VeTek Semiconductor jest profesjonalnym producentem i dostawcą w Chinach łodzi waflowych z węglika krzemu pokrytych SiC, z wieloletnim doświadczeniem w badaniach i rozwoju oraz produkcji, może dobrze kontrolować jakość i oferować konkurencyjną cenę. Zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki i dalszej dyskusji na temat współpracy.
VeTek Semiconductor to chiński producent i dostawca, który z wieloletnim doświadczeniem produkuje głównie łodzie waflowe z węglika krzemu powlekanego SiC. Mam nadzieję nawiązać z Tobą relacje biznesowe. Łódź z waflami z węglika krzemu pokrytymi SiC jest stosowana w półprzewodnikowych piecach dyfuzyjnych do przenoszenia płytek w różnych procesach wysokotemperaturowych, takich jak implantacja jonów, dyfuzja i wyżarzanie. Może zapewnić stabilne środowisko dla płytek, zapewniając jednolitość i spójność temperatury podczas przetwarzania.
Łodzie waflowe z węglika krzemu pokrytego SiC mają wyższą odporność cieplną i stabilność chemiczną, dzięki czemu mogą pracować w wyższych temperaturach i zapewniają dłuższą żywotność. Dodatkowo mają niższą szybkość parowania materiału i szybkość adsorpcji gazu, co pomaga zmniejszyć wpływ zanieczyszczeń na przetwarzanie płytek.
Możemy produkować różne typy łodzi waflowych z węglika krzemu, takie jak pozioma łódź waflowa, pionowa łódź waflowa i wszelkie inne niestandardowe łodzie.
1. Stabilność w wysokiej temperaturze
2. Obojętność chemiczna
3. Niska zawartość zanieczyszczeń
4. Przewodność cieplna
Właściwości fizyczne rekrystalizowanego węglika krzemu | |
Nieruchomość | Typowa wartość |
Temperatura pracy (°C) | 1600°C (z tlenem), 1700°C (środowisko redukujące) |
Zawartość SiC | > 99,96% |
Darmowa zawartość Si | < 0,1% |
Gęstość nasypowa | 2,60-2,70 g/cm3 |
Pozorna porowatość | < 16% |
Siła ściskania | > 600 MPa |
Wytrzymałość na zginanie na zimno | 80-90 MPa (20°C) |
Wytrzymałość na zginanie na gorąco | 90-100 MPa (1400°C) |
Rozszerzalność cieplna w @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Przewodność cieplna @1200°C | 23 W/m·K |
Moduł sprężystości | 240 GPa |
Odporność na szok termiczny | Bardzo dobra |