Głowica prysznicowa SiC

Możesz mieć pewność, że kupisz głowicę prysznicową SiC z naszej fabryki.

Materiały z węglika krzemu charakteryzują się unikalną kombinacją doskonałych właściwości termicznych, elektrycznych i chemicznych, co czyni je idealnymi do zastosowań w przemyśle półprzewodników, gdzie wymagane są materiały o wysokiej wydajności.

Rewolucyjna technologia firmy VeTek Semiconductor umożliwia produkcję głowicy prysznicowej SiC, materiału z węglika krzemu o ultrawysokiej czystości, powstałego w procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej.

Głowica prysznicowa SiC to kluczowy element w produkcji półprzewodników, zaprojektowany specjalnie do systemów MOCVD, procesów epitaksji krzemowej i epitaksji SiC. Wykonany z wytrzymałego węglika krzemu (SiC), element ten może wytrzymać ekstremalne warunki przetwarzania plazmowego i zastosowania wysokotemperaturowe.

Węglik krzemu (SiC) jest znany ze swojej wysokiej przewodności cieplnej, odporności na korozję chemiczną i wyjątkowej wytrzymałości mechanicznej, co czyni go idealnym materiałem do masowych elementów SiC, takich jak głowica prysznicowa SiC. Głowica natrysku gazowego zapewnia równomierne rozprowadzenie gazów procesowych na powierzchni płytki, co jest niezbędne do wytworzenia wysokiej jakości warstw epitaksjalnych. Pierścienie ostrości i pierścienie krawędziowe, często wykonane z CVD-SiC, utrzymują równomierny rozkład plazmy i chronią komorę przed zanieczyszczeniem, zwiększając wydajność i wydajność wzrostu epitaksjalnego.

Dzięki precyzyjnej kontroli przepływu gazu i wyjątkowym właściwościom materiałowym głowica prysznicowa SiC jest kluczowym elementem nowoczesnej obróbki półprzewodników, wspierając zaawansowane zastosowania epitaksji krzemu i epitaksji SiC.

VeTek Semiconductor oferuje półprzewodnikową głowicę prysznicową ze spiekanego węglika krzemu o niskiej rezystancji. Mamy możliwość projektowania na zamówienie i dostarczania zaawansowanych materiałów ceramicznych, wykorzystujących różnorodne unikalne możliwości.

Parametr produktu głowicy prysznicowej SiC:

Sklep produkcyjny