Uchwyt do łodzi waflowych SiC o wysokiej czystości

VeTek Semiconductor oferuje dostosowane do indywidualnych potrzeb nośniki łodzi z płytek SiC o wysokiej czystości. Wykonany z węglika krzemu o wysokiej czystości, posiada szczeliny utrzymujące płytkę na miejscu, zapobiegając jej przesuwaniu się podczas obróbki. W razie potrzeby dostępna jest również powłoka CVD SiC. Jako profesjonalny i silny producent i dostawca półprzewodników, nośnik łodzi waflowych SiC o wysokiej czystości firmy VeTek Semiconductor jest konkurencyjny cenowo i wysokiej jakości. Firma VeTek Semiconductor z niecierpliwością czeka na współpracę z Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

VeTekSemi Nośnik płytek SiC o wysokiej czystości jest ważnym elementem łożyskowym stosowanym w piecach do wyżarzania, piecach dyfuzyjnych i innym sprzęcie w procesie produkcji półprzewodników. Wspornik łodzi waflowej SiC o wysokiej czystości jest zwykle wykonany z materiału węglika krzemu o wysokiej czystości i obejmuje głównie następujące części:

• Korpus podporowy łodzi: konstrukcja przypominająca wspornik, specjalnie używana do przenoszeniawafle krzemowelub inne materiały półprzewodnikowe.

• Struktura wsparcia: Konstrukcja konstrukcji nośnej umożliwia wytrzymywanie dużych obciążeń w wysokich temperaturach i nie powoduje odkształceń ani uszkodzeń podczas obróbki w wysokiej temperaturze.

silicon carbide material

materiał z węglika krzemu

Właściwości fizyczneRekrystalizowany węglik krzemu：

Nieruchomość	Typowa wartość
Temperatura pracy (°C)	1600°C (z tlenem), 1700°C (środowisko redukujące)
Zawartość SiC	> 99,96%
Darmowa zawartość Si	< 0,1%
Gęstość nasypowa	2,60-2,70 g/cm3
Pozorna porowatość	< 16%
Siła ściskania	> 600 MPa
Wytrzymałość na zginanie na zimno	80-90 MPa (20°C)
Wytrzymałość na zginanie na gorąco	90-100 MPa (1400°C)
Rozszerzalność cieplna przy 1500°C	4,70*10^-6/°C
Przewodność cieplna @1200°C	23 W/m·K
Moduł sprężystości	Moduł sprężystości240 GPa
Odporność na szok termiczny	Niezwykle dobre

Jeśli wymagania procesu produkcyjnego są wyższe,Powłoka CVD SiCmożna wykonać na nośniku łodzi z waflami SiC o wysokiej czystości, aby czystość osiągnęła ponad 99,99995%, co dodatkowo poprawia jego odporność na wysoką temperaturę.

Podstawowe właściwości fizyczne powłok CVD SiC:

Nieruchomość	Typowa wartość
Struktura kryształu	Polikrystaliczna faza β FCC, głównie zorientowana na (111).
Gęstość	3,21 g/cm3
Twardość	Twardość 2500 Vickersa (obciążenie 500 g)
ROZMIAR ZIARNA	2 ~ 10 µm
Czystość chemiczna	99,99995%
Pojemność cieplna	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura sublimacji	2700 ℃
Wytrzymałość na zginanie	415 MPa RT 4-punktowy
Moduł Younga	Zagięcie 430 Gpa, 4-punktowe, 1300 ℃
Przewodność cieplna	300W·m^-1·K^-1
Rozszerzalność cieplna (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Podczas obróbki w wysokiej temperaturze nośnik łodzi z płytek krzemowych o wysokiej czystości umożliwia równomierne ogrzewanie płytki krzemowej, aby uniknąć lokalnego przegrzania. Ponadto odporność na wysoką temperaturę materiału z węglika krzemu pozwala mu zachować stabilność strukturalną w temperaturach 1200°C lub nawet wyższych. working principle of High purity SiC wafer boat carrier

Podczas procesu dyfuzji lub wyżarzania łopatka wspornikowa i nośnik łodzi z płytek waflowych SiC o wysokiej czystości współpracują ze sobą. Thewiosło wspornikowepowoli popycha nośnik łodzi z waflami SiC o wysokiej czystości, przenoszący płytkę krzemową do komory pieca i zatrzymuje go w wyznaczonym miejscu do obróbki.

Nośnik łodzi z płytek krzemowych o wysokiej czystości utrzymuje kontakt z płytką krzemową i jest ustalany w określonej pozycji podczas procesu obróbki cieplnej, podczas gdy łopatka wspornikowa pomaga utrzymać całą konstrukcję we właściwej pozycji, zapewniając jednocześnie jednorodność temperatury.

Nośnik łodzi z płytek SiC o wysokiej czystości i wiosło wspornikowe współpracują ze sobą, aby zapewnić dokładność i stabilność procesu w wysokiej temperaturze.

Półprzewodnik VeTekzapewnia dostosowany do Twoich potrzeb nośnik łodzi waflowych SiC o wysokiej czystości. Czekamy na Twoje zapytanie.

Półprzewodnik VeTekSklepy z płytkami do przewozu łodzi SiC o wysokiej czystości:

VeTek Semiconductor High purity SiC wafer boat carrier shops

Gorące Tagi: Bagażnik do łodzi waflowych SiC o wysokiej czystości, Chiny, producent, dostawca, fabryka, dostosowane, kupię, zaawansowane, trwałe, wyprodukowane w Chinach

Etykieta produktu

Powiązana kategoria