Susceptor waflowy pokryty TaC

Susceptor waflowy eTek Semiconductor TaC Coated Wafer Susceptor to grafitowa tacka pokryta węglikiem tantalu do epitaksjalnego wzrostu węglika krzemu w celu poprawy jakości i wydajności płytki. Firma VeTek została wybrana ze względu na zaawansowaną technologię powlekania i trwałe rozwiązania zapewniające doskonałe wyniki epitaksji SiC i dłuższą żywotność susceptora. Zapraszamy do dalszych zapytań.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

Susceptor waflowy pokryty powłoką VeTek Semiconductor TaC jest kluczowym elementem stosowanym wChemiczne osadzanie z fazy gazowej metali organicznych (MOCVD)reaktory doprocesy epitaksjalne półprzewodników (epi).. Ta specjalistyczna okrągła podstawa wykonana jest z wysokiej jakości grafitu i pokryta warstwą węglika tantalu (TaC), który jest dobrze znany ze swoich wyjątkowych właściwości termicznych i chemicznych.

Podstawową funkcją powłoki TaC jest poprawa wydajności i trwałości susceptora płytki w trudnych warunkach produkcji półprzewodników. Węglik tantalu słynie z twardości, wysokiej temperatury topnienia i wyjątkowej odporności na zużycie, co czyni go idealną warstwą ochronną. Powłoka ta chroni leżącą pod spodem bazę grafitową przed korozyjnymi reakcjami chemicznymi i naprężeniami mechanicznymi, które występują wewnątrzreaktory MOCVD, wydłużając żywotność sprzętu i poprawiając niezawodność.

Podczas epitaksjalnego wzrostu materiałów półprzewodnikowych, susceptor waflowy pokryty TaC odgrywa kluczową rolę, zapewniając precyzyjne osadzanie folii. Jego odporność na wysokie temperatury i trudne warunki chemiczne ma kluczowe znaczenie dla dokładnej produkcji urządzeń półprzewodnikowych, umożliwiając stabilne funkcjonowanie sprzętu w wymagających warunkach procesowych.

Połączenie Ardzeń grafitowyIPowłoka TaCzapewnia równomierny rozkład ciepła na susceptorze, co jest istotne dla poprawy powtarzalności i jakości warstw półprzewodnikowych wytworzonych w procesie MOCVD. Ta zaawansowana konstrukcja materiału nie tylko zapewnia trwałość, ale także spełnia rygorystyczne wymagania nowoczesnej produkcji półprzewodników dla komponentów elektronicznych o wysokiej wydajności.

Jako wiodący dostawca i producent susceptorów waflowych pokrytych TaC, firma VeTek Semiconductor angażuje się w dostarczanie wysokiej jakości rozwiązań technicznych dla przemysłu półprzewodników. Z niecierpliwością czekamy na to, aby stać się Twoim długoterminowym zaufanym partnerem w Chinach, oferującym niezawodne, dostosowane do indywidualnych potrzeb produkty.

Sklepy z płytkami susceptorowymi VeTek Semiconductor TaC:

TaC coated wafer susceptor shops