Pierścień nośny pokryty SiC

VeTek Semiconductor jest profesjonalnym producentem i dostawcą z Chin, produkującym głównie pierścienie nośne pokryte SiC, powłoki CVD z węglika krzemu (SiC), powłoki z węglika tantalu (TaC), SiC luzem, proszki SiC i materiały SiC o wysokiej czystości. Zależy nam na zapewnieniu doskonałego wsparcia technicznego i najlepszych rozwiązań produktowych dla przemysłu półprzewodników. Zapraszamy do kontaktu z nami.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

Półprzewodnik VeTek, wiodący producent i dostawca z siedzibą w Chinach, specjalizuje się w produkcji szerokiej gamy produktów, w tymPierścienie nośne pokryte SiC, powłoki z węglika krzemu CVD, powłoki z węglika tantalu, SiC w masie, proszki SiC i materiały SiC o wysokiej czystości. Nasze zaangażowanie polega na oferowaniu kompleksowej pomocy technicznej i optymalnych rozdzielczości produktów dostosowanych do sektora półprzewodników. Skontaktuj się z nami, aby uzyskać dalsze informacje i pomoc.

Półprzewodnik VeTek'SPierścienie nośne pokryte SiCto nowa generacja materiałów odpornych na wysokie temperatury. Jako powłoki odporne na korozję, powłoki odporne na utlenianie i powłoki odporne na zużycie mogą być stosowane w środowiskach powyżej 1650 ℃ i są szeroko stosowane w polach półprzewodnikowych.

Charakterystyka wysokiej jakościPierścienie nośne pokryte SiCodgrywają bardzo ważną rolę w epitaksjalnym wzroście elementów półprzewodnikowych trzeciej generacji.

Utrzymanie równomierności temperatury: Pierścienie nośne pokryte SiC mają doskonałą przewodność cieplną i mogą zapewnić równomierny rozkład temperatury podczas wzrostu epitaksjalnego. Pomaga to zmniejszyć gradienty termiczne i naprężenia na powierzchni płytki, poprawiając w ten sposób jakość warstwy epitaksjalnej.

Ekstremalna stabilność chemiczna: Podczas procesu wzrostu epitaksjalnegoPierścienie nośne pokryte SiCsą w stanie oprzeć się atakowi chemicznemu gazów reakcyjnych, przedłużając żywotność pierścieni nośnych i utrzymując integralność procesu. Ta stabilność chemiczna pomaga zmniejszyć ryzyko zanieczyszczenia oraz poprawić czystość i wydajność urządzeń półprzewodnikowych.

Precyzyjne pozycjonowanie: Pierścienie nośne pokryte SiC są w stanie utrzymać precyzyjne położenie płytki, co ma kluczowe znaczenie dla uzyskania równomiernego osadzania warstw. To precyzyjne pozycjonowanie pomaga zapewnić stałą grubość i jakość warstwy epitaksjalnej.

Podstawowe właściwości fizyczne powłok CVD SiC: