Firma VeTek Semiconductor specjalizuje się w produkcji ultraczystych powłok z węglika krzemu. Powłoki te są przeznaczone do nakładania na oczyszczony grafit, ceramikę i elementy z metali ogniotrwałych.
Nasze powłoki o wysokiej czystości są przeznaczone przede wszystkim do stosowania w przemyśle półprzewodników i elektroniki. Służą jako warstwa ochronna dla nośników płytek, susceptorów i elementów grzejnych, chroniąc je przed korozyjnymi i reaktywnymi środowiskami spotykanymi w procesach takich jak MOCVD i EPI. Procesy te są integralną częścią przetwarzania płytek i produkcji urządzeń. Dodatkowo nasze powłoki doskonale nadają się do zastosowań w piecach próżniowych i podgrzewaniu próbek, gdzie występują środowiska o wysokiej próżni, reaktywne i tlenowe.
W VeTek Semiconductor oferujemy kompleksowe rozwiązanie z naszymi zaawansowanymi możliwościami warsztatu mechanicznego. Dzięki temu jesteśmy w stanie wyprodukować podstawowe komponenty z grafitu, ceramiki lub metali ogniotrwałych i samodzielnie nałożyć powłoki ceramiczne SiC lub TaC. Świadczymy również usługi powlekania części dostarczonych przez klienta, zapewniając elastyczność w celu zaspokojenia różnorodnych potrzeb.
Nasze produkty z powłoką z węglika krzemu są szeroko stosowane w epitaksji Si, epitaksji SiC, systemie MOCVD, procesie RTP/RTA, procesie trawienia, procesie trawienia ICP/PSS, procesie różnych typów diod LED, w tym niebieskich i zielonych diod LED, UV LED i głębokiego UV LED itp., który jest dostosowany do sprzętu firm LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI i tak dalej.
Podstawowe właściwości fizyczne powłok CVD SiC | |
Nieruchomość | Typowa wartość |
Struktura kryształu | Polikrystaliczna faza β FCC, głównie zorientowana na (111). |
Gęstość | 3,21 g/cm3 |
Twardość | Twardość 2500 Vickersa (obciążenie 500 g) |
ROZMIAR ZIARNA | 2 ~ 10 µm |
Czystość chemiczna | 99,99995% |
Pojemność cieplna | 640 J·kg-1·K-1 |
Temperatura sublimacji | 2700 ℃ |
Wytrzymałość na zginanie | 415 MPa RT 4-punktowy |
Moduł Younga | Zagięcie 430 Gpa, 4-punktowe, 1300 ℃ |
Przewodność cieplna | 300W·m-1·K-1 |
Rozszerzalność cieplna (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Jako profesjonalny producent i dostawca nośników płytek z powłoką SiC w Chinach, nośniki płytek z powłoką SiC firmy Vetek Semiconductor są stosowane głównie w celu poprawy równomierności wzrostu warstwy epitaksjalnej, zapewniając ich stabilność i integralność w środowiskach o wysokiej temperaturze i korozyjnym. Czekamy na Twoje zapytanie.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor jest profesjonalnym producentem susceptora ALD, powłoki CVD SiC, bazy grafitowej CVD TAC COATING w Chinach. Firma Vetek Semiconductor wspólnie opracowała i wyprodukowała podstawy planetarne ALD pokryte SiC z producentami systemów ALD, aby spełnić wysokie wymagania procesu ALD i równomiernie rozprowadzić przepływ powietrza na podłożu. Cieszymy się na dalszą współpracę z Państwem.
Czytaj więcejWyślij zapytanieJako profesjonalny producent i dostawca sufitów z powłoką CVD SiC w Chinach, sufit z powłoką CVD SiC firmy VeTek Semiconductor ma doskonałe właściwości, takie jak odporność na wysoką temperaturę, odporność na korozję, wysoką twardość i niski współczynnik rozszerzalności cieplnej, co czyni go idealnym wyborem materiału do produkcji półprzewodników. Cieszymy się na dalszą współpracę z Państwem.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor jest profesjonalnym producentem susceptorów epi MOCVD LED, susceptorów planetarnych ALD i susceptorów grafitowych powlekanych TaC w Chinach. Susceptor MOCVD LED Epi firmy VeTek Semiconductor został zaprojektowany do wymagających zastosowań w sprzęcie epitaksjalnym. Wysoka przewodność cieplna, stabilność chemiczna i trwałość to kluczowe czynniki zapewniające stabilny proces wzrostu epitaksjalnego i produkcję wysokiej jakości folii półprzewodnikowej. Cieszymy się na dalszą współpracę z Państwem.
Czytaj więcejWyślij zapytanieJako profesjonalny producent i dostawca susceptorów ALD z powłoką SiC w Chinach, susceptor ALD z powłoką SiC jest elementem pomocniczym stosowanym specjalnie w procesie osadzania warstwy atomowej (ALD). Odgrywa kluczową rolę w urządzeniach ALD, zapewniając równomierność i precyzję procesu osadzania. Wierzymy, że nasze produkty z susceptorami planetarnymi ALD mogą zapewnić wysokiej jakości rozwiązania produktowe.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor jest wiodącym producentem, innowatorem i liderem produktów Epi Susceptor z powłoką SiC w Chinach. Od wielu lat koncentrujemy się na różnych produktach z powłoką SiC, takich jak susceptor Epi Susceptor z powłoką SiC, nośnik wafla z powłoką SiC, susceptor z powłoką SiC, susceptor ALD z powłoką SiC itp. Firma VeTek Semiconductor angażuje się w dostarczanie zaawansowanych technologii i rozwiązań produktowych dla półprzewodników przemysł. Zapraszamy do dalszych konsultacji.
Czytaj więcejWyślij zapytanie