VeTek Semiconductor to Twój innowacyjny partner w dziedzinie obróbki półprzewodników. Dzięki naszemu szerokiemu asortymentowi kombinacji materiałów z węglika krzemu klasy półprzewodnikowej, możliwościom produkcji komponentów i usługom inżynierii zastosowań, możemy pomóc Ci pokonać znaczące wyzwania. Inżynierska techniczna ceramika z węglika krzemu jest szeroko stosowana w przemyśle półprzewodników ze względu na ich wyjątkową wydajność materiałową. Ultraczysta ceramika z węglika krzemu firmy VeTek Semiconductor jest często stosowana w całym cyklu produkcji i przetwarzania półprzewodników.
VeTek Semiconductor dostarcza komponenty ceramiczne zaprojektowane specjalnie pod kątem wymagań związanych z dyfuzją wsadową i LPCVD, w tym:
• Przegrody i uchwyty
• Wtryskiwacze
• Wkładki i rury procesowe
• Łopatki wspornikowe z węglika krzemu
• Łódki i cokoły waflowe
Wiosło wspornikowe SiC Rury procesowe SiC Rura procesowa z węglika krzemu Pionowa łódź waflowa SiC Pozioma łódź waflowa SiC Pozioma łódka waflowa SiC Łódź waflowa SiC LPCVD Pozioma łódź z płytami SiC Okrągła łódka waflowa SiC
Zminimalizuj zanieczyszczenie i nieplanowaną konserwację dzięki komponentom o wysokiej czystości zaprojektowanym z myślą o rygorystycznych warunkach trawienia plazmowego, w tym:
Pierścienie ostrości
Dysze
Tarcze
Głowice prysznicowe
Okna / Pokrywy
Inne niestandardowe komponenty
VeTek Semiconductor dostarcza zaawansowane komponenty materiałowe dostosowane do zastosowań w zakresie wysokotemperaturowej obróbki cieplnej w przemyśle półprzewodników. Zastosowania te obejmują procesy RTP, Epi, dyfuzję, utlenianie i wyżarzanie. Nasza ceramika techniczna jest zaprojektowana tak, aby wytrzymać szoki termiczne, zapewniając niezawodną i stałą wydajność. Dzięki komponentom VeTek Semiconductor producenci półprzewodników mogą osiągnąć wydajną i wysokiej jakości obróbkę cieplną, przyczyniając się do ogólnego sukcesu produkcji półprzewodników.
• Dyfuzory
• Izolatory
• Susceptory
• Inne niestandardowe komponenty termiczne
Właściwości fizyczne rekrystalizowanego węglika krzemu | |
Nieruchomość | Typowa wartość |
Temperatura pracy (°C) | 1600°C (z tlenem), 1700°C (środowisko redukujące) |
Zawartość SiC/SiC | > 99,96% |
Zawartość Si / Wolnego Si | < 0,1% |
Gęstość nasypowa | 2,60-2,70 g/cm3 |
Pozorna porowatość | < 16% |
Siła ściskania | > 600 MPa |
Wytrzymałość na zginanie na zimno | 80-90 MPa (20°C) |
Wytrzymałość na zginanie na gorąco | 90-100 MPa (1400°C) |
Rozszerzalność cieplna w @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Przewodność cieplna @1200°C | 23 W/m·K |
Moduł sprężystości | 240 GPa |
Odporność na szok termiczny | Bardzo dobra |
Łódka z węglika krzemu o wysokiej czystości firmy VeTek Semiconductor jest wykonana z wyjątkowo czystego materiału z węglika krzemu o doskonałej stabilności termicznej, wytrzymałości mechanicznej i odporności chemicznej. Łódź waflowa z węglika krzemu o wysokiej czystości jest stosowana w zastosowaniach w strefach gorących w produkcji półprzewodników, zwłaszcza w środowiskach o wysokiej temperaturze, i odgrywa ważną rolę w ochronie płytek, transporcie materiałów i utrzymywaniu stabilnych procesów. Firma VeTek Semiconductor będzie w dalszym ciągu ciężko pracować nad innowacjami i poprawą wydajności łodzi waflowych z węglika krzemu o wysokiej czystości, aby sprostać zmieniającym się potrzebom produkcji półprzewodników. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w C......
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor to profesjonalny producent i dostawca, którego celem jest dostarczanie wysokiej jakości proszku z ultraczystego węglika krzemu do wzrostu kryształów. Dzięki czystości do 99,999% wag. i wyjątkowo niskiemu poziomowi zanieczyszczeń azotem, borem, aluminium i innymi substancjami zanieczyszczającymi, został specjalnie zaprojektowany w celu poprawy właściwości półizolacyjnych węglika krzemu o wysokiej czystości. Zapraszamy do zadawania pytań i współpracy z nami!
Czytaj więcejWyślij zapytanie