Łopatka wspornikowa z węglika krzemu firmy VeTek Semiconductor jest ważnym elementem w procesie produkcji półprzewodników, szczególnie odpowiednim do pieców dyfuzyjnych lub pieców LPCVD w procesach wysokotemperaturowych, takich jak dyfuzja i RTP. Nasze łopatki wspornikowe z węglika krzemu zostały starannie zaprojektowane i wyprodukowane z doskonałą odpornością na wysoką temperaturę i wytrzymałością mechaniczną, a także mogą bezpiecznie i niezawodnie transportować płytki do rury procesowej w trudnych warunkach procesowych w różnych procesach wysokotemperaturowych, takich jak dyfuzja i RTP. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Możesz mieć pewność, że kupisz dostosowane do indywidualnych potrzeb łopatki wspornikowe z węglika krzemu firmy VeTek Semiconducto. Cieszymy się na współpracę z Tobą, jeśli chcesz dowiedzieć się więcej, możesz skonsultować się z nami już teraz, a my odpowiemy na czas!
Łopatka wspornikowa z węglika krzemu firmy VeTek Semiconductor jest wykonana z węglika krzemu o wysokiej czystości i charakteryzuje się doskonałą odpornością na wysokie temperatury i wytrzymałością mechaniczną. Jest niezbędnym kluczowym elementem w procesie produkcji półprzewodników, zwłaszcza w piecach dyfuzyjnych, LPCVD i procesach RTP. Precyzyjna konstrukcja i produkcja łopatki wspornikowej z węglika krzemu zapewnia bezpieczne pozycjonowanie i przenoszenie płytek w celu spełnienia wymagań procesu o wysokiej precyzji.
Łopatka wspornikowa z węglika krzemu firmy VeTek Semiconductor jest wykonana z węglika krzemu jako głównego materiału. Węglik krzemu charakteryzuje się wysoką wytrzymałością i dobrą stabilnością termiczną, dzięki czemu może wytrzymać trudne warunki w wysokotemperaturowym środowisku procesowym pieców półprzewodnikowych. Jednym z powodów wyboru węglika krzemu jest to, że może on przystosować się do środowiska o wysokiej temperaturze w piecach półprzewodnikowych.
Konstrukcja łopatki wspornikowej z węglika krzemu pozwala na jej wysunięcie do rury procesowej w piecu i mocne zamocowanie na jednym końcu na zewnątrz rury. Taka konstrukcja zapewnia, że przetwarzany wafel pozostaje stabilny i podparty podczas procesu oraz minimalizuje zakłócenia środowiska termicznego w piecu.
Firma VeTek Semiconductor angażuje się w dostarczanie wysokiej jakości łopatek wspornikowych SiC. Nasze produkty są starannie projektowane i produkowane, aby spełniać rygorystyczne wymagania procesu produkcyjnego półprzewodników. Doskonała wydajność i niezawodność łopatki wspornikowej z węglika krzemu sprawiają, że jest ona niezbędnym, kluczowym elementem w przemyśle półprzewodników. Firma VeTek Semiconductor angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach i nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Właściwości fizyczne rekrystalizowanego węglika krzemu | |
Nieruchomość | Typowa wartość |
Temperatura pracy (°C) | 1600°C (z tlenem), 1700°C (środowisko redukujące) |
Zawartość SiC | > 99,96% |
Darmowa zawartość Si | < 0,1% |
Gęstość nasypowa | 2,60-2,70 g/cm3 |
Pozorna porowatość | < 16% |
Siła ściskania | > 600 MPa |
Wytrzymałość na zginanie na zimno | 80-90 MPa (20°C) |
Wytrzymałość na zginanie na gorąco | 90-100 MPa (1400°C) |
Rozszerzalność cieplna w @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Przewodność cieplna @1200°C | 23 W/m·K |
Moduł sprężystości | 240 GPa |
Odporność na szok termiczny | Bardzo dobra |