Co to jest powłoka CVD TAC?

Jak wszyscy wiemy,TaCma temperaturę topnienia do 3880°C, wysoka wytrzymałość mechaniczna, twardość, odporność na szok termiczny; dobra obojętność chemiczna i stabilność termiczna na amoniak, wodór i pary zawierające krzem w wysokich temperaturach.

Powłoka z węglika tantalu na mikroskopijnym przekroju

Powłoka CVD TAC, chemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD).powłoka z węglika tantalu (TaC)., to proces tworzenia trwałej powłoki o dużej gęstości na podłożu (zwykle graficie). Metoda ta polega na osadzaniu TaC na powierzchni podłoża w wysokich temperaturach, w wyniku czego powstaje powłoka o doskonałej stabilności termicznej i odporności chemicznej.

Do głównych zalet powłok CVD TaC należą:

Niezwykle wysoka stabilność termiczna: wytrzymuje temperatury przekraczające 2200°C.

Odporność chemiczna: może skutecznie oprzeć się agresywnym chemikaliom, takim jak wodór, amoniak i opary krzemu.

Silna przyczepność: zapewnia długotrwałą ochronę bez rozwarstwiania.

Wysoka czystość: minimalizuje zanieczyszczenia, dzięki czemu idealnie nadaje się do zastosowań półprzewodnikowych.

Powłoki te są szczególnie odpowiednie dla środowisk wymagających wysokiej trwałości i odporności na ekstremalne warunki, takich jak produkcja półprzewodników i procesy przemysłowe w wysokich temperaturach.

W produkcji przemysłowej materiały grafitowe (kompozyty węglowo-węglowe) pokryte powłoką TaC z dużym prawdopodobieństwem zastąpią tradycyjny grafit o wysokiej czystości, powłokę pBN, części z powłoką SiC itp. Ponadto w dziedzinie lotnictwa i kosmonautyki TaC ma ogromny potencjał może być stosowany jako wysokotemperaturowa powłoka przeciwutleniająca i przeciwablacyjna i ma szerokie perspektywy zastosowania. Jednakże nadal istnieje wiele wyzwań związanych z przygotowaniem gęstej, jednolitej, nie łuszczącej się powłoki TaC na powierzchni grafitu i promowaniem masowej produkcji przemysłowej.

W tym procesie badanie mechanizmów ochronnych powłoki, wprowadzanie innowacji w procesie produkcyjnym i konkurowanie z czołową zagraniczną czołówką mają kluczowe znaczenie dla trzeciej generacjiwzrost kryształów półprzewodników i epitaksja.

VeTek Semiconductor to profesjonalny chiński producent produktów z powłoką z węglika tantalu CVD, takich jakTygiel z powłoką CVD TaC, Nośnik płytek z powłoką CVD TaC, Nośnik powłoki CVD TaC,Powłoka CVD TaC, Pierścień z powłoką CVD TaC. Firma VeTek Semiconductor angażuje się w dostarczanie zaawansowanych rozwiązań w zakresie różnych produktów powłokowych dla przemysłu półprzewodników.

Jeśli masz jakiekolwiek pytania lub potrzebujesz dodatkowych szczegółów, nie wahaj się z nami skontaktować.

Mob/WhatsAPP: +86-180 6922 0752

E-mail: anny@veteksemi.com