Chiny Stały węglik krzemu Producent, dostawca, fabryka

Stały węglik krzemu VeTek Semiconductor jest ważnym składnikiem ceramicznym w sprzęcie do trawienia plazmowego.Węglik krzemu CVD) obejmują części sprzętu do trawieniapierścienie ostrości, głowica prysznicowa gazowa, taca, pierścienie krawędziowe itp. Ze względu na niską reaktywność i przewodność stałego węglika krzemu (węglik krzemu CVD) na gazy trawiące zawierające chlor i fluor, jest to idealny materiał na pierścienie ogniskujące i inne urządzenia do trawienia plazmowego komponenty.

Na przykład pierścień ogniskujący jest ważną częścią umieszczoną na zewnątrz płytki i mającą z nią bezpośredni kontakt, poprzez przyłożenie napięcia do pierścienia w celu skupienia plazmy przechodzącej przez pierścień, skupiając w ten sposób plazmę na płytce, aby poprawić jednorodność przetwarzanie. Tradycyjny pierścień ostrości wykonany jest z krzemu lubkwarc, przewodzący krzem jako powszechny materiał pierścienia ogniskującego, jest prawie zbliżony do przewodności płytek krzemowych, ale niedoborem jest słaba odporność na trawienie w plazmie zawierającej fluor, materiały części maszyn do trawienia często używane przez pewien okres czasu, wystąpią poważne zjawisko korozji, poważnie zmniejszające wydajność produkcji.

Sstary pierścień ostrości SiCZasada działania：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Porównanie pierścienia ogniskującego na bazie Si i pierścienia ogniskującego CVD SiC:

Porównanie pierścienia ostrości na bazie Si i pierścienia ostrości CVD SiC
Przedmiot	I	CVD SiC
Gęstość (g/cm³)	2.33	3.21
Szczelina wzbroniona (eV)	1.12	2.3
Przewodność cieplna (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Moduł sprężystości (GPa)	150	440
Twardość (GPa)	11.4	24.5
Odporność na zużycie i korozję	Słaby	Doskonały

VeTek Semiconductor oferuje zaawansowane części z pełnego węglika krzemu (węglik krzemu CVD), takie jak pierścienie ostrości SiC do sprzętu półprzewodnikowego. Nasze pierścienie ogniskujące z węglika krzemu przewyższają tradycyjny krzem pod względem wytrzymałości mechanicznej, odporności chemicznej, przewodności cieplnej, trwałości w wysokich temperaturach i odporności na trawienie jonowe.

Kluczowe cechy naszych pierścieni ogniskujących SiC obejmują:

Wysoka gęstość w celu zmniejszenia szybkości trawienia.

Doskonała izolacja z dużą przerwą wzbronioną.

Wysoka przewodność cieplna i niski współczynnik rozszerzalności cieplnej.

Doskonała odporność na uderzenia mechaniczne i elastyczność.

Wysoka twardość, odporność na zużycie i odporność na korozję.

Wyprodukowano przy użyciuchemiczne osadzanie z fazy gazowej wspomagane plazmą (PECVD)technik, nasze pierścienie ogniskujące SiC spełniają rosnące wymagania procesów trawienia w produkcji półprzewodników. Zostały zaprojektowane tak, aby wytrzymać wyższą moc i energię plazmy, szczególnie wplazma ze sprzężeniem pojemnościowym (CCP)systemy.

Pierścienie ostrości SiC firmy VeTek Semiconductor zapewniają wyjątkową wydajność i niezawodność w produkcji urządzeń półprzewodnikowych. Wybierz nasze komponenty SiC, aby uzyskać najwyższą jakość i wydajność.

View as

Nowa technologia wzrostu kryształów SiC

Węglik krzemu (SiC) o ultrawysokiej czystości firmy Vetek Semiconductor powstały w wyniku chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD) może być stosowany jako materiał źródłowy do hodowli kryształów węglika krzemu metodą fizycznego transportu pary (PVT). W nowej technologii SiC Crystal Growth materiał źródłowy ładuje się do tygla i sublimuje na krysztale zaszczepiającym. Wykorzystaj wyrzucone bloki CVD-SiC do recyklingu materiału jako źródła hodowli kryształów SiC. Zapraszamy do nawiązania z nami współpracy.

Czytaj więcej Wyślij zapytanie

Głowica prysznicowa CVD SiC

VeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i innowatorem głowicy prysznicowej CVD SiC w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w materiałach SiC. Głowica prysznicowa CVD SiC jest wybierana na materiał pierścienia ogniskującego ze względu na jej doskonałą stabilność termochemiczną, wysoką wytrzymałość mechaniczną i odporność na erozja plazmowa. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Czytaj więcej Wyślij zapytanie

Głowica prysznicowa SiC

VeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i innowatorem głowic prysznicowych SiC w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w materiałach SiC. Głowicę prysznicową SiC wybiera się na materiał pierścienia ogniskującego ze względu na doskonałą stabilność termochemiczną, wysoką wytrzymałość mechaniczną i odporność na erozję plazmową Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Czytaj więcej Wyślij zapytanie

Susceptor lufy pokryty SiC do LPE PE2061S

VeTek Semiconductor to wiodący susceptor beczkowy pokryty SiC dla producenta i innowatora LPE PE2061S w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w materiałach powłokowych SiC. Oferujemy susceptor baryłkowy pokryty SiC zaprojektowany specjalnie dla 4-calowych płytek LPE PE2061S. Susceptor ten jest pokryty trwałą powłoką z węglika krzemu, która zwiększa wydajność i trwałość podczas procesu LPE (epitaksja w fazie ciekłej). Zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki w Chinach.

Czytaj więcej Wyślij zapytanie

Głowica prysznicowa z litego SiC i gazu

VeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i innowatorem głowicy prysznicowej z litego SiC w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w materiałach półprzewodnikowych. Wieloporowata konstrukcja głowicy prysznicowej VeTek Semiconductor z litego SiC zapewnia rozpraszanie ciepła generowanego w procesie CVD , zapewniając równomierne nagrzanie podłoża. Z niecierpliwością czekamy na nawiązanie długoterminowej współpracy z Państwem w Chinach.

Czytaj więcej Wyślij zapytanie

Proces chemicznego osadzania z fazy gazowej Stały pierścień krawędziowy SiC

VeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i innowatorem pierścieni krawędziowych z litego SiC w Chinach. Od wielu lat specjalizujemy się w materiałach półprzewodnikowych. Pierścień krawędziowy z litego SiC firmy VeTek Semiconductor zapewnia lepszą równomierność trawienia i precyzyjne pozycjonowanie płytek w przypadku stosowania z uchwytem elektrostatycznym , zapewniając spójne i niezawodne wyniki trawienia. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Czytaj więcej Wyślij zapytanie

<1 2 3 >

Jako profesjonalny producent i dostawca w Chinach posiadamy własną fabrykę. Niezależnie od tego, czy potrzebujesz usług dostosowanych do specyficznych potrzeb Twojego regionu, czy też chcesz kupić zaawansowane i trwałe Stały węglik krzemu wyprodukowane w Chinach, możesz zostawić nam wiadomość.