nieruchomość | Typowa wartość |
Temperatura pracy (°C) | 1600°C (z tlenem), 1700°C (środowisko redukujące) |
Zawartość SiC | > 99,96% |
Darmowa zawartość Si | < 0,1% |
Gęstość nasypowa | 2,60-2,70 g/cm3 |
Pozorna porowatość | < 16% |
Siła ściskania | > 600 MPa |
Wytrzymałość na zginanie na zimno | 80-90 MPa (20°C) |
Wytrzymałość na zginanie na gorąco | 90-100 MPa (1400°C) |
Rozszerzalność cieplna w @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Przewodność cieplna @1200°C | 23 W/m·K |
Moduł sprężystości | 240 GPa |
Odporność na szok termiczny | Bardzo dobra |
Łódka z węglika krzemu do pieców poziomych znajduje szerokie zastosowanie w przemyśle półprzewodników i fotowoltaice:
Czyszczenie i trawienie płytek
Dyfuzja i utlenianie
Galwanizacja i trawienie
Polerowanie chemiczno-mechaniczne (CMP)
Obróbka cieplna
Transfer i przechowywanie wafli