Chiny Stały węglik krzemu Producent, dostawca, fabryka

Stały węglik krzemu VeTek Semiconductor jest ważnym składnikiem ceramicznym w sprzęcie do trawienia plazmowego.Węglik krzemu CVD) obejmują części sprzętu do trawieniapierścienie ostrości, głowica prysznicowa gazowa, taca, pierścienie krawędziowe itp. Ze względu na niską reaktywność i przewodność stałego węglika krzemu (węglik krzemu CVD) na gazy trawiące zawierające chlor i fluor, jest to idealny materiał na pierścienie ogniskujące i inne urządzenia do trawienia plazmowego komponenty.

Na przykład pierścień ogniskujący jest ważną częścią umieszczoną na zewnątrz płytki i mającą z nią bezpośredni kontakt, poprzez przyłożenie napięcia do pierścienia w celu skupienia plazmy przechodzącej przez pierścień, skupiając w ten sposób plazmę na płytce, aby poprawić jednorodność przetwarzanie. Tradycyjny pierścień ostrości wykonany jest z krzemu lubkwarc, przewodzący krzem jako powszechny materiał pierścienia ogniskującego, jest prawie zbliżony do przewodności płytek krzemowych, ale niedoborem jest słaba odporność na trawienie w plazmie zawierającej fluor, materiały części maszyn do trawienia często używane przez pewien okres czasu, wystąpią poważne zjawisko korozji, poważnie zmniejszające wydajność produkcji.

Sstary pierścień ostrości SiCZasada działania：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Porównanie pierścienia ogniskującego na bazie Si i pierścienia ogniskującego CVD SiC:

Porównanie pierścienia ostrości na bazie Si i pierścienia ostrości CVD SiC
Przedmiot	I	CVD SiC
Gęstość (g/cm³)	2.33	3.21
Szczelina wzbroniona (eV)	1.12	2.3
Przewodność cieplna (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Moduł sprężystości (GPa)	150	440
Twardość (GPa)	11.4	24.5
Odporność na zużycie i korozję	Słaby	Doskonały

VeTek Semiconductor oferuje zaawansowane części z pełnego węglika krzemu (węglik krzemu CVD), takie jak pierścienie ostrości SiC do sprzętu półprzewodnikowego. Nasze pierścienie ogniskujące z węglika krzemu przewyższają tradycyjny krzem pod względem wytrzymałości mechanicznej, odporności chemicznej, przewodności cieplnej, trwałości w wysokich temperaturach i odporności na trawienie jonowe.

Kluczowe cechy naszych pierścieni ogniskujących SiC obejmują:

Wysoka gęstość w celu zmniejszenia szybkości trawienia.

Doskonała izolacja z dużą przerwą wzbronioną.

Wysoka przewodność cieplna i niski współczynnik rozszerzalności cieplnej.

Doskonała odporność na uderzenia mechaniczne i elastyczność.

Wysoka twardość, odporność na zużycie i odporność na korozję.

Wyprodukowano przy użyciuchemiczne osadzanie z fazy gazowej wspomagane plazmą (PECVD)technik, nasze pierścienie ogniskujące SiC spełniają rosnące wymagania procesów trawienia w produkcji półprzewodników. Zostały zaprojektowane tak, aby wytrzymać wyższą moc i energię plazmy, szczególnie wplazma ze sprzężeniem pojemnościowym (CCP)systemy.

Pierścienie ostrości SiC firmy VeTek Semiconductor zapewniają wyjątkową wydajność i niezawodność w produkcji urządzeń półprzewodnikowych. Wybierz nasze komponenty SiC, aby uzyskać najwyższą jakość i wydajność.

View as

Solidny pierścień ogniskujący SiC

VeTek Semiconductor to wiodący producent i innowator w Chinach, produkujący i trawiący pierścień ogniskujący z litego SiC. Od wielu lat specjalizujemy się w materiałach SiC. Solid SiC jest wybierany jako materiał na pierścień ogniskujący ze względu na jego doskonałą stabilność termochemiczną, wysoką wytrzymałość mechaniczną i odporność na plazmę erozja. Z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Czytaj więcej Wyślij zapytanie

<1 2 3 >

Jako profesjonalny producent i dostawca w Chinach posiadamy własną fabrykę. Niezależnie od tego, czy potrzebujesz usług dostosowanych do specyficznych potrzeb Twojego regionu, czy też chcesz kupić zaawansowane i trwałe Stały węglik krzemu wyprodukowane w Chinach, możesz zostawić nam wiadomość.