Porowaty grafit pokryty węglikiem tantalu

Półprzewodnikowy porowaty grafit pokryty węglikiem tantalu VeTek stał się kryształem węglika krzemu (SiC) ze względu na jego odporność na bardzo wysokie temperatury (temperatura topnienia około 3880°C), doskonałą stabilność termiczną, wytrzymałość mechaniczną i obojętność chemiczną w środowiskach o wysokiej temperaturze. Niezbędny materiał w procesie wzrostu. W szczególności jego porowata struktura zapewnia wiele korzyści technicznychproces wzrostu kryształów. 

Poniżej znajduje się szczegółowa analizaPorowaty grafit pokryty węglikiem tantalupodstawowa rola:

● Popraw wydajność przepływu gazu i dokładnie kontroluj parametry procesu

Mikroporowata struktura porowatego grafitu może sprzyjać równomiernemu rozkładowi gazów reakcyjnych (takich jak gazowy węglik i azot), optymalizując w ten sposób atmosferę w strefie reakcji. Ta cecha pozwala skutecznie uniknąć problemów z lokalną akumulacją gazu lub turbulencjami, zapewnia równomierne naprężenie kryształów SiC w całym procesie wzrostu, a stopień defektów jest znacznie zmniejszony. Jednocześnie porowata struktura umożliwia również precyzyjną regulację gradientów ciśnienia gazu, dalszą optymalizację szybkości wzrostu kryształów i poprawę konsystencji produktu.

●  Zmniejsz akumulację naprężeń termicznych i popraw integralność kryształów

Podczas operacji w wysokich temperaturach elastyczne właściwości porowatego węglika tantalu (TaC) znacznie zmniejszają koncentrację naprężeń termicznych powodowanych różnicami temperatur. Zdolność ta jest szczególnie ważna przy hodowli kryształów SiC, zmniejszając ryzyko powstawania pęknięć termicznych, poprawiając w ten sposób integralność struktury kryształu i stabilność przetwarzania.

●  Optymalizuj dystrybucję ciepła i poprawiaj efektywność wykorzystania energii

Powłoka z węglika tantalu nie tylko zapewnia porowatemu grafitowi wyższą przewodność cieplną, ale jego porowate właściwości mogą również równomiernie rozprowadzać ciepło, zapewniając bardzo spójny rozkład temperatury w obszarze reakcji. To jednolite zarządzanie temperaturą jest podstawowym warunkiem produkcji kryształu SiC o wysokiej czystości. Może także znacząco poprawić efektywność grzewczą, zmniejszyć zużycie energii oraz sprawić, że proces produkcyjny będzie bardziej ekonomiczny i wydajny.

●  Zwiększ odporność na korozję i wydłuż żywotność komponentów

Gazy i produkty uboczne w środowiskach o wysokiej temperaturze (takie jak wodór lub faza parowa węglika krzemu) mogą powodować poważną korozję materiałów. Powłoka TaC zapewnia doskonałą barierę chemiczną dla porowatego grafitu, znacznie zmniejszając szybkość korozji elementu, wydłużając w ten sposób jego żywotność. Ponadto powłoka zapewnia długoterminową stabilność porowatej struktury, zapewniając, że nie ma to wpływu na właściwości transportu gazu.

●  Skutecznie blokuje dyfuzję zanieczyszczeń i zapewnia krystaliczną czystość

Niepowlekana matryca grafitowa może uwalniać śladowe ilości zanieczyszczeń, a powłoka TaC działa jak bariera izolacyjna zapobiegająca dyfuzji tych zanieczyszczeń do kryształu SiC w środowisku o wysokiej temperaturze. Ten efekt ekranowania ma kluczowe znaczenie dla poprawy czystości kryształów i pomaga spełnić rygorystyczne wymagania przemysłu półprzewodników dotyczące wysokiej jakości materiałów SiC.

Porowaty grafit pokryty węglikiem tantalu firmy VeTek semiconductor znacznie poprawia wydajność procesu i jakość kryształów poprzez optymalizację przepływu gazu, zmniejszenie naprężeń termicznych, poprawę jednorodności termicznej, zwiększenie odporności na korozję i hamowanie dyfuzji zanieczyszczeń podczas procesu wzrostu kryształów SiC. Zastosowanie tego materiału nie tylko zapewnia wysoką precyzję i czystość w produkcji, ale także znacznie obniża koszty eksploatacji, co czyni go ważnym filarem nowoczesnej produkcji półprzewodników.

Co ważniejsze, firma VeTeksemi od dawna angażuje się w dostarczanie zaawansowanych technologii i rozwiązań produktowych dla przemysłu produkcyjnego półprzewodników oraz wspiera dostosowane do indywidualnych potrzeb usługi w zakresie produktów z porowatego grafitu powlekanego węglikiem tantalu. Z niecierpliwością czekamy na to, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.

Właściwości fizyczne powłoki z węglika tantalu

Zakłady produkcyjne porowatego grafitu powlekanego węglikiem tantalu VeTek