Odbiornik Epi z powłoką SiC

VeTek Semiconductor jest wiodącym producentem, innowatorem i liderem produktów Epi Susceptor z powłoką SiC w Chinach. Od wielu lat koncentrujemy się na różnych produktach z powłoką SiC, takich jak susceptor Epi Susceptor z powłoką SiC, nośnik wafla z powłoką SiC, susceptor z powłoką SiC, susceptor ALD z powłoką SiC itp. Firma VeTek Semiconductor angażuje się w dostarczanie zaawansowanych technologii i rozwiązań produktowych dla półprzewodników przemysł. Zapraszamy do dalszych konsultacji.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

Vetek Semiconductor jest profesjonalnym producentem w Chinach epi susceptora z powłoką SiC.

Susceptor Epi Susceptor z powłoką SiC firmy VeTek Semiconductor jest wykonany z grafitu i węglika krzemu. Ten produkt z powłoką SiC wykorzystuje importowany grafit, który ma bardziej stabilną wydajność i długą żywotność i jest bardzo chwalony przez naszych klientów w Europie i Ameryce. Jednocześnie stężenie susceptora SiC Coating Epi jest poniżej 5 ppm, a jednorodność jest bardzo dobra. Po ciągłych udoskonaleniach technologicznych firma VeTek Semiconductor wykorzystuje nowy proces, aby uzyskać dobre dopasowanie współczynnika rozszerzalności cieplnej powłoki SiC i materiałów grafitowych.

Powłoka SiC Epi Susceptor jest specjalnie stosowana w środowiskach o wysokiej temperaturze i korozyjnym w sprzęcie półprzewodnikowym. Susceptor Epi z powłoką SiC jest powszechnie stosowany w urządzeniach takich jak AIXTRON, zwłaszcza w procesie epitaksji w głębokim ultrafiolecie (DUV Epitaxy), odgrywając kluczową rolę.

W procesie epitaksji w głębokim ultrafiolecie (DUV Epitaxy), w połączeniu z doskonałą odpornością na wysokie temperatury i odpornością na korozję Epi Susceptora SiC Coating, Epi Susceptor SiC Coating jest zwykle instalowany wokół komory reakcyjnej w sprzęcie AIXTRON jako nośnik podczas procesu epitaksji z uszkodzić lub zanieczyścić sprzęt.

Susceptor Epi z powłoką SiC jest przeznaczony do epitaksji w głębokim ultrafiolecie. Ściśle kontrolujemy powłokę z węglika krzemu, stosujemy technologię warstwy buforowej, aby zmniejszyć problemy spowodowane różnicami we współczynnikach rozszerzalności cieplnej pomiędzy powłokami z grafitu i węglika krzemu, wydłużając w ten sposób żywotność produktu. Obecnie nasz produkt zdobył wiele wyróżnień i jest uznawany za jeden z najlepszych na rynku krajowym.

Jako lider branży w zakresie produktów SiC Coating, firma VeTek Semiconductor zapewnia usługi dostosowywania produktów oraz zapewnia zadowalające ceny produktów i nie może się doczekać dalszych konsultacji.