Firma VeTek Semiconductor specjalizuje się w produkcji ultraczystych powłok z węglika krzemu. Powłoki te są przeznaczone do nakładania na oczyszczony grafit, ceramikę i elementy z metali ogniotrwałych.
Nasze powłoki o wysokiej czystości są przeznaczone przede wszystkim do stosowania w przemyśle półprzewodników i elektroniki. Służą jako warstwa ochronna dla nośników płytek, susceptorów i elementów grzejnych, chroniąc je przed korozyjnymi i reaktywnymi środowiskami spotykanymi w procesach takich jak MOCVD i EPI. Procesy te są integralną częścią przetwarzania płytek i produkcji urządzeń. Dodatkowo nasze powłoki doskonale nadają się do zastosowań w piecach próżniowych i podgrzewaniu próbek, gdzie występują środowiska o wysokiej próżni, reaktywne i tlenowe.
W VeTek Semiconductor oferujemy kompleksowe rozwiązanie z naszymi zaawansowanymi możliwościami warsztatu mechanicznego. Dzięki temu jesteśmy w stanie wyprodukować podstawowe komponenty z grafitu, ceramiki lub metali ogniotrwałych i samodzielnie nałożyć powłoki ceramiczne SiC lub TaC. Świadczymy również usługi powlekania części dostarczonych przez klienta, zapewniając elastyczność w celu zaspokojenia różnorodnych potrzeb.
Nasze produkty z powłoką z węglika krzemu są szeroko stosowane w epitaksji Si, epitaksji SiC, systemie MOCVD, procesie RTP/RTA, procesie trawienia, procesie trawienia ICP/PSS, procesie różnych typów diod LED, w tym niebieskich i zielonych diod LED, UV LED i głębokiego UV LED itp., który jest dostosowany do sprzętu firm LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI i tak dalej.
Podstawowe właściwości fizyczne powłok CVD SiC | |
Nieruchomość | Typowa wartość |
Struktura kryształu | Polikrystaliczna faza β FCC, głównie zorientowana na (111). |
Gęstość | 3,21 g/cm3 |
Twardość | Twardość 2500 Vickersa (obciążenie 500 g) |
ROZMIAR ZIARNA | 2 ~ 10 µm |
Czystość chemiczna | 99,99995% |
Pojemność cieplna | 640 J·kg-1·K-1 |
Temperatura sublimacji | 2700 ℃ |
Wytrzymałość na zginanie | 415 MPa RT 4-punktowy |
Moduł Younga | Zagięcie 430 Gpa, 4-punktowe, 1300 ℃ |
Przewodność cieplna | 300W·m-1·K-1 |
Rozszerzalność cieplna (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Pierścień grafitowy o wysokiej czystości nadaje się do procesów wzrostu epitaksjalnego GaN. Ich doskonała stabilność i doskonała wydajność sprawiły, że są szeroko stosowane. VeTek Semiconductor produkuje i produkuje wiodący na świecie pierścień grafitowy o wysokiej czystości, aby pomóc branży epitaksji GaN w dalszym rozwoju. VeTekSemi nie może się doczekać, aby zostać Twoim partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieJako wiodący producent i innowator produktów Susceptor Pancake CVD SiC w Chinach. VeTek Semiconductor CVD SiC Pancake Susceptor, jako element w kształcie dysku przeznaczony do sprzętu półprzewodnikowego, jest kluczowym elementem podtrzymującym cienkie płytki półprzewodnikowe podczas osadzania epitaksjalnego w wysokiej temperaturze. Firma VeTek Semiconductor angażuje się w dostarczanie wysokiej jakości produktów SiC Pancake Susceptor i zostaje Twoim długoterminowym partnerem w Chinach po konkurencyjnych cenach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i dostawcą grafitowego susceptora powlekanego SiC do MOCVD w Chinach, specjalizującym się w zastosowaniach z powłokami SiC i produktach półprzewodników epitaksjalnych dla przemysłu półprzewodników. Nasze grafitowe susceptory MOCVD pokryte SiC oferują konkurencyjną jakość i cenę, obsługując rynki w Europie i Ameryce. Zależy nam na tym, aby stać się Twoim długoterminowym, zaufanym partnerem w rozwoju produkcji półprzewodników.
Czytaj więcejWyślij zapytanieSusceptor epitaksji z powłoką CVD SiC firmy VeTek Semiconductor to precyzyjnie zaprojektowane narzędzie przeznaczone do przenoszenia i przetwarzania płytek półprzewodnikowych. Susceptor epitaksji z powłoką SiC odgrywa kluczową rolę w promowaniu wzrostu cienkich warstw, epiwarstw i innych powłok oraz może precyzyjnie kontrolować temperaturę i właściwości materiału. Zapraszamy do dalszych zapytań.
Czytaj więcejWyślij zapytaniePierścień z powłoką CVD SiC jest jedną z ważnych części części półksiężyca. Razem z innymi częściami tworzy komorę reakcyjną wzrostu epitaksjalnego SiC. VeTek Semiconductor jest profesjonalnym producentem i dostawcą pierścieni z powłoką CVD SiC. Zgodnie z wymaganiami projektowymi klienta możemy dostarczyć odpowiedni pierścień z powłoką CVD SiC w najbardziej konkurencyjnej cenie. VeTek Semiconductor nie może się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieVeTek Semiconductor jest wiodącym producentem i innowatorem susceptora baryłkowego powlekanego CVD SiC w Chinach. Nasz susceptor beczkowy pokryty CVD SiC odgrywa kluczową rolę w promowaniu epitaksjalnego wzrostu materiałów półprzewodnikowych na płytkach dzięki doskonałym właściwościom produktu. Zapraszamy do dalszych konsultacji.
Czytaj więcejWyślij zapytanie